Chemical Design Inc.工工艺艺 装装置置 设设备备多晶硅制造装置尾气回收设备操作说明书多晶硅制造装置尾气回收设备操作说明书CDI 0806-2中国四川省中国四川省机密机密 编制：CHEMICAL DESIGN, INC.285 Market StreetP.O. Box 513Lockport, New York 14095-0513电话 (716) 433-6744传真 (716) 439-4019www.chemdes.com版次0：2009年2月9日Chemical Design, Inc.CDI 0806-2 操作说明书22009年2月9日多晶硅制造装置尾气回收设备操作说明书多晶硅制造装置尾气回收设备操作说明书目录目录1.0工艺说明.4 1.1尾气冷凝 .4 1.2压缩.4 1.3吸收与蒸馏系统.4 1.4吸附系统 .5 1.5设计依据 .5 1.6公用工程 .6 2.0预开车.6 2.1安装塔填料.6 2.2泵 .6 2.3电加热器 .6 2.4加注冷凝物系统.7 2.5将碳装入吸附塔T-204 A、B和C.7 2.6氮封系统 .7 2.7压缩机.7 2.8校准仪表 .7 2.9检查程序逻辑 .7 2.10检查序列控制 .8 2.11检查紧急停车系统.9 2.12公用工程调试 .9 2.13制冷系统的抽气与充注.9 3.0开车.9 3.1氮气吹扫 .10 3.2干燥吸附塔.10 3.3循环吸附塔.11 3.4干燥原料气压缩机.11 3.5用氢气置换氮气.11 3.6建立塔T-202和T-203内的液位 .12 3.7启动压缩机.12 3.8循环氯硅烷液体.13 3.9调试制冷系统 .13 3.10建立HCL蒸馏塔T-203中的温度曲线图.13 3.11增加原料气尾气量.13 4.0停车.14 4.1联锁.14 4.2短期中断 .