机械工程与自动化学院 真空获得设备课程实验 报告 张文慧 编 东北大学机械工程与自动化学院实验中心 真空与过程装备实验室 2013 年 9 月 1 一、 课前完成 1、 概述实验一水环泵拆装与实验二旋片泵拆装的实验目的。 2、 水环泵由哪些 部件组成？简述水环泵的工作原理。 3、 旋片泵主要由哪些部件组成？ 4、 简述罗茨泵的特点，及其和旋片泵在抽气原理上有何不同？ 5、 扩散泵主要由哪些部件组成？各部件起到什么作用？ 同组人 ： 指导教师： 实验日期： 2 二、 课堂完成 1、绘制水环泵的主要零部件草图及装配图。 3 2、绘制罗茨泵及扩散泵的主要零部件草图及装配图。 4 3、记录旋片泵拆装的详细工艺过程。 4、记录扩散泵拆装的工艺过程。 指导教师： 实验日期： 5 三、 课后完成 1、 比较水环泵、旋片泵、罗茨泵以及扩散泵的抽气原理有何不同及列举各个泵的 主要应用在 场合？ 2、 整理课堂绘制的草图，绘制出水环泵、旋片泵、罗茨泵的装配图和零部件图。 （要求：装配图的零件不少于 5 件，从装配图中选两个零件进行零件图的绘制即可） 6 7 3、整理课堂绘制的扩散泵的零部件图。 8 4、 旋片泵的气镇阀的作用是什么？安装在泵的哪个位置？结构如何？ 5、 扩散泵在使用过程中 的注意事项和装配时应该注意的问题。 指导教师： 实验日期：