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一、取单晶准备1、准备好线手套、耐高温手套、无尘纸; 2、准备好钢丝钳、取单晶的小车;3、用沾酒精的无尘纸将炉体从上到下擦拭干净,并保持整洁;二、拆炉取单晶1、待单晶冷却 4 小时后,关闭 Ar 气,然后提升单晶至副室,从副室观察窗确认单晶升至所需高度;2、待炉内压力到达极限真空后,先关闭主泵球阀后关闭真空泵电源,然后进行检漏;3、若无异常,拧开小副室门四个螺栓,打开副室氩气阀门,查看副室压力表指针到 0 位和副室小门可以被打开时,才可以升晶棒到副室腔内并高于副室门,盖上隔离阀,打开液压泵电源,升起副室;4、把取单晶的小车放在副室炉筒正下方,准备接单晶;5、稳定单晶,移开安全接盘,按下晶快降,将单晶降入取晶小车内;6、确认单晶完全放入小车内后,戴上手套,抓紧重锤,用钢丝钳将籽晶从细径处剪断,然后稳定重锤,将籽晶从重锤上取下,再将重锤升至副室内;三、导流筒.保温盖.锅底料的取出1、准备好不锈钢小车和取导流筒挂钩(埚杆扳手) ;2、戴好手套及耐高温手套;3、按顺序取出导流筒和保温盖;4、取出的石墨件要放在不锈钢台车上; 1、戴好耐高温手套和准备好钳子;2、用钳子夹住石英埚的上端部分提起,使其松动;3、戴好耐高温手套将石英坩埚取出,若石英坩埚和埚底料能全部带出直接放入不锈钢小车上;若不能则将石英坩埚硅料放到车间指定的区域,剩下的埚底料随三瓣埚一并取出,若出现整炉报废等意外情况则,用耐高温手套直接将石英埚体和硅料一并取出;四、清理大罐1、准备好毛刷、吸管、专用工具;2、带好手套、防尘口罩;1、用专用工具大罐盖螺栓,取出罐盖和过滤网;2、用毛刷和吸尘器仔细清扫过滤网及大罐内的氧化物;3、将清扫后的过滤网缓慢放进大罐;4、用刷子和吸尘器清扫罐盖;5、用沾酒精的纸擦拭罐盖和密封部件;6、盖好大罐盖并用专用工具拧紧螺栓;五、管道炉盖的清理1、带口罩、手套;2、准备好防尘口罩、无尘纸、酒精、清扫用的氩气、研磨布、毛刷、吸尘器管等清扫所需物品;1、用毛刷和吸尘器清扫抽气管道内的挥发物,吸尘器管必须伸入管道底部以便将管道内的挥发物彻底吸尽;2、安装管道盖时,一定要检查密封圈是否完好、洁净,拧紧螺丝时一定要对角拧紧,以防抽空时漏气。六、小付室的清扫1、打开副炉室门;2、用沾有酒精的无尘纸擦拭小付室的附着物;七、石墨件的清理1、准备好清扫用品(毛刷、无尘纸、氩气、吸尘器管、研磨布、除硅点的专有工具、放石墨件的洁净小车等)带好手套、防尘口罩;2、依次用毛刷、吸尘器、无尘纸、清扫石墨件,直至确认无污物;炉内的清理1、准备好毛刷、吸尘器和专用工具;2、用专用工具仔细地疏通废气孔,用吸管吸净炉筒和保温材料及加热器上沿拆炉时落掉的残渣;3、用毛刷和吸管仔细用力清扫保温筒,加热器所能触及到的部位;八、 安装石墨件1、依次安装石墨件 埚杆.埚托.三瓣埚.安装石英埚1、 打开石英坩埚包装,对光检查石英坩埚的内壁有无裂纹、污物、气泡和黑点;2、 若无异常,用氩气对石英坩埚做认真仔细的整体吹扫,吹净浮尘;3、 在炉内的石墨埚上装好石英坩埚;装料1、 将母合金放入石英坩埚内;2、 在埚底平铺小型硅料,然后将大型硅料放在上面;3、 在大型硅料之间的间隙里填充小型硅料;4、 在大块硅料装完后,再装中型硅料;5、 在装料到石英坩埚最上层时,中型硅块料靠坩埚壁尽量以点接触,避免面接触,造成挂边;6、 最后将硅料堆成锥形状,有利于放导流筒;安装导流筒及保温盖1、 装料完成后埚转为 2/RPM 左右旋转,查看坩埚旋转情况;2、 清扫周边(埚上部、加热器上部、保温材料上部、炉盖接合部)用干净吸尘器吸净灰尘及硅渣;3、 