毕业论文毕业论文CPU 封装与测试封装与测试摘要摘要: 中央处理器是英语“Central Processing Unit”的缩写，即 CPU，CPU 是电脑中 的核心配件，只有火柴盒那么大，几十张纸那么厚，但它却是一台计算机的运算核 心和控制核心。电脑中所有操作都由 CPU 负责读取指令，对指令译码并执行指令的 核心部件。目前以 Intel 和 AMD 所生产的 CPU 占的市场份额较大，生产技术较前 端。中国区域现在主要以封装测试为主，还没有比较成熟的 CPU 制造技术。我国自 主研发的“龙芯”系列 CPU，将打开中国在半导体领域的新篇章。本文只要针对实习单位 Intel 的 CPU 部分封装测试工艺流程进行详细说明。以 流程为主线，针对低成本老化测试（Low Cost Burn In）站点的工艺进行了更细层次 的讲述，包括老化的一些基本概念，老化在半导体生产中的主要作用，站点使用的 设备介绍，设备的具体操作，常见设备故障的分析处理。关键词关键词 CPU 封装 测试 低成本老化 流程 操作 故障 Abstract：CPU is the English“Central Processing Unit”of the acronym, that is, CPU, CPU is the heart of computer accessories, matchbox only so much, a few dozen sheets of paper so thick, but it is a computer computing core and control core . Computer is responsible for all operations by the cpu command to read the instruction decoding and execution of the core components. At present, as long as Intel and AMD accounted for by the production of the CPU market share larger than the front-end production technology. China regional now based mainly in packaging and testing, there is no more mature manufacturing technology. China own development “Godson”series CPU, China will open a new chapter in the field of semiconductors. In this paper, as long as the intern for my part of Intel CPU for packaging and testing process in detail. To process the main line, the aging test for low-cost (Low Cost Burn In) site of the process in more detail about the level, including some of the basic concepts of aging, the site introduced the use of the equipment, the concrete operation of equipment, common equipment failure analytical processing.Key Word CPU Assembly Test （Low Cost Burn In） Process Operation Fault 目录目录第一章前言.1 第二章国内外 CPU 的发展现状与趋势.2 2.1 国内外 CPU 发展现状.2 2.2 国内外 CPU 发展趋势 .6 第三章CPU 封装测试流程.11 3.1 总工艺流程 .11 3.1.1CPU 封装及测试流程总图.11 3.1.2前道工艺流程.12 3.1.3后道工艺流程.13 3.2 站点介绍 .13 第四章低成本老化工艺.26 4.1低成本老化工艺简介.26 4.1.1概念.26 4.1.2工艺基本介绍.26 4.2低成本老化工艺的意义.27 第五章LCBI 站点设备及操作.28 5.1工艺要求.28 5.2设备介绍.28 5.2.1装载通道（Load port） .28 5.2.2Handler.29 5.2.3Chamber .32 5.3 生产操作.33 5.3.1准备 Lot.33 5.3.2开始一个 Lot.33 5.3.3Lot 处理过程中的操作.34 5.4 出错处理.34 5.4.1Hold lot 的 RFC（规则）.34 5.4.2在线维修 slot 的 RFC.35 5.4.3lot abort 的 RFC.35 5.4.4RIC-SC 通信恢复的 RFC.35 5.4.5手动 MOVE OUT, 当 SC down.36 5.5 安全.