,LCD 清洗技术简介,汉高股份有限公司,电子产品的发展方向 TFT-LCD,LCD的结构,ITO玻璃制造流程和玻璃清洗剂,P3 siliron AP P3 siliron HS P3 siliron L P3 siliron E,P3 siliron TK P3 siliron TKA,P3 siliron S P3 siliron SA,最新产品：P3 siliron AP 去除研磨剂 P3 siliron SA 去除颗粒，纸屑，玻璃屑，油污,彩色滤光片的制造过程,P3 poleve HP P3 disperse H,印框胶,贴偏振片,检测,下一道工序,去除残留液晶,注射液晶,清洗,面板组合,Array board,基板玻璃,清洗,去除研磨和切割残留物,清洗,金属铬 BM制程,刻蚀,Array board 光刻制程,Color Filter 曝光,去除边缘,曝光,检测,检测,去除边缘，显影,去除光阻,显影,光阻 BM制程,去除光阻,TFT-LCD 制造流程,LCD基板玻璃表面的污染物,基板预清洗,一.目的： 对PI 投入前之基板做清洗工作，确保基板之清洁状态。 二.原理： 利用洗剂、毛刷、超音波、IR、UV等装置，将基板上的微粒及油污清除。,LCD基板清洗,P3 siliron HS(2 槽) 1- 5%, 45 -60 , 5-10 min. 浸渍超声波 P3 siliron LS(2 槽) 1- 3%, 45 -60 , 5-10 min. 喷淋刷洗,去离子水 (4-5 槽) RT - 60 , 5-10 min. 浸渍超声波 去离子水 (4-5 槽) RT - 60 , 5-10 min. 喷淋刷洗,清 洗,漂 洗,PI 前,强碱清洗的特点,强碱与玻璃有一定的亲合力，容易在玻璃表面形成碱性覆盖膜，不易被漂洗除去。为解决碱液吸附残留表面问题，需采取增加冲洗次数的方法改善，一般清洗设备会设计更多的清洗和漂洗槽，但这也增加了设备费用成本。,P3 siliron系列玻璃清洗剂的特点,表面活性剂和助洗剂的协同作用，显示出卓越的清洗性能 采用了漂洗助剂，残留物极易漂洗干净。,助洗剂浓度: 2.0 % 表面活性剂浓度: 0.1 % 清洗温度: 60 C,处理时间 (min),清洗能力 (%),水,表面活性剂,助洗剂,助洗剂,+ 表面活性剂,100,0,1,3,0,20,40,60,80,5,10,Lit. from: Oberflche-Surface 1984, Rossmann: Reinigung starrer Oberflchen,助洗剂 / 表面活性剂的协同作用,水洗水,举例: m = 10 ml/m2 表面 Co = 25 g/l Cx = 0.01 g/l 稀释比例=1:2500,消耗量: 1 个水洗槽 25.00 l/m2 表面 2 个水洗槽 0.50 l/m2 表面 3 个水洗槽 0.14 l/m2 表面,LCD基板玻璃清洗条件,控制项目 清洗剂浓度测定: 每天进行一次 电导率法 酸碱滴定 总碱 定期添加 约5g/m2,LCD基板玻璃清洗条件,测试方法 水膜浸润度 扫描式电子显微镜(SEM) X光能量分散光谱仪(EDS),颗粒残留,以X光能量分散光谱仪 (Energy Dispersive Spectrometer) 分析微粒子污染物，确认该微粒子为玻璃屑,泄漏液晶清洗,一.目的： 对封口、裂片、磨边后之液晶片作清洗工作，主要目的是去除狭隘中的残留液晶。 二.原理： 利用液晶清洗剂、超音波等装置，配合溢流(overflow)与过滤(filtration)将狭隘中的残留液晶以及表面的微粒清除干净。 由于STN-LCD工艺是先将液晶盒裁切(裂片)之后才进行清洗，可以预知液晶盒的玻璃面板边缘与表面，除了沾附液晶分子，亦将附着许多玻璃屑(微粒子)，所以清洗槽的溢流与过滤功能就显得非常重要。,LCD 清洗条件,P3 kaltfin 20 (2 槽) 45 - 60 , 5-10 min. 超声波搅拌 P3 kaltfin 20 + P3 Etarap ES (2 槽) 45 - 60 , 5-10 min. 超声波搅拌 P3 allpass 7000/7750 (2 槽) 45 - 60 , 5-10 min. 超声波搅拌,IPA (3 槽) RT - 45 , 15-20 min. 超声波搅拌 Pure Water (4 槽或以上) 40 - 60 , 15-20 min. 超声波搅拌 Pure Water (4 槽或以上) 40 - 60 , 15-20 min. 超声波搅拌,清 洗,漂 洗,泄漏液晶清洗,LCD 清洗工艺,P3 kaltfin 20 + P3 Etarap ES,清 洗,贮油槽,漂 洗,漂 洗,过滤器,（纯水）,1,活性炭,离子交换塔,自来水,废水处理系统,油水分离器,烘箱,烘 干,85-100,漂 洗,2,不损害玻璃。 对封口胶无害。 环氧树脂, 丙烯酸树脂 不损害金属。 铝, 银, 铜 不含离子。 表面张力低。 容易用异丙醇或水漂洗。,LCD清洗剂的要求,架片,转动偏振片,液晶片,光源,偏振片,偏振片,无花纹,有花纹,(偏振玻璃法),LCD清洗效果判定,搅拌开启,滴入液晶,可溶解,搅拌停止,清洗剂,清洗效果的比较,液晶清洗效果（已洗净）,液晶清洗效果（未洗净）,