几种MEMS陀螺仪（gyroscope）的设计和性能比较 现在市场上的MEMS陀螺仪主要有SYSTRON、BOSCH和INVENSENSE设计和生产。前两者设计的陀螺仪属高端产品，主要用于汽车。后者的属低端产品，主要用于消费类电子，象任天堂的Wii。ADI2003年宣布设计和制造出了Z轴陀螺仪ADXRS300，但是没有正式成为产品。下面主要介绍和比较三家公司的陀螺仪的设计、加工和性能。一、Systron Donner “MICROGYRO” MEMS传感器：双石英调音叉信号处理：混合信号架构，数字和模拟输出；开放回路；两个用于加速度传感器的A/D通道封装：MEMS封装在陶瓷腔体中并跟ASIC一起封装在塑料腔体中。缺点：成本较高Systron Donner “MICROGYRO” 二、博世BOSCH SMG 070 MEMS：平面MEMS；Z轴信号处理：闭合回路；混合模式；自测试缺点：尺寸太大 BOSCH SMG 070 BOSCH SMG 070原理图 三、INVENSENSE IDG 300 MEMS：体加工技术；用ASIC作封盖并提供收集和驱动信号的电极信号处理：开路；模拟缺点：无零点修正；温度导致+/-50度/秒的漂移。（汽车电子要求+/-1.5度/秒）INVENSENSE IDG 300INVENSENSE IDG 300 原理图（曹志良）