微纳加工技术与装备研究课题题目课题初步按五大方向展开，分别为：超精密机床本体、关键功能部件、超精机床数控系统、表面形貌检测和零件超精密加工工艺。各位同学首先根据如下方向，基于自身背景和兴趣选择 2-3 个研究点，写一份简短的方向申请报告；然后重点基于其中一到两个研究点，写一份该研究问题的国内外综述。该综述所查文献主要包括近五年的中文期刊、中文博硕士论文、外文期刊、外文博硕士论文、中外文会议论文和国内外超精密机床商业资料（其中，期刊和博、硕论文在学校图书馆电子资源中可查阅，国内外商业资料可通过网络初步查找） 。查找技巧：首先按照研究方向初步凝练 3-5 个关键词，然后在中文期刊中查找相关文献，在基于中文期刊文献的参考文献，查找外文和博、硕士论文，再根据已有的文献资料，重新凝练关键词和查找新的文献，务求获得相关研究领域的基础理论、存在问题和解决方法。研究方向主要分为以下五类：1、超精密机床本体设计与优化超精密机床本体设计与优化超精密机床床身结构设计与优化超精密机床振动分析与动态性能优化；超精密机床地基隔振分析与优化超精密机床温度场分析与优化2、超精密机床关键功能部件超精密机床关键功能部件超精密 XY 两自由度工作台气浮主轴性能建模与控制旋转工作台精度分析与控制超精密直线电机与动态响应超精密加工快刀伺服系统3、超精密数控系统与超精密数控系统与 CAM 软件软件超精密机床运动控制超精密机床数控系统超精密加工 CAM 算法4、超精密零件形貌检测超精密零件形貌检测超精密零件表面形貌评价方法超精密零件表面形貌视觉检测超精密零件表面形貌激光检测接触式超精密零件表面形貌检测5、光学零件设计与加工工艺光学零件设计与加工工艺自由曲面光学元件设计与分析功能结构表面光学元件设计与分析脆性材料超精密加工方法6、其他其他超精密加工时机床的振动分析与抑振超精密加工时温度与力变形分析及补偿