确认无摩擦快速将埚降至下限,埚降到位后,停止埚转,装好保温盖、导流筒;炉盖的清扫1、 用沾有酒精的无尘纸擦拭炉盖接合部、炉筒的接合部的封密圈并检查,确认无问题后,将炉盖旋转至炉筒上部;打开液压泵电源,按炉盖降按钮下炉盖副室的清扫1、 准备好清扫棒、无尘纸、酒精、氩气;2、 在清扫棒上缠上沾有酒精的无尘纸,清扫副室内部至上部;3、 用清扫棒吹扫副室内部至上部,直至确认无污物;4、 用沾有酒精的无尘纸认真擦拭重锤及钼夹头,最后用氩气认真吹净;5、 按晶快升升起重锤至适当位置,用沾有酒精的无尘纸擦拭副室下部的接合部和炉盖上部的接合部,转动副室,降下与炉盖合炉;安装籽晶1、 用沾有酒精的无尘纸认真擦拭籽晶,并用氩气吹净;2、 把籽晶装在夹头上,装好钼销;3、 用力向下拽一下籽晶使其牢固,稳定好籽晶后,按晶快升使其上至适当位置,关闭副室小门,开始抽空;抽空1. 打开真空泵电源;2. 缓慢打开球阀;3. 抽空后炉内力达20Pa 时,进行反复充氩气,使炉内压力10Pa;4. 关闭真空球阀,进行冷检漏 3 分钟,看漏率是否小于 1Pa;加热化料1、 抽空完成后,漏率达到要求后,打开真空球阀,打开氩气阀门,设定流量为 20 升/分,使炉内压力达到 1000Pa 左右;2、 确认单晶炉进水、出水开关打开,并检查各进水分支开关已打开;3、 打开加热电源开关;4、 根据通过欧陆手动状态的 OP 功能每半小时,分步增加功率;(10、30、70、90KW) 引晶温度调试1、温度切入自动后,按晶快降,将籽晶降至从主观察窗能看到的位置;2、20 分钟后,按晶快降按钮将籽晶降至距液面 20mm 处预热 20 分钟;3、降籽晶使之与液面接触,晶转设定为 8 转/分,熔接 10 分钟,根据接触光圈的形状(光圈圆合适,方不合适温度低) ,确定引颈温度是否合适,若合适开始引颈,若不合适,通过欧陆调整温度 20 分钟后开始引颈,温度不宜偏低;引晶1、 打开晶升电源,计长清零;给定埚转至 7 转/分.;2、 缓慢提升拉速至 1.5mm/min 左右 10mm 后,提升拉速,让拉速保持在 1.5mm/min-6mm/min 之间,引颈直接控制在 3mm 左右,引颈长度不低于 150mm.;3、 引晶过程中若温度不适,可进行手到调节温度,但不宜过大;放肩1、引颈达到预定的长度后,缓慢降低拉速直至 0.7mm/min 进行放肩;2、放肩务必要放平肩,放肩时用温校速率来调节温度;转肩1、 将肩放到适当直径时,将拉速缓慢提高; 2、 密切关注单晶的生长速度,适当增减拉速; 3、 待单晶生长到目标直径时缓慢降低拉速,同时适当给定埚跟随动;转肩结束后,计长清零,实时观察单晶生长情况待其生长稳定后,调整伊尔根,使其压单晶光圈 1/31/2 之间的位置,数字信号大小为 350-450 左右;4、 调整好拉速和温度,将计算机切入等径控制和温度控制自动状态。等径1、计算机切入自动控制后认真作好各项记录;2、等径过程中应时常观察炉内单晶生长情况,每隔 15 分钟对炉内巡视一次,确定有无异常,每一个小时做一次拉晶记录;收尾1、当晶体长达到达预定长度或埚内剩料少时,等径和温度自控手动退出,慢慢的降埚跟停止埚升进行收尾;2、要经常检看收尾情况,对拉速和温度做适当调整;3、收尾长度应为晶体直径的大小,收成尖尾后使单晶脱离液面,转入晶体冷却工序;4、单晶脱离液面时,按埚降快速,使之脱离停加热1、收尾完成后,按下埚快降键,下降 20mm 后确认埚快降停止,不成晶时下降 30mm.;2、晶升拉速调整到 1.0mm/min,使单晶自动上升;3、欧陆归 0;4、调整计算机各参数,使之恢复初始状态
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