上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 1 第第第第12121212章章章章 光刻光刻光刻光刻I I I I 光刻胶与光刻胶与光刻胶与光刻胶与光刻光刻光刻光刻工艺技术工艺技术工艺技术工艺技术 微电路的制造需要把在数量上精确控制的杂质引入到硅衬底上的微小区域内， 然后把 这些区域连起来以形成器件和VLSI电路。确定这些区域图形的工艺是由光刻来完成的，也 就是说，首先在硅片上旋转涂覆光刻胶，再将其曝露于某种光源下，如紫外光、电子束或 X射线，对抗蚀层进行选择性的曝光。完成这项工作需利用光刻机、掩模版，甚至电子 束光刻时的数据带。曝光后的硅片经过显影工艺就形成了抗蚀剂图形。显影后仍保留在硅 片上的抗蚀剂保护着其所覆盖的区域， 已去除抗蚀剂的部分必须进行一系列增加(如淀积金 属膜)或去除(如腐蚀)工艺，以将抗蚀图形转印到衬底表面。 下面三章详细地叙述了VLSI的光刻工艺。第一章是抗蚀剂的特性和VLSI制造中的光 刻工艺技术。这个讨论仅限于光学曝光所用的抗蚀剂。第二章讨论的是曝光工具，也即描 述了光学光刻机和光掩膜。第三章讲述了先进的光刻技术，包括电子束、离子束和X射 线图形形成技术。 抗蚀剂基本术语抗蚀剂基本术语抗蚀剂基本术语抗蚀剂基本术语 光刻工艺基本步骤如图1所示。 抗蚀剂(PR)作为一层薄膜涂覆到基片上(如硅上面的二 氧化硅上),再通过掩膜版曝光。掩膜版要保持干净，并含有要转印到衬底上的不透明图形， 以便在PR层上复制。PR经曝光后的区域有时变成可溶于显影液性的，有时变成不溶于显 影液性的。如果曝光后变得可溶于显影液，则在抗蚀剂上产生掩膜的正性图形。这种物质 就称为正性抗蚀剂。反之，若未曝光区溶于显影液，就产生负性图形，就是负性抗蚀剂。 显影后，未被抗蚀剂覆盖的SiO2层就被腐蚀掉。这样就在氧化层上复印了掩膜版图形。 在这步工艺中抗蚀剂有两个作用。首先必须对曝光有反应，以把掩膜版图形复印 到抗蚀剂上。其次余留的抗蚀剂在后面的工艺中必须保护下面的衬底。正如抗蚀剂的名字 一样，这种物质具有抵抗腐蚀的能力。 尽管半导体生产中使用正性和负性两种抗蚀剂， 但由于正性抗蚀剂具有较高的分辨能 力，故VLSI中全部选用正性抗蚀剂。正因如此，本章几乎所有的讨论都限于正性抗蚀剂和 上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 2 它的工艺。传统的正性光学光刻工艺和抗蚀剂能适应于0.81.5的VLSI生产。到了亚 微米阶段，由于曝光中产生的衍射效应，必须发展分辨率更高的技术来代替光学光刻。 通常，抗蚀剂的使用者并不过多关心抗蚀剂复杂的化学成分，而对其性能较关心。本 章主要讨论其性能。 通常的光致抗蚀剂由三种成分组成：a)、基体材料(也叫树脂)，作为粘合剂，确定了 膜的机械特性；b)、增感剂(也叫阻化剂),是一种感光的化合物(PAC)；c)、溶剂(不同于显 影液溶剂)，使抗蚀剂保持液态，但涂在衬底上时会挥发掉。基体材料通常对入射辐射无反 应。也就是说，照射下不发生化学变化，但提供了有粘附力和耐腐蚀性的保护层，也确定 了抗蚀剂的其它薄膜特性，如厚度、折射性和热流稳定性。 增感剂是抗蚀剂中对光化学辐射有反应的成分。词语“光化学的”与引起光化学变化的 辐射能量特性有关(尤其是在可见光和紫外光区间)。增感剂给抗蚀剂提供耐显影剂特性和 辐射吸收特性。 上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 3 光致抗蚀剂材料参数光致抗蚀剂材料参数光致抗蚀剂材料参数光致抗蚀剂材料参数 前面已经指出，抗蚀剂有两基本功能：1)、精确图形形成；2)、刻蚀时保护衬底。抗 蚀剂本身所拥有的一系列材料特性影响了这些功能的实现。这些材料参数可分为三类：a)、 光学性质：包括分辨率、感光灵敏度和折射率；b)、机械及化学性质：包括固体成分含量、 粘度、附着力、抗蚀能力、热稳定性、流动特性及对环境气氛如氧气的敏感度；c)、有关 加工和安全的性能：包括清洁(颗粒含量)、金属杂质含量、工艺宽容度、贮藏寿命、闪点 及安全极限浓度(TLV，毒性的测量)。这一节里讨论这些参数、了解这些参数有助于正确地 选择与使用光刻胶。同时也给出了测量大多数参数值的方法。 分辨率分辨率分辨率分辨率 光刻工艺的分辨率在第十三章中有正规定义， 是根据光刻曝光设置的调节转换功能和 与光刻胶匹配性定义的。然而，该词并不很正规，在工业中却广泛应用，以指定在合理的 生产变化情况下复制最小尺寸像的能力。这样为了建立亚微米特性器件，就必须具有亚微 米分辨率的光刻工艺。 用这种观点定义线宽也是很有用的。线宽是水平距离，L，即线条的截面图中光刻胶 材料与气流边缘之间的距离。这是在光刻胶衬底界面上指定高度处。(图2)。