1纳米材料的粒度分析不仅可以进行纳米颗粒大小的分析, 也可以对颗粒大小的分布进行分析, 粒度的分析方法基本上可归纳为以下几种方法。传统的颗粒测量方法有筛分法、显微镜法、沉降法等。近年来发展的方法有激光衍射法、激光散射法、光子相干光谱法、电子显微镜图像分析法、基于布朗运动的粒度测量法和质谱法等2纳米材料的形貌分析形貌分析主要内容是, 分析材料的几何形貌、材料的颗粒度、颗粒的分布以及形貌微区的成分和物相结构等方纳米材料常用的形貌分析方法主要有扫描电子显微镜(SEM )、透射电子显微镜(TEM )、扫描隧道显微镜(STM )、原子力显微镜(A FM ) 法3成分分析 确定纳米材料的元素组成, 测定纳米材料中杂质的种类和浓度,纳米材料的体相元素组成及其杂质成分的分析方法包括原子吸收、原子发射、ICP 质谱以及X 射线荧光与衍射分析方法4纳米材料的结构分析包括高分辨透射电镜(HRTEM )、扫描探针显微镜(SPM )、扫描隧道显微镜(STM )、原子力显微镜(A FM )、场离子显微镜(F IM )、X 射线衍射仪(XRD)、扩展X 射线吸收精细结构测定仪(EXA FS)、穆斯堡尔谱仪(M S)、拉曼散射仪(RS) 等等。5纳米材料表面与界面分析有: X 射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(A ES)、静态二次离子质谱(S IM S) 和离子散射谱( ISS)5. 1XPS 的分析方法8 9 (1) 表面元素定性分析( 2) 表面元素的半定量分析( 3) 表面元素的化学价态分析5.2俄歇电子能谱仪还具有很强的化学价态分析能力, 不仅可以进行元素化学成分分析, 还可以进行元素化学价态分析