中国真空学会质i l l - 5 齄幂专委会I l l 十二届年会中国计量嗣试学会真空较准专委会镕七届年会沈阳市真空机械三厂沈阳市真空机械三厂从- - J D l t 九年起开始进行氦质谱检漏仪研制，一九九三年九月进行Z H 1 型氨质谱检漏仪技术鉴定其主要指标如一1 c ：1 最小可检漏最 50 1 0 “ P a * m 3 I s ；2 反应时间 3 秒：3 仪器启动时间： 3 0 分：4 消耗功率：( 12 k W ；5 外形及重量：5 5 0 X5 0 0 x 4 5 0 r a m 3 5 0 埏。Z H I 型氨质谱检漏仪可l E 向检漏也可逆扩散检漏，不过逆扩散检漏的最小可检漏率要比正向检漏小一个数量级。本检漏仪的高真空泵采用自行研制的K 6 5 扩散泵，此泵的特点是对氨抽速与反扩散都很稳定，质谱室设计小巧，磁铁采用高磁场强度的钕铁硼永磁体，电子线路采用半导体集成电路，比较早期的检漏仪设计体积和重鼙人人减少，Z H - l 型仪器售出约五十台。- j L 九四年起开始研制Z H 2 型氦质谱检漏仪是在Z H 一1 璎基础上，采H j 分体式结构，进一步优化设计，缩减体积与重量，对仪器的各部件进行精确计算，保留了Z H 一1 ，议的主要功能与特点，使仪器更便于现场使爿j ，同时也为仪器的小型化奠定了基础。- - J t A l J c 进行Z H 3 型氦质谱检漏仪研制，整机延用Z H 2 型的分体式结构。只保留逆扩散裣漏方式，同时改善真空机组的性能，Z X 1 A 型旋片式真空泵党体采_ I j 铝合金加I ：，K 6 5 A 扩散泵泵体采_ 【；| j 不锈钢，优化电子线路从而保证整机性能提高，并且整机重量仅为2 7 妇，一人即可携带，Z H 3 型售出3 0 台仪器。以下为Z H 3 型氦质谱检漏仪的主要性能指标1最小可检漏量 5 0 1 0 - n P a * m 3 I s ；2 反麻时间 3 秒；3 仪器启动时间： 3 0 分；4 消耗功率： 0 8 k W ；5 外形及重量：3 1 0 2 2 0 6 5 0 m m ，2 7 k g 。以上二种检漏分析器部分可互换使用，普遍采用手动阀门及各参数手动调节，对使_ j者的应用水平有着严格要求，如使用不当，仪器容易发生故障。二O0O 年，在电子十二所主导专家的指导F ，开发研制出A H 一1 型全白动吸枪式氦检漏仪该检漏仪的吸枪式检漏技术为国内首创，本机采用德国莱宝分子泵、机械泵，离子厂家介绍赉州贵阳2 0 0 4 年9 月源为分离规型，1 8 0 度磁偏转，电子线路普遍采用先进的集成电路，同时采州单片机技术实现整机全自动化控制，仪器各参数自动调好只要接通电源仪器即可正常工作。A H 1 型全自动吸枪式氨检漏仪的主要廊用方向：1 真空应用设备检漏2 大容积压力容器、管道、阀门检漏3 冰箱压缩机、中央空调气密性检漏4 大型变压器、互感器防渗漏油检漏5 化1 ：设备、有毒有害污染物容器防渗漏检漏A H 1 型全自动吸枪式氦检漏仪主要技术指标：1 氦灵敏度：最小可检漏气量：8 0 x 1 0 一P a m ；2 量程范闱：1 0 。到lo 7 P a m 3 s3 吸氨的反麻时间：0 5 秒4 诘 ；蕈单似：P a m 3 s5 零的控制：选择本底消除型式，用自动零c 零”的特征6 最大样品吸入压强：1 0 0 P a7 音响：强度控制选择门限音响8 质谱分析器：1 8 0 0 偏转，两组氧化钇阴极9 真空系统：高真空为分子泵N T 5 0 ，前级泵为E 2 M 1 51 0 真空计探头宽量程，真空自动连锁1 1 吸枪：3 m 、5 h i 、1 0 m 、1 5 m 长吸枪可选，并带有过滤器1 2 漏率类似输出：0 - 1 0 V1 3 校准：外接漏孔，满量程的校准1 4 1 ：作环境温度：5 。5 0 。C1 5 总功率：O 7 k W1 6 重量：3 4 k二O0 三年，沈同 市真空机械三厂已组建注册“沈阳安利真空检测技术有限责任公司”，争取在真空检测技术领域有所发展。目前致力于新一代检漏仪的研制。正压检渊在A H 一1 型基础上，进一步开发用于天然气工程检漏的仪器。负压检漏方面已规化山两种全自动的负压检漏仪，一种是高档进口分子泵系统，一种扩散泵系统的低档高性能仪器，两种负压检漏仪都可配备快检吸枪，= ；| j 丁- 止压吸入式检漏，可直接从大气采样检漏。低档扩散泵检漏仪启动时间控制在1 0 分钟之内，售价在四万元人民币以F 。