4D 测试仪注意事项1方块电阻（R）正常范围：正常范围：52R58； 2 当方阻 45R75 时，通知工艺，将片子拿去刻蚀车间二次清洗，二次扩散；注意：若返工片出现方阻过低（R75 时，通知工艺，将片子拿去刻蚀车间二次清洗，二次扩散；注意：若返工片出现方阻过低（R44）, 则通知工艺，去 PSG 后，背面扩散；当方阻 58 时，提醒工艺调试；对于对于 2 号机，及号机，及 10 号机共号机共 6 个炉管，务必用个炉管，务必用 4D 测试仪测试！测试仪测试！其余炉管也尽量用其余炉管也尽量用 4D 测试测试!扩散工艺2010-11-2