机械电子工程专业优秀论文机械电子工程专业优秀论文 单晶单晶 MgOMgO 基片研磨工艺及其损伤研究基片研磨工艺及其损伤研究关键词：单晶关键词：单晶 MgOMgO 基片基片 研磨工艺研磨工艺 表面损伤表面损伤 亚表面损伤亚表面损伤 抛光抛光摘要：单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定 性和机械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率 低，与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜 的基片材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还 是用作窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上， 且具有超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外延生长为例，基片的表面质量(如 表面的粗糙度、平整度、微观结构、表面应力、损伤和缺陷、物理化学吸附及 杂质污染等)和基片材料的性能一样重要，是影响薄膜性能的主要方面。因此对 单晶 MgO 光滑表面加工技术进行研究具有重要意义。 机械研磨工艺是传统的 晶体加工工艺，也是单晶 MgO 基片最常用的加工方法。但目前对单晶 MgO 研磨 加工工艺的研究很少，存在很多如加工质量、加工效率等问题，限制了单晶 MgO 的应用。因此，深入研究单晶 MgO 基片高效低损伤研磨工艺以获得高质量 加工表面，对于扩大其应用领域并降低生产成本有重要意义。 任何加工方法 均会引入表面/亚表面损伤，损伤的存在严重影响基片的表面完整性，最大损伤 深度决定了后道加工工序的去除量。目前还没有人对单晶 MgO 基片表面/亚表面 损伤的检测方法及损伤规律进行研究。 针对以上问题，本文首先进行了单晶 MgO 基片研磨工艺实验，研究了磨料粒度、研磨压力、研磨速度等工艺参数对 单晶 MgO 基片研磨效果的影响，分析了基片表面粗糙度、材料去除率及表面损 伤与加工参数的关系，得出了影响研磨质量及效率的主要因素并据此建立了能 够稳定进行小批量单晶 MgO 基片生产的研磨工艺规程。另外对不同方法或条件 加工单晶 MgO 基片的表面/亚表面损伤进行了研究。用扫描电子显微镜(SEM)、 光学显微镜及三维表面轮廓仪检测基片的表面形貌，应用截面显微法及逐层腐 蚀法分析单晶 MgO 基片的亚表面损伤，得到了不同工艺和条件加工的单晶 MgO 基片亚表面损伤的构成特点及损伤深度，研究了表面损伤的形成规律，为研磨 加工工艺参数的合理选择及后道抛光加工的进行提供了参考依据。正文内容正文内容单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性 和机械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率低， 与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜的基 片材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还是用 作窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上，且具 有超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外延生长为例，基片的表面质量(如表面 的粗糙度、平整度、微观结构、表面应力、损伤和缺陷、物理化学吸附及杂质 污染等)和基片材料的性能一样重要，是影响薄膜性能的主要方面。因此对单晶 MgO 光滑表面加工技术进行研究具有重要意义。 机械研磨工艺是传统的晶体 加工工艺，也是单晶 MgO 基片最常用的加工方法。但目前对单晶 MgO 研磨加工 工艺的研究很少，存在很多如加工质量、加工效率等问题，限制了单晶 MgO 的 应用。因此，深入研究单晶 MgO 基片高效低损伤研磨工艺以获得高质量加工表 面，对于扩大其应用领域并降低生产成本有重要意义。 任何加工方法均会引 入表面/亚表面损伤，损伤的存在严重影响基片的表面完整性，最大损伤深度决 定了后道加工工序的去除量。目前还没有人对单晶 MgO 基片表面/亚表面损伤的 检测方法及损伤规律进行研究。 针对以上问题，本文首先进行了单晶 MgO 基 片研磨工艺实验，研究了磨料粒度、研磨压力、研磨速度等工艺参数对单晶 MgO 基片研磨效果的影响，分析了基片表面粗糙度、材料去除率及表面损伤与 加工参数的关系，得出了影响研磨质量及效率的主要因素并据此建立了能够稳 定进行小批量单晶 MgO 基片生产的研磨工艺规程。另外对不同方法或条件加工 单晶 MgO 基片的表面/亚表面损伤进行了研究。用扫描电子显微镜(SEM)、光学 显微镜及三维表面轮廓仪检测基片的表面形貌，应用截面显微法及逐层腐蚀法 分析单晶 MgO 基片的亚表面损伤，得到了不同工艺和条件加工的单晶 MgO 基片 亚表面损伤的构成特点及损伤深度，研究了表面损伤的形成规律，为研磨加工 工艺参数的合理选择及后道抛光加工的进行提供了参考依据。 