真空系统运行记录设备编码： 记录编号：CF-RD0030-01项目日期开机时间运行情况真空度（MPa）停止时间操作人备注月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分月 日时 分正常 不正常时 分