技术资料由北京水处理公司提供实验室超纯水设备简介电子级超纯水设备出水水质完全符合美国 ASTM 纯水水质标准、 我国电子工业部电子级水质技术标准 (18M.cm、15M.cm、10M.cm、2M.cm、0.5M.cm 五级标准)、 我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指 标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。对水质的要求：新兴的光电材料生产、加工、清洗;LCD 液晶显示屏、PDP 等 离子显示屏、高品质灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB 线路板、 电路板、大规模、超大规模集成电路需用大量的高纯水、超纯水 清洗半成品、成品。集成电路的集成度越高，对水质的要求也越 高，这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、自动化程度、生产 的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。超纯水制备工艺：1、预处理系统反渗透系统中间水箱粗混合床精混合 床纯水箱纯水泵紫外线杀菌器抛光混床精密过滤器 用水对象 (18M.CM)(传统工艺)2、预处理反渗透中间水箱水泵EDI 装置纯化水箱 纯水泵紫外线杀菌器抛光混床0.2 或 0.5m 精密过滤器 用水对象(18M.CM)(最新工艺)3、预处理一级反渗透加药机(PH 调节)中间水箱第二 级反渗透(正电荷反渗膜)纯水箱纯水泵EDI 装置紫外线杀 菌器0.2 或 0.5m 精密过滤器用水对象(17M.CM)(最新工 艺)技术资料由北京水处理公司提供4、预处理反渗透中间水箱水泵EDI 装置纯水箱 纯水泵紫外线杀菌器0.2 或 0.5m 精密过滤器用水对象 (15M.CM)(最新工艺)5、预处理系统反渗透系统中间水箱纯水泵粗混合床 精混合床紫外线杀菌器精密过滤器用水对象 (15M.CM)(传统工艺)