新型共振隧穿薄膜微加速度计的研究全部作者：张文栋 胡杰 薛晨阳 熊继军 张斌珍第 1 作者单位：中北大学电子与计算机科学技术学院，太原（）论文摘要：本文研究了 1 种新型的 GaAs 基压阻式共振隧穿微加速度计结构,该微加速 度计的压敏元件采用 AlAs/In0.1Ga0.9As 双势垒共振隧穿纳米薄膜结构. 加速度计的压敏元 件和悬臂梁的加工分别利用空气桥工艺和控制孔工艺。对加工出来的加速度计结构进行振 动台实验,初步测得传感器的灵敏度为 7.6mV/g，线性度为 0.16.关键词：加速度计;共振隧穿薄膜;双空气桥工艺;控制孔工艺 (浏览全文)发表日期：2007 年 12 月 25 日同行评议：（暂时没有）综合评价：（暂时没有） 修改稿：