静电防护管理规范文件编号：版 本：V3.0生效日期：2013-03-20文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 1 页共 19 页 文件修订履历版次V0V1V1.1V1.2V1.3V2V2.1 1、V2.2V2.3V2.4V2.5V2.6V3.0部门CS部有 份数 1文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 2 页共 19 页 1 目的防止静电对静电敏感器件造成早期损坏或缩短使用寿命；使 ESD 防护工作具有较强的可操作性。2 适用范围从静电敏感器件进货到产品形成的全过程3 定义31 静电放电（ESD）处于不同电位的两个物体之间，由于直接接触或者电场感应导致的电荷传输。32 静电敏感器件（ESDS）在常规处理、测试或运输中可能会受到静电场或者静电放电损害的分立器件、集成电路或组件。33 静电的发生及带电331 静电的定义：物质是由分子组成，分子是由原子组成，原子是构成一切化学元素的最小微粒，由带正电的原子核和带负电的围绕原子核旋转的电子组成。在正常状况下，原子所带的正负电荷相等，所以对外表现出电中性。但是在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由电中性状态改变为带电状态。丢失电子，则表现为带正电；获得电子，则表现为带负电。这种物体表面所带过剩或不足的相对静止不动电荷，称之为静电。332 静电的产生：静电的产生有多种，这里主要讲述与电子制程紧密相关的接触起电、感应起电、剥离起电、摩擦起电；其它如：粉体带电、液体静电、气体带电、飞沫带电、喷出带电在此不进行讲述。3321 接触起电：当两种物质接触时，其间距小于 2.510-8cm 时在其间即发生电子的转移，界面两侧出现大小相等，符号相反的两种电荷3322 感应起电：它是导体在外部静电场作用下，在不同部位表面感应出不同符号的电荷3323 剥离起电：两个接触非常紧密的物质，在外力作用下突然分开，由于剥离的原因使物体带电3324 摩擦起电：由于摩擦生热，热使离子（电子）的活性增加，容易向其他物体转移333 静电的危害333.1 对人体产生电击：带了电的人体接近接地体时，会由于静电放电产生的瞬间冲击电流流过人体某一部位而引起电击。或者是原来不带电的人体接近一个带电物体时，带电物体对人体放电而引起文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 3 页共 19 页 的电击。 333.2 对电子组件的损坏：对组件的损坏大体可分为两种失效模式：一、突发性完全失效即一次性击穿、烧毁，产品在拿取、传递、作业时由于静电放电造成的产品完全破坏，永久失效；二、潜在性缓慢失效即静电放电使产品造成毫无规律可循的潜在性失效，导致其可靠性下降。34 绝缘体与导体34.1 绝缘体绝缘体具有大表面电阻率，一般大于或等于 1011。产生静电时即使接地电荷也不会泄放到大地，物体仍处于带电状态。如：普通塑料制品、乙烯等342 导静电体导体一般表面电阻率10 2 和10 5 范围，电荷具有良好的流动性，进行接地电荷会大量流向大地，造成大电流而损坏电子元器件或击伤人体。35 防静电材料定义3.5.1 根据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率10 11；静电耗散材料：表面电阻率10 5 和10 11；静电导电材料：表面电阻率10 2 和10 5；静电屏蔽材料：表面电阻率10 2；3.5.2 ESD 防护项目的表面电阻的要求工作表面、存放架、电动车、手推车、周转箱、物料盒、周转架、地板、服装、鞋子、椅子等表面电阻为 104 1010；包装材料（如：胶袋、胶带、胶纸、包装纸、吸塑品等）的表面电阻为：10 5R10 11。36 静电发生源361 人：人是最大的静电发生源。人在作业过程中的任何操作都可能使人的皮肤、头发、衣服等带上静电。 362 环境：地板、工作台面、仪器设备等都是静电发生源。363 材料：生产中的一些原材料、生产辅助材料、包装材料等也可能是静电发生源。表 1 常见物体的静电发生序列文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 4 页共 19 页 37 漏电测试工具如电批、电视机、功放、示波器；由于使用 220V 电进行供电，会产生对地的漏电；漏电电压较低，不会超出供电电压；不会像静电那样具有几千伏的电压；但漏电电流较强，进行可靠设备接地后要求漏电电压 AC 小于 1V。