D07 - 9E 型 质量流量控制器 D07- 9EM 型 质量流量计 使 用 手 册 2 0 0 7. 1 目 录 1. 用途和特点用途和特点 15.2.2 检查和调整零点 16 2. 主要技术指标主要技术指标 25.2.3 通气工作 16 3. 结构和工作原结构和工作原 35.2.4 关机 16 3.1 结构 36. 注意事项注意事项 16 3.2 工作原理 46.1 禁用流量介质 16 4. 安装和接线安装和接线 66.2 使用腐蚀性气体问题 16 4.1 外形及安装尺寸 66.3 阀口密封问题 16 4.2 气路接头形式 76.4 阀控操作注意 16 4.3 连接电缆插头 96.5 安装位置问题 17 4.4 与计算机信号的连接 116.6 注意工作压差 17 4.5 调零和外调零 136.7 标定和不同气体的换算 17 5. 使用方法和操作步骤使用方法和操作步骤 146.8 订货填写示例 17 5.1 质量流量控制器的操作 147. 故障判断和处理故障判断和处理 18 5.1.1 开机操作 148. 保证、 保修与服务保证、 保修与服务 20 5.1.2 清洗功能 158.1 产品保证和保修. 20 5.1.3 显示仪与计算机连接的操作 158.2 保修对使用的要求. 20 5.1.4 直接与计算机连接的操作 158.3 服务. 20 5.1.5 阀控功能 159. 附录附录 21 5.1.6 关机操作 159.1 气体质量流量转换系数 21 5.2 质量流量计的操作 . 169.2 转换系数使用说明 23 5.2.1 开机预热 . 16 MASS FLOW CONTROLLER 以及镀膜设备、光纤 熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、 稳定可靠、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下工作), 采用国际标准接头, 其 操作使用方便, 可任意位置安装, 并便于与计算机连接实现自动控制。 D07 系列质量流量控制器和质量流量计一般与 D08 系列流量显示仪等产品配套使用, 控制控制器与显示之间用专用电缆连接(如图 1 所示)。 图 1.质量流量控制器与流量显示仪配套使用 第 2 页 共 24 页 2. 主要技术指标 表 1. D07-9E 型 MFC 性能指标 编号 项 目 D07-9E 型 1 流量规格 ( 020,30,50,100,150,200,250) SLM 2 准确度 2 % F.S 3 线性 (0.52) % F.S 4 重复精度 0.2 %F.S 5 响应时间 (1 4) sec 6 工作压差范围 20 , 30 SLM: (0.05 0.30) MPa 50150 SLM: (0.10 0.30) MPa 200,250 SLM: (0.15 0.30) MPa 7 耐压 3 MPa 8 工作环境温度 5 45 9 输入输出信号 0 V +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15V 400 mA 11 外形尺寸 3/8” Swagelok: 185mm 45mm 145mm / VCR 188mm 45mm 145mm 12 重量 2.6 kg 注意注意: 质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N质量流量计和质量流量控制器出厂通常用氮气（N2 2）标定。 ）标定。 质量流量的单位规定为: 质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分); (标准毫升/分); SLM (标准升/分) (标准升/分) 标准状态规定为: 温度 - 273.15K ( 0 ); 标准状态规定为: 温度 - 273.15K ( 0 ); 气压 101325 Pa (760mm Hg) 气压 101325 Pa (760mm Hg) F.S (Full Scale): 满量程值 F.S (Full Scale): 满量程值 第 3 页 共 24 页 表 2. D07-9EM 型性能指标 编号 项 目 D07-9EM 型 1 流量规格 ( 020,30,50,100,150,200,250) SLM 2 准确度 2 % F.S 3 线性 (0.52) % F.S 4 重复精度 0.2 %F.S 5 响应时间 14 sec 6 气压降 20100SLM: 100SLM: 0.05 MPa 7 耐压 3 MPa 8 工作环境温度 5 45 9 输出信号 0 V +5.00 V (输入阻抗大于 100K, 输出电流不大于 3mA) 10 电源 +15 V 50 mA -15 V 50 mA 11 外形尺寸 3/8” Swagelok: 160mm 45mm 145mm / VCR: 163mm 45mm 145mm 12 重量 1.5 kg 各型号产品的主要技术指标见表 1 和表 2。其中 9EM 型是 9E 型的流量测量部分，流 量计量部分的技术指标相同。 3. 