由于可以用 不同的测量方法(如SEM或光学)测量同一线条的线宽。这些线条可以是在截面图中不同高 上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 4 度处。故很容易确定获得线宽的技术(如SEM线宽或光学线宽)。线宽测量技术在线宽测量 中讨论。线宽测量是显影后检测一节的一部分。 光刻工艺的分辨率受工艺多方面的限制，包括：1)、硬件(如光的衍射、镜头色差和 设备的机械稳定性)；b)、光刻胶的光学特性；c)、工艺特性(如适当烘烤、显影、后烘、刻 蚀)。硬件对分辨率的限制在第十三章中讨论。本章的光刻胶处理部分讨论光刻工艺对分辨 率的限制。本节将讨论材料特性对分辨率的影响。材料特性包括反差、溶胀和热流等。光 刻胶材料的反差和溶胀对曝光和显影步骤有影响。 热流则在后烘和干刻工艺中影响分辨率。 这里讨论反差和溶胀。后烘部分再详细说明光刻胶处理中的热流。 分辨率分辨率分辨率分辨率：反差反差反差反差 理论上讲，光刻胶的反差直接影响分辨率，光刻胶的侧壁墙角墙角墙角墙角和线宽控制。 上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 5 反差由一叫的数值来表示。 对于反差概念的描述性说明最好把正胶和负胶分开考虑。 对于负胶，在一定照射剂量下，反差与交叉网络形成的速度有关。所以如果一种负胶与其 它相比具有较高的交叉连接速度，则它就具有较高的反差。对于正胶，一定辐射剂量下， 反差就与断链作用和溶解度变化有关。 光刻胶的反差和感光灵敏度通常都通过不同辐射剂量下曝光一定厚度的光刻胶层测 量的，然后确定显影后保留的膜层厚度。(注意：测量光刻胶溶解性的方法在光刻工艺：显 影中讨论。)用这些数据绘制了响应，或感光灵敏度曲线(见图3)。对于负性胶，只有在临 界剂量(图3a的Dg1)时才能观察到交链，由凝胶形成即可看出。所以在这个剂量下还没有形 成图形。更高剂量时，凝胶增长的结果是图形膜层厚度增加。这种现象一直持续到图形膜 层厚度等同于曝光前(即在图3a的Dg0)光刻胶层厚度。负胶的反差值n，为反应曲线与剂量 坐标交点的斜率(见方程2a)。 对于正性胶，随着辐射剂量的增加，光刻胶厚度减小，直到薄膜完全除去(即达到临 界剂量Dc)。测量技术相同，除了溶剂一点都不腐蚀未曝光的光刻胶。曝光处的薄层厚度值 可以测量出来，并归一化为曝光与显影前的厚度。用残余厚度值画出了图3b。正胶的反差 p可以从反应曲线线性部分的外推斜率绝对值得出(见方程2b)。 反差也可以用下列式子计算。既然n和p都从反应曲线的线性部分斜率得出，而通常 斜率可由下式得到： Slope =(Y2-Y1)/(X2-X1) (1) 这里：Y2=1.0,Y1=0,X2=LgDg0，和X1=LgDgi(负性胶)；Y2=0,Y1=1.0,X2=LgDc，和 X1=LgD0(正性胶)。那么， n = log10(Dg0/Dgi)-1 (2a) p = log10(Dc/D0)-1 (2b) 上海矽裕电子科技有限公司 TEL:021-51385583 真空吸笔真空吸笔真空吸笔真空吸笔理片机理片机理片机理片机倒片机倒片机倒片机倒片机金属片架金属片架金属片架金属片架取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟取舟器石英舟/ / / /取舟器取舟器取舟器取舟器外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩外延石英钟罩定制工具定制工具定制工具定制工具净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品净花及防静电用品 6 具有较高反差值的光刻胶具有较好的分辨率。图4说明了这一点。理想的曝光工艺只传递 曝光辐射给要产生图形的光刻胶区，其余部分则没有传到能量。实际曝光时，由于衍射和 散射，能量是以发散的方式传播的(如图4所示)。然后能量到达光刻胶层(以正胶为例)。显 影中，曝光能量大于Dc处的光刻胶完全溶解掉。由于实际的光刻胶并没有无限的反差，就 有一些曝光能量小于Dc但大于D0的区域存在。这些区域局部溶解。这样，显影后的光刻胶 断面就有斜坡。光刻胶的反差值越高，其断面越垂直。由于是在光刻胶与衬底界面之上指 定高度处测量线宽，且光刻胶断面并不垂直，光刻胶线宽就不够精确代表掩模版尺寸。此 外，刻蚀后实际线宽尺寸必须控制。由于干法刻蚀工艺通常腐蚀光刻胶材料到某种程度(图 2)。不够垂直的光刻胶断面将在被刻蚀层上导致更宽线条的腐蚀，所以会降低分辨率。 光刻胶厚度降为零的那点的光刻胶断面角度已由King推导出来，是直接与和光刻 胶厚度成比例的。理想光刻胶具有无限的反差，并具有如图4a所示的反应曲线。实际光刻 胶的响应曲线如图4b