38 电子元器件的静电耐压表 2 一些器件类型的静电敏感电压值器件类型 耐静电放电电压（V） 器件类型 耐静电放电电压（V）VMOS 30-1800 运算放电器 190-2500MOSSEFT 100-200 JEFT 140-1000PROM 100 STTL 300-2500GaAsFET 100-300 SCL 680-1000CMOS 250-2000 DTL 380-7000HMOS 50-500 肖特基二极管 300-3000E/DMOS 200-1000 双极型晶体管 380-7000ECL 300-2500 石英压电晶体器件 100004 职责4.1 工程部确定静电防护控制点、区域和控制要求；4.2 电子仓负责静电敏感器件出库前的静电防护,IQA 部负责静电敏感器件检验时的静电防护,生产车间负责生产过程中的静电防护；非生产物料仓库管理员负责对修理位和烧录 IC 位等使用工具，如镊子、烧录笔，防静电支架，防静电衣帽，防静电手套，指套等来料进行 ESD 抽检，静电衣帽每次抽检 5%，静电手套/指套每次抽检 1%，工具、支架等每次抽检 10%，抽检结果记录在防静电物料验收记录表中。4.3 工程部动力设备室负责对接地主干线的检测和维护,防静电地板表面电阻，防静电地板接地电阻的序号 材料 序号 材料1 空气 12 棉布2 人手 13 钢3 兔毛 14 木材4 玻璃 15 琥珀5 云母 16 硬橡胶6 头发 17 镍、铜7 尼龙 18 黄铜、银8 羊毛 19 聚脂人造纤维9 丝绸 20 聚乙烯10 铝 21 聚丙烯11 纸 22 聚氯乙烯 文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 5 页共 19 页 检测，每半年一次检测；各部门负责本部门静电地线与设备地线的检验和维护；4.4 工厂各车间日常点检、周点检工作由生产车间指定人员 (一般由各生产线多能工或车间 ESD 专员)进行，生产线月点检由各车间/部门 ESD 专员在每月中旬进行，记录在 生产线 ESD 月点检表中，车间主任/部门长审核确认，工程部、部品部、IQC、 PMC 仓库 ESD 专员由各车间主任/部门长指定；4.5 IQA 部负责制造中心 ESD 防护措施的抽检抽查；4.5.1 对于一级 EPA 区域，需要定期的进行周度稽查、月度稽查、季度稽查、年度稽查；对于二级EPA 区域，需要定期的进行月度稽查、季度稽查、年度稽查。检查与测量采用合适的仪器和方法、同时记录予以保存（记录保存时间：1 年） ，使之与 ISO9000 的要求相符合。 4.6 静电防护的控制点和区域电子仓库（包含 IC 房） 、工程部分析室、IQA 首件检验房、机芯生产车间、C/SKD 车间、IQC 机芯检验房、IQC 部品检验房、SMT/PCB 车间、总装车间与静电敏感器件相关的工位及修理工位；4.7 工程部动力设备室负责对静电手环、电烙铁、电批等工、治具进行发放、管理、维修；48 防静电手环、防静电鞋、防静电衣帽、防静电手套；48.1 由各生产线指定专人每天进行点检和目视；同时将每个测试结果记录在静电手环点检表 ，静电鞋点检表等日常点检相关表格及目视检查表中；48.2 对点检中发现的不良静电手环要求立即进行更换；同时记录在ESD 测试 NG 处理记录表中；48.3 对点检中个别员工皮肤干臊引起接触电阻高使测试不通过的，可在作业员与静电手环金属片接触的皮肤处涂抹润肤保湿霜，2 小时涂一次；49 电批、螺丝机、电烙铁由各生产线指定专人每天进行点检；同时将每个测试结果记录在工具、仪器设备点检表中；410 防静电衣帽、手套、鞋，防静电胶皮，防静电周转箱由各生产线指定专人每周进行点检；其中防静电衣帽、手套要求在不穿着时测试表面电阻，穿着时测试表面电压，同时将每个测试结果记录在相应周点检表中；411 仪器、设备、机架、治具、工具、周转车，包装袋由各生产线指定专人每月进行点检；同时将每个测试结果记录在生产线 ESD 月点检表中；412 相对湿度由各车间或部门指定专门的人员点检，同时将每个测试结果记录在温度及湿度点检记录表中；文件名：静电防护管理规范 文件编号： 第 6 页共 19 页 4. 13 SMT/PCB 车间 ESD 地板由工程部设备室进行点检，并同时将点检的结果记录在ESD 地板点检表里。414 目视检查表由生产线指定专员每班完成并做好相应记录；415 以上测试过程中，如发现不良，需要更换或修理的静电损耗品，如静电手环、防静电衣帽，周转车/箱，输送板/带，各类仪器等，需要记录在ESD 测试 NG 处理记录中，ESD 月度审查作为其中一项进行监控。4.16 ESD 培训所有操作或有可能接触 ESD 敏感器件、组件或产品的人员 ESD 敏感器件都必须进行 ESD 培训。同时为确认防静电培训的效果，参加 ESD 培训的员工需要通过防静电知识的考核,为了促进员工防静电知识的不断提升，需要对参加培训的员工进行培训、考核过程。由于产品静电防护涉及的部门很多，人员的级别也相差很大，培训的对象有管理层、操作层，因此，为了保证培训效果应分层次确定培训目标并制定相应培训教材。培训计划应确定静电防护培训类型和频率、方法和具体技巧，培训计划还应包括用于检查学员理解及培训是否合适的检查方法。员工培训记录要求保留至少一年，并规定这些记录存放何处。为了保证培训效果，培训与认证应分为：初级培训和考核、周期性培训和考核、提高培训和考核、特殊培训和考核。 操作层培训和考核：由车间静电管理员每半年对所有在线作业进行一次静电培训和考核。 管理层