洁 净 厂 房 设 计 规 范7384 主编部门：中华人民共和国电子工业部批准部门：中华人民共和国国家计划委员会施行日期：1985年6月1日目 录 第一章 总 则第二章 空气洁净度等级第三章 总体设计第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置第二节 工艺布置和设计综合协调第三节 噪声控制第四节 微振控制第四章 建 筑第一节 一般规定第二节 人员净化和物料净化设施第三节 防火和疏散第四节 室内装修第五节 装配式洁净室第五章 空气净化第一节 一般规定第二节 洁净室正压控制第三节 气流组织和送风量第四节 空气净化处理第五节 采暖通风第六节 风管和附件第六章 给水排水第一节 一般规定第二节 给 水第三节 排 水第四节 消防设施第七章 工业气体管道第一节 一般规定第二节 管道材料、阀门和附件第三节 管道连接和清洗第四节 安全技术第八章 电 气第一节 配 电第二节 照 明第三节 控制、通信和防护附录一 名词解释附录二 洁净室空气洁净度的测试附录三 洁净厂房生产的火灾危险性分类举例附录四 净化空气调节系统设计对施工的要求附录五 净化空气调节系统设计对维护管理的要求附录六 净化空气调节系统风管壁厚附录七 本规范用词说明 第一章 总 则 第1.0.1条 洁净厂房设计必须贯彻执行国家的有关方针政策，做到技术先进、经济合理、安全适用、确保质量，符合节约能源和环境保护的要求。第1.0.2条 本规范适用于新建和改建、扩建的洁净厂房设计，但不适用于以细菌为控制对象的生物洁净室。本规范有关防火和疏散、消防设施章节的规定，不适用于建筑高度超过24米的高层洁净厂房和地下洁净厂房的设计。第1.0.3条 在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必须根据生产工艺要求，因地制宜、区别对待，充分利用已有的技术设施。第1.0.4条 洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条件。第1.0.5条 洁净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行的国家标准、规范的有关要求。第二章 空气洁净度等级 第2.0.1条 空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。注：对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数，应进行多次采样，当其多次出现时，方可认为该测试数值是可靠的。第2.0.2条 洁净室空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气洁净度的测试，应符合附录二规定。 第三章 总体设计 第一节 洁净厂房位置选择和总平面布置 第3.1.1条 洁净厂房位置的选择，应根据下列要求并经技术经济方案比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。如不能远离严重空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。第3.1.2条 对于兼有微振控制要求的洁净厂房的位置选择，应实际测定周围现有振源的振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表允许环境振动值进行分析比较。第3.1.3条 洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍。第3.1.4条 洁净厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。第3.1.5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道（可利用交通道路），如有困难时，可沿厂房的两个长边设置消防车道。第3.1.6条 洁净厂房周围的道路面层，应选用整体性好、发尘少的材料。第3.1.7条 洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植 对大气含尘浓度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不妨碍消防操作。 第二节 工艺布置和设计综合协调 第3.2.1条 工艺布置应符合下列要求：一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求的工序和工作室；二、在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房，空气洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置，靠近洁净区入口处宜布置空气洁净度等级较低的工作室；三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧，易产生污染的工艺设备应布置在靠近回风口位置；四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线，并预留设备安装口和检修口；五、应设置单独的物料入口，物料传递路线应最短，物料进入洁净区之前必须进行清洁处理。 第3.2.2条 洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可予以分隔：一、按生产的火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻的生产区段之间，或有防火分隔要求者；二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部措施加以控制者；三、生产联系少，并经常不同时使用的两个生产区段之间。第3.2.3条 洁净厂房的平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其他辅助用房进行分区布置。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施的综合协调效果。第3.2.4条 洁净厂房设计必须合理确定各种管线的平面位置和竖向标高。第3.2.5条 洁净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）的布置，宜首先考虑净化空气调节系统的要求。第三节 噪声控制第3.3.1条 洁净室内的噪声级，应符合下列要求：一、动态测试时，洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。二、空态测试时，乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。注:由于技术经济条件限制，或噪声大于分贝对生产无影响时，噪声级可适当放宽，但不宜大于75分贝A；上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）的测量值。