国家标准报批资料国家标准半导体集成电路模拟开关测试方法（修订） （征求意见稿）编制说明一、工作简况一、工作简况国家标准半导体集成电路模拟开关测试方法修订项目工作的下达计划任务主管部门为工业和信息化部、归口单位为全国半导体器件标准化技术委员会、本项目的计划代号：20154227-T-339、主要承办单位中国航天科技集团公司第九研究院第七七一研究所、协作单位圣邦微电子，工作过程以现有92版模拟开关测试方法为基础，国外Maxim、ADI、TI公司系列产品技术手册为参考，主要从测试项精度、多路复用及多路转换功能验证相关方面对模拟开关电路的通用测试方法进行修订，修订测试项经过实际测试验证。主要起草人张冰负责标准修订稿的编制、李雷负责修订测试项的测试验证及技术实现。二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题二、标准编制原则和确定主要内容的论据及解决的主要问题模拟开关是一种应用广泛的通用电路，可采用CMOS、BiCMOS、JFET等工艺实现单路、多路、双向及数据选择等功能，多应用在信号转换选择领域，如音视频监控、工业控制等。随着前端环境感知、中端数据吞吐、后端信号处理能力的大幅提升，采用模拟开关进行系统设计时，设计者越来越关注模拟开关中涉及开关精度及速度的指标。同时作为军品电路应用时，设计者更关注模拟开关及系统在环境适应性方面的能力，尤其是模拟开关核心指标导通电阻随温度变化的影响。现行92版国标所涵盖的测试项及测试方法只能满足旧工艺条件及早期模拟开关产品类型的测试要求，随着产品技术更迭，模拟开关核心指标导通电阻值随工艺制程的提升，已由传统几百欧下降到几欧，使得采用现有国标进行测试提取的参数，无法适用于主流高速、高精度应用。本次补充修订指标项主要针对上述问题，提升模拟开关在军民品高速、高精度、高可靠相关技术领域的应用及发展，为该通用电路更好的服务于现代高新电子产业发展做好支撑。本标准代替GB/T 14028-92半导体集成电路模拟开关测试方法的基本原理，与原标准相比其修订内容如下： 国家标准报批资料-参照ADI公司ADG系列产品手册，增加了导通电路温度漂移率、通道转换无效输出时间、电荷注入量四项新增测试项；-增加了导通电路路差率的测试项；-修改了图、表的描述方式；-调整了部分章节的顺序；1、导通电阻路差率该指标能够表征对于含多个模拟开关的器件或模拟多路转换器，测试各路开关导通电阻间的失配误差率。增加该指标测试项，可直观表征低导通电阻值条件下，各通路导通电阻误差情况。2、导通电阻温度漂移率测试不同温度条件下，模拟开关导通时，开关两端间的电阻阻值随温度变化率。增加该指标测试项，符合军品测筛要求。3、通道转换无效输出时间对于多路转换器，在选通控制信号作用下，测试复用输出通道切换信号过程中的无效信号传输时间。增加该指标测试项，可适用于高速应用领域，表征模拟开关切换通道的效率。4、电荷注入量测试模拟开关寄生电容因电荷注入效应，引发的开关输出端电平信号跳变量。增加该指标测试项，可适用于高精度应用领域，表征开关噪声引发的信号变化量。三、主要试验三、主要试验或或验证验证情况分析情况分析温漂测试采用我所大规模线性器件测试系统AMIDA-3001XP、大规模混合信号测试系统ETS-88以及高低温气流装置THJ80完成温度遍历记录测试结果，并在向631所、29所、014中心交付的芯片（ADG506ATE/883、ADG431BR）中采用此试验方法（1017）及上述测试设备完成测筛，测试结果与DUT生产厂家技术规范相符。通道转换无效输出时间的测试采用我所大规模线性器件测试系统AMIDA-3001XP和大规模混合信号测试系统ETS-88完成交流参数的提取记录测试结果，国家标准报批资料并在向618所交付的芯片（ADG408BRUZ）中采用此试验方法（1018）及上述测试设备完成测筛，测试结果与DUT生产厂家技术规范相符。电荷注入量指标的测试采用我所大规模线性器件测试系统AMIDA-3001XP和大规模混合信号测试系统ETS-88完成电荷参数的提取记录测试结果，并在向631所、7801所交付的芯片（ADG506ATE/883、ADG1421BRMZ）中采用此试验方法（1019）及上述测试设备完成测筛，测试结果与DUT生产厂家技术规范相符。四、知识产权情况说明四、知识产权情况说明新增测试项的试验方法、操作步骤未检索到涉及相关技术领域专利。五、采用国际标准和国外先进标准情况五、采用国际标准和国外先进标准情况本规范以现有92版模拟开关测试方法为基础，主要从测试精度、动态响应以及温度漂移等方面对模拟开关电路的通用测试方法进行修订，修订后的测试项通过了实际测试验证。由于国际上对于模拟开关器件的测试没有独立的国家标准，该类器件测试线路、方法通常在器件生产厂家（如：ADI、TI、Maxim公司）的产品技术手册规定。本标准的测试原理、方法、线路与国外测试先进测试方法保持一致。另外，我单位分别采用通用ATE设备和台式仪表依照本标准规定测试方法对ADI、INTERSIL、Maxim等公司生产的多类样品进行测试，测试数据与器件技术手册中的典型值或曲线图相符，测试结果稳定，可靠。六、与现行相关法律、法规、规章及相关标准的协调性六、与现行相关法律、法规、规章及相关标准的协调性本标准是在原国标基础上进行的修订，仍然符合现行法律、法规和规章的要求。七、重大分歧意见的处理经过和依据七、重大分歧意见的处理经过和依据暂无。八、标准性质的建议八、标准性质的建议建议为推荐性标准。九、贯彻标准的要求和措施建议九、贯彻标准的要求和措施建议建议报批通过后尽快实施。十、替代或废止现行相关标准的建议十、替代或废止现行相关标准的建议本标准是对GB/T 14028-92半导体集成电路模拟开关测试方法的基本原理的修订，在报批通过后建议代替并废止GB/T 14028-92。国家标准报批资料十一、其它应予说明的事项十一、其它应予说明的事项无。国家标准集成电路模拟开关测试方法编制工作组2016-03-08