NE950/550EXz 开关机顺序开关机顺序关机顺序关机顺序1. CIR21 设定在 20，等待实际温度到达 20。2. cleaning 程序运行。Flush 程序运行。3. E 室，L/UL 室，C 室保持真空状态。4. 易燃易爆气体管道排气。 （如果没有此类气体可以省略此步）5. CL2,BCL3 管道排气。 （CL2 是危险气体，管道必须排气，排气范围是钢瓶的开闭阀门到装置的末端。BCL3 是易液化的气体，管道必须排气，排气范围是钢瓶的开闭阀门到装置的末端。） 6.触摸屏 SHUT DOWN “START”按钮按下，等待自动关机。 “APC 关闭TMP 停止转速降到 0DRP21 干泵停止” 。 7. 触摸屏 L/UL SHUT DOWN “START”按钮按下，DRP01 自动关闭8. GPCS 系统关闭，SECURITYSYETEM END9.电脑关闭。双击触摸屏的“SHUT DOWN”图标，再按确认钮。10.UPS 关闭11.SYETEM OFF 按钮按下。 12. 电源关闭（装置后部设备开关，变压器及贵司施设总闸）13.冷却水关闭。14.压空关闭。 15.N2,工艺气体阀门关闭。 以上开机顺序开机顺序 1.压空打开。确认无漏压空。2. 冷却水打开，先开回水，再开进水，确认无漏水。3.电源打开。(设施总闸，变压器，装置后部开关)。确认无漏电，无跳闸。 4.SYSTEM ON 按钮按下。5.UPS 开关按下，电脑电源按钮按下。6.GPCS 登录。 7.触摸屏 Etching Chamber 项：Pump Down“START”按钮按下，E 室排气系统（DRP21,TMP）自动启动，E 室抽真空。8. 触摸屏 L/UL Chamber 项：Pump Down“START”按钮按下，L/UL 室排气系统（DRP01）自动启动，L/UL 室抽真空。9.E 室加热排气。管道（pipe heater）及前阀 V22 加热器打开,shield set 200,chamber set 50，加热排气大约 6 小时。再降到室温。10.BUILD UP 确认11.搬送动作确认. 12.气体压力确认.工艺气体，N2,压空等压力，确认在范围内。13.管道排气。 （如果更换钢瓶的话，要注意管道排气） 14.CLEANING 程序运行。 15. condition 程序运行.16.蚀刻确认。