,目录,一、作业安全要求,二、主要危险源及预防措施,三、机台相关安全事项,一、作业安全要求,1、化学品使用安全要求 在2002年3月15日国务院颁布的危险化学品安全管理条例中规定： 应将危险化学品的有关安全卫生资料向员工公开，教育员工识别安全标签、了解安全技术说明书、掌握必须的应急处理方法和自救措施，并经常对员工进行工作场所安全使用危险化学品的教育和培训。,一、作业安全要求,使用前熟知所使用化学品的MSDS 无安全标签的化学品不使用 无明确标示的化学品不使用 应按MSDS佩戴安全用品 盛装化学品的容器未经处理不得移作他用 熟知应急预案，出现事故时照章实行,一、作业安全要求,2、高处作业安全要求 高处作业是指凡是在坠落高度基准面2米以上（含两米），有可能坠落的高处进行作业。 体弱有病不登高 梯子撑脚打滑不稳固不登高 登高作业不可嬉戏 照明不足不登高 携带笨重物件不登高 无安全保护不登高,一、作业安全要求,3、设备内部作业安全要求 所有设备机台及其配套设施的操作者，必须接受设备操作及安全的培训，并获得合格。未经培训或未获合格者则不允许操作任何设备。 作业者必须按操作权限进行操作。 设备运行时，严禁人员身体的任何部位进入设备运动范围之内。,一、作业安全要求,进入机台内部时必须2人以上，且在操作侧挂上警示标识，并相互对话以确保作业安全。 Robot的操作应有专人操作，未培训未有上岗证者禁止操作。 依据各个机台的作业指导书，在进入机台前按下EMO或者取下SafePlug。,一、作业安全要求,4、发生事故伤害时对策 1）万一有人身伤害事故发生，要立刻按紧急停止按钮。 2）呼叫周围的人员进行帮助。 3）立刻将受伤人员抬置安全位置提供第一时间的救治。 4）联络相关人员，描述意外事故的情况，便于寻找原因。,二、主要危险源及预防措施,目录,一、作业安全要求,三、机台相关安全事项,二、主要危险源及预防措施,1、化学品伤害 化学品挥发 预防措施： 作业指导书、培训教育、劳动防护用品 危险源： Coater机台上使用的BM光阻、RBG光阻 可能导致事故： 吸入中毒,二、主要危险源及预防措施,化学品泄漏 预防措施： 作业指导书、培训教育、劳动防护用品 危险源： 显影机台上使用的氢氧化钾 Rework机台上使用的盐酸，硫酸，三氯化铁 可能导致事故： 吸入中毒、皮肤灼伤与腐蚀,二、主要危险源及预防措施,化学品火灾 预防措施： 作业指导书、培训教育、劳动防护用品 危险源： 清扫时使用的丙酮、酒精、异丙醇 可能导致事故： 火灾，使用干粉灭火器扑灭,二、主要危险源及预防措施,紧急喷淋器和洗眼机使用说明,当化学药品溅到皮肤上时，请立即来到喷淋头正下方，并用手向下拉动阀门开关，水即可喷下冲洗皮肤。冲洗完后，反方向推动阀门拉杆既可关闭阀门。,1.紧急喷淋头,2.手拉式阀门拉杆,紧急喷淋器使用说明,二、主要危险源及预防措施,洗眼机使用说明,1.阀门开关,2.洗眼管罩,3.洗眼管,当化学药品进入眼部,立即将脸部靠近机器,并取下水管罩.用手推动阀门开关,当水喷出时,即可冲洗眼睛.,二、主要危险源及预防措施,化学品伤害应急措施 眼睛接触 1）即到紧急冲淋房，用水缓和冲洗污染处30 分钟。 2）将受伤人员转移到无尘室外可用中性盐水再冲洗污染处30 分钟。 3）若仍有刺激感，则反复冲水。 4）即就医。,二、主要危险源及预防措施,化学品伤害应急措施 皮肤接触 1）尽速到紧急冲淋房用水缓和冲洗污染处30 分钟以上。 2）在冲水中脱掉污染的衣、鞋。 3）若仍有刺激感，则反复冲水。 4）立即就医。,二、主要危险源及预防措施,化学品伤害应急措施 误饮 1）迅速将受伤人员转移到无尘室外。 2）彻底漱口。 3）勿催吐。 4）若受伤人员可吞食，则喝下240 到300ml 水。 5）若自发呕吐，令受伤者前倾，以免吸入呕吐物。 6）立即就医。 7）切勿进行口对口式呼吸（只针对误饮光阻的情况）,二、主要危险源及预防措施,化学品伤害应急措施 吸入 1）移除污染源或将受伤者移至新鲜空气处。 2）即就医。,二、主要危险源及预防措施,化学品泄漏应急措施 (1)在漏出的附近立即清除火源和可燃性物体。 (2) 根据需要穿着防护服（ITO刻蚀液、RBG剥离液需穿着防护服），用无尘布来吸收，回收到空容器里，然后在漏出的地方用大量的水清洗。 (3)只可由受训过的人员清理外泄。 (4)最终的残余微须中和并用水冲洗外泄区。 (5)溶液亦可回收或用水稀释。 (6)要注意不要排入河流以及一般的排水沟里。废弃物要根据相关法令进行理。,二、主要危险源及预防措施,化学品泄漏应急措施 适用灭火剂：使用适于火场周围的灭火剂。 (1)勿对泄漏源直接喷水雾。 (2)使用周围灭火器进行灭火。 (3)立即进行人员疏散并通知消防人员。 (4)紧急联络。,2、大功率射线 预防措施： 作业指导书、培训教育、劳动防护用品 危险源： 曝光机使用的紫外射线 UV使用的紫外射线 打码机台使用的Laser 可能导致事故： 火灾，使用干粉灭火器扑灭,二、主要危险源及预防措施,二、主要危险源及预防措施,3、机械性伤害 预防措施： 作业指导书、培训教育、劳动防护用品 危险源： 所有机台 可能导致事故： 人员伤害,二、主要危险源及预防措施,4、曝光灯破裂应急措施 (1)通知FAB内人员迅速撤离现场。 (2)设备抽气30min以上。 (3)切断水银灯主电源，打开灯室。 (4)将碎片收入厚塑胶袋中。 (5)将漏出的水银用吸管、薄纸捞起，装入瓶中密封。 (6)碎片交由灯源厂商分析。 (7)回收水银交给环境安全部门。 (8)如有无法清除的，请紧急联络厂商。,5、高压电 预防措施：安全标识、作业指导书 触电急救： 立即切断电源 用绝缘物体将电线移开 如触电者呼吸停止或微弱呼吸，但还有心跳 人工呼吸 打“120”，人工呼吸直至送到医院抢救为止 如呼吸心跳均停止 心肺复苏抢救 胸外心脏挤压法,二、主要危险源及预防措施,三、机台相关安全事项,目录,一、作业安全要求,二、主要危险源及预防措施,传送带 设备正常运行时，禁止将安全围栏门打开。,三、机台相关安全事项,传送带 遇紧急情况时，请按下急停开关。,三、机台相关安全事项,传送带 切不可变更或除去装备的保护装置。 工作结束后应检查各装置的完好。 非作业人员严禁启动设备。,三、机台相关安全事项,升降机（LIFTER） 不要进入到升降台的下方。 维修保养(清机)时，需要进 入升降台下部进行工作 时，必须做好安全防 范措施，以免发生伤害事故。,三、机台相关安全事项,湿洗设备 设备内有高电压电路。一旦接触到此电路，可能会发生导致伤亡事故，因此严禁靠近高电压电路，尤其不能用湿手去触摸。,三、机台相关安全事项,加热器接线端是高压部分,湿洗设备 在开机和关闭电源时要安全使用,三、机台相关安全事项,电控箱的空气开关是高压部分,湿洗设备 清扫时安全注意,三、机台相关安全事项,不能攀登在设备的电机上或设备的管道上，以免设备损坏和人员受伤,设备不能在运转时清扫滚轮和齿轮以免手夹伤,湿洗设备 清扫时安全防护 清扫维护前必须带好防护用具。（必须2人以上） 严格按照SOP手册中所记载的操作顺序进行作业。 清扫维护结束后，工具数量清点。,三、机台相关安全事项,防护眼镜,橡皮手套,湿洗设备 发生意外的处理步骤 及时赶到紧急淋浴间冲洗 如果眼镜被沾到药液，不要乱动，以免撞到设备受伤，有同事搀扶到紧急淋浴间冲洗，情况严重的要送医院救治 按下设备紧急停止按钮，以免事故扩大。,三、机台相关安全事项,UV设备,三、机台相关安全事项,UV /IR设备清扫时，打开门后，要撑起安全支撑,设备的门很重，需要两个人操作,涂布机 1、在搬运Nozzle时，需二人合力， 小心伤手。 2、当设备保养需将安全门打开才能 工作时，需挂上作业告示牌。 按PAUSE键，防止设备误操作。,三、机台相关安全事项,按PAUSE键,小心压伤,小心割伤手,涂布机 更换光阻材料时，注意压力释放，小心光阻液喷出。,三、机台相关安全事项,放气阀,HP/CP 1.在清洁、保养HP的Plate时，必须确认温度低于50，防止烫伤。 2.登高擦试设备上层HP的Plate时，须确认梯子摆放平稳，人在梯子上也须站稳，防止坠伤发生。 3.在拉出HP的Plate时，须将插销插入后面的插销孔内。防止在擦试时，整个Plate向后滑移。造成作业人员跌伤。,三、机台相关安全事项,插销插入，防止后移,转印机 在清洁、保养和维修时，工作人员不要站在设备可移动的位置，防止误操作夹伤自己。,三、机台相关安全事项,作业者不可站在此处,曝光机 1) 由于光源装置带有高强度的紫外线射线发生装置,对人体是有危害的. 2) 在紫外线光线下进行作业,必须佩戴专用护 目镜,面具,手套. 3) 如果不注意上述的情况,会有灼伤眼部的危 险。 4) 在紫外线光线下进行作业,主要是光源调整 和照度的测量。,三、机台相关安全事项,三、机台相关安全事项安全标志,警示,注意烫伤,注意夹手,注意坠物,有毒物品,注意夹手,注意戳伤,注意夹伤,小心电源或已通电,危险,警告,三、机台相关安全事项安全标志,三、机台相关安全事项安全标志,三、机台相关安全事项安全标志,三、机台相关安全事项安全标志,三、机台相关安全事项安全标志,谢谢！,