ELA基础知识介绍 Array MFG2015 09 10 Locfe南城 Outline 1 ELA与LTPS制程 2 准分子激光退火系统 3 ELA工艺技术 4 ELA工艺测试 ELA简介 准分子就是一种处于激发态的复合粒子 在标准状态下 即在基态时 它处于分离状态 而在激发态处于分子状态 常见的准分子有 XeF KrF ArF XeCl XeBr ELA简介 为什么选用准分子激光 准分子激光对应的紫外波段 a Si薄膜对紫外光有大的吸收系数紫外光的注入深度较小 可以减小激光对玻璃基板的作用 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 ELA与LTPS制程 2 准分子激光退火系统 2 准分子激光原理 结构及参数 1 准分子激光退火系统的结构 3 光学系统构成简介 4 退火腔结构简介 ELA系统基本组成 准分子激光退火系统 TCZ JSWELASystemoverview 准分子激光退火系统 ELASystemoverview 准分子激光原理 结构及参数 激光器原理 准分子激光原理 结构及参数 激光器原理 准分子激光原理 结构及参数 Lasertubedesign 准分子激光原理 结构及参数 Lasertubedesign 准分子激光原理 结构及参数 准分子激光原理 结构及参数 Laserarchitecture 准分子激光原理 结构及参数 Gaslifetime 准分子激光原理 结构及参数 参数 准分子激光原理 结构及参数 参数 PeaktoPeakEnergyFluctuation 准分子激光原理 结构及参数 参数 Pulseduration Pulseduration 准分子光学系统简介 光学系统示意图 准分子光学系统简介 Monitorsystem示意图 准分子光学系统简介 BeamShortAxis LongAxis ShortAxisSlope 准分子光学系统简介 退火腔结构简介 退火腔室结构 退火腔结构简介 ScanProcess 3 ELA工艺技术 1 晶化机制 2 主要参数 多晶硅晶化过程 ELA工艺技术 晶化机制 ELA工艺技术 主要参数 EnergyDensityVsMeltregime ELA工艺技术 主要参数 OverlapVsPitch OverlapVs GrainSize ELA工艺技术 主要参数 ELA工艺技术 主要参数 CVDThinFilmConcern ELA工艺技术 主要参数 Dehydrogen 4 ELA工艺测试 2 SEM测试 3 AFM测试 1 宏观检查 4 PCD测试 ELA工艺技术 宏观检查 宏观检查 Mura ELA工艺技术 SEM测试 ELA工艺技术 AFM测试 ELA工艺技术 AFM测试 SurfaceMaphologyMechanism ELA工艺技术 PCD测试 Thanks 感谢亲观看此幻灯片 此课件部分内容来源于网络 如有侵权请及时联系我们删除 谢谢配合