对于变动噪声，则取相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。第3.3.2条 洁净室的噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。第3.3.3条 洁净厂房的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。第3.3.4条 洁净室内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净室允许值的设备，应设置专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。第3.3.5条 净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔振等控制措施。除事故排风外，应对洁净室内的排风系统进行减噪设计。第3.3.6条 净化空气调节系统，根据室内噪声级的要求，风管内风速宜按下列规定选用：一、总风管为610米/秒；二、无送、回风口的支风管为68米/秒；三、有送、回风口的支风管为36米/秒。第3.3.7条 洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室的净化条件。第四节 微振控制 第3.4.1条 洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备（包括水泵等）及其通往洁净室的管道，应采取积极隔振措施。第3.4.2条 对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制，也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较，以确定对其采取必要的隔振措施。第3.4.3条 精密设备、精密仪器仪表的隔振措施，应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气源进行处理，使其达到洁净室的空气洁净度等级。第四章 建 筑 第一节 一般规定 第4.1.1条 洁净厂房的建筑平面和空间布局，应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采用内墙承重。第4.1.2条 洁净室的高度应以净高控制，净高应以100毫米为基本模数。第4.1.3条 洁净厂房主体结构的耐久性与室内装备和装修水平相协调，并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。厂房变形缝应避免穿过洁净区。第4.1.4条 送、回风管和其他管线需暗敷时，应设置技术夹层、技术夹道或地沟等；穿越楼层的竖向管线需暗敷时，宜设置技术竖井。第4.1.5条 对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房，其方案设计和构造的处理，应避免在人流与物流运输以及防火方面对洁净生产带来不利影响。第二节人员净化和物料净化设施 第4.2.1条 洁净厂房内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。第4.2.2条 人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可根据需要设置。第4.2.3条 人员净化用室和生活用室的设计，应符合下列要求：一、人员净化用室的入口处，应设净鞋器。二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。四、洁净区不得设厕所。人员净化用室内的厕所应设前室。五、空气吹淋室应设在洁净区人员入口处，并应与洁净工作服室相邻。单人空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流洁净室时，可改设气闸室。洁净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。第4.2.4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室的布置，一般按图4.2.4的人员净化程序进行布置。图4.2.4 人员净化程序 第4.2.5条 根据不同的空气洁净度等级和工作人员数量，洁净厂房内人员净化用室和生活用室的建筑面积应合理确定。一般可按洁净区设计人数平均每人46平方米计算。第4.2.6条 洁净工作服室内，对空气净化应有一定的要求。第4.2.7条 洁净室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等特征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。第三节 防火和疏散 第4.3.1条 洁净厂房的耐火等级不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，其耐火极限不宜小于0.25小时。第4.3.2条 洁净厂房内一般的生产工作间的火灾危险性，可按附录三进行分类。第4.3.3条 甲、乙类生产的洁净厂房，宜采用单层厂房，其防火墙间最大允许占地面积，单层厂房应为3000平方米，多层厂房应为2000平方米。第4.3.4条 甲、乙类生产或设置在甲、乙类生产环境中的装配式洁净室，其顶棚和壁板（包括内部填充物）应为非燃烧体。第4.3.5条 在一个防火区内的综合性厂房，其洁净生产与一般生产区域之间应设置非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板的耐火极限不应低于1小时，隔墙上的门窗耐火极限不应低于0.6小时。穿过隔墙或顶板的管线周围空隙应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井壁上检查门的耐火极限不应低于0.6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应采用相当于楼板耐火极限的非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔的管线周围空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。第4.3.7条 洁净厂房每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口的数量，均不应少于两个。但符合下列要求者，可设置一个安全出口：一、甲、乙类生产厂房每层的总建筑面积不超过50平方米，且同一时间内的生产人员总数不超过5人；二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行的建筑设计防火规范的规定者。安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不得经过曲折的人员净化路线。第4.3.8条 洁净区与非洁