结构和工作原理 3.1 结构 质量流量计由流量传感器, 分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计的 基础上， 再加上调节阀门和 PID 控制电路就构成了质量流量控制器。 9E 型质量流量流量控 制器, 打开外罩后的结构如图 2 所示。 第 4 页 共 24 页 支架矩型插座电路印制板传感器 调零电位器进气接头 出气接头 电磁调节阀 流量通道 锁紧螺母 图 2. 9E 型质量流量控制器结构图 9EM 流量计与 9E 型控制器相比，在结构上的不同点，就是少了电磁调节阀，其它部 分基本相同。 3.2 工作原理 流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。 将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进 行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门， 闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量 相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的 D08 系列流量显示仪上设置有稳压电源, 3 位 半数字电压表, 设定电位器, 外设、内设转换和三位阀控开关等。本控制器与流量显示仪连 接后的工作原理如图 3 所示。第 5 页 共 24 页 图 3. 质量流量控制器原理 控制器输出的流量检测电压与流过通道的质量流量成正比, 满量程(F.S)流量检测输出 电压为+5V。质量流量控制器的流量控制范围是(2100)%F.S（量程比为 50:1）, 流量分辨 率是 0.1%F.S。 流量显示仪质量流量计分流器通道传感器入口I调节阀驱动阀控-15V+15V 0V220V电源流量显示100.0(0 +5.00V)setout放大器比较器COM设定+5.00V内(0 +5.00V) 外+15V出口-15V清洗关闭0 电 平流量检测设 定质量流量控制器注意注意: 当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做 流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上，不过要注意，当流量超过满 量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示 不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。 当质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时，也可以当质量流量计使用。在做 流量计使用时，流量检测电压的输出值最大可能达+10V 以上，不过要注意，当流量超过满 量程值（+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示 不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但并不会对流量计本身造成损伤。 第 6 页 共 24 页 控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定开关打到“内”设时, 由设定电位器控制 流量; 当打到“外”设时, 由用户提供的(0+5)V 电压控制流量。 在显示面板上还设置有三位阀门控制开关, 当置“关闭”位时,阀门关闭; 当置“清洗” 位时,阀门开到最大,以便气路清洗，或作为流量计使用；当置于“阀控”时，自动控制流量。 4. 安装和接线 4.1 外形及安装尺寸: 各型号产品的外形和安装尺寸如图 46 所示。 图 4. D07-9E 型 MFC 外形尺寸 A 向 深6A L: Swagelok.185mmVCR.188mm第 7 页 共 24 页 深6AA 向 L:Swagelok.160mmVCR.163mm图 5. D07-9EM 型 MFM 外形图 注意注意: 图中的高度 145mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加 50mm 左右。 图中的高度 145mm 是不加电缆插头的高度,加上插头后的高度要再增加 50mm 左右。 4.2 气路接头形式 第 8 页 共 24 页 可提供 4 种尺寸接管外径的接头类型, 见表 3: 表 3. 接头和接管尺寸一览表 双卡套 （Swagelok） VCR编 号 MFC/MFM 型号 6 (50SLM) 103/8“ 1/2“备注 1 D079E 2 D079EM 标表示可选用， 但每种型号 只能选择其中一种 采用标准双卡套 (Swagelok)接头, 一般用金属管将质量流量控制器与气路相连接，在 要求不高的情况下也可以用尼龙管或其它较硬的弹性塑料管。双卡套接头的连接方法, 如 图 6 所示。注意流量计通道上的箭头指示的方向是气流方向, 进出气方向不能接反。 图 6. 双卡套接头安装示意图 图 7. VCR 接头安装示意图 注意注意: 螺母 后卡套 前卡套 接头 接管 按图 6 所示安装接管时,在装上前卡套、后卡套、