单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性和机 械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率低，与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜的基片 材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还是用作 窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上，且具有 超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外延生长为例，基片的表面质量(如表面的 粗糙度、平整度、微观结构、表面应力、损伤和缺陷、物理化学吸附及杂质污 染等)和基片材料的性能一样重要，是影响薄膜性能的主要方面。因此对单晶 MgO 光滑表面加工技术进行研究具有重要意义。 机械研磨工艺是传统的晶体 加工工艺，也是单晶 MgO 基片最常用的加工方法。但目前对单晶 MgO 研磨加工 工艺的研究很少，存在很多如加工质量、加工效率等问题，限制了单晶 MgO 的 应用。因此，深入研究单晶 MgO 基片高效低损伤研磨工艺以获得高质量加工表 面，对于扩大其应用领域并降低生产成本有重要意义。 任何加工方法均会引 入表面/亚表面损伤，损伤的存在严重影响基片的表面完整性，最大损伤深度决 定了后道加工工序的去除量。目前还没有人对单晶 MgO 基片表面/亚表面损伤的 检测方法及损伤规律进行研究。 针对以上问题，本文首先进行了单晶 MgO 基 片研磨工艺实验，研究了磨料粒度、研磨压力、研磨速度等工艺参数对单晶MgO 基片研磨效果的影响，分析了基片表面粗糙度、材料去除率及表面损伤与 加工参数的关系，得出了影响研磨质量及效率的主要因素并据此建立了能够稳 定进行小批量单晶 MgO 基片生产的研磨工艺规程。另外对不同方法或条件加工 单晶 MgO 基片的表面/亚表面损伤进行了研究。用扫描电子显微镜(SEM)、光学 显微镜及三维表面轮廓仪检测基片的表面形貌，应用截面显微法及逐层腐蚀法 分析单晶 MgO 基片的亚表面损伤，得到了不同工艺和条件加工的单晶 MgO 基片 亚表面损伤的构成特点及损伤深度，研究了表面损伤的形成规律，为研磨加工 工艺参数的合理选择及后道抛光加工的进行提供了参考依据。 单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性和机 械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率低，与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜的基片 材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还是用作 窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上，且具有 超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外延生长为例，基片的表面质量(如表面的 粗糙度、平整度、微观结构、表面应力、损伤和缺陷、物理化学吸附及杂质污 染等)和基片材料的性能一样重要，是影响薄膜性能的主要方面。因此对单晶 MgO 光滑表面加工技术进行研究具有重要意义。 机械研磨工艺是传统的晶体 加工工艺，也是单晶 MgO 基片最常用的加工方法。但目前对单晶 MgO 研磨加工 工艺的研究很少，存在很多如加工质量、加工效率等问题，限制了单晶 MgO 的 应用。因此，深入研究单晶 MgO 基片高效低损伤研磨工艺以获得高质量加工表 面，对于扩大其应用领域并降低生产成本有重要意义。 任何加工方法均会引 入表面/亚表面损伤，损伤的存在严重影响基片的表面完整性，最大损伤深度决 定了后道加工工序的去除量。目前还没有人对单晶 MgO 基片表面/亚表面损伤的 检测方法及损伤规律进行研究。 针对以上问题，本文首先进行了单晶 MgO 基 片研磨工艺实验，研究了磨料粒度、研磨压力、研磨速度等工艺参数对单晶 MgO 基片研磨效果的影响，分析了基片表面粗糙度、材料去除率及表面损伤与 加工参数的关系，得出了影响研磨质量及效率的主要因素并据此建立了能够稳 定进行小批量单晶 MgO 基片生产的研磨工艺规程。另外对不同方法或条件加工 单晶 MgO 基片的表面/亚表面损伤进行了研究。用扫描电子显微镜(SEM)、光学 显微镜及三维表面轮廓仪检测基片的表面形貌，应用截面显微法及逐层腐蚀法 分析单晶 MgO 基片的亚表面损伤，得到了不同工艺和条件加工的单晶 MgO 基片 亚表面损伤的构成特点及损伤深度，研究了表面损伤的形成规律，为研磨加工 工艺参数的合理选择及后道抛光加工的进行提供了参考依据。 单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性和机 械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率低，与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜的基片 材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还是用作 窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上，且具有 超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外延生长为例，基片的表面质量(如表面的 粗糙度、平整度、微观结构、表面应力、损伤和缺陷、物理化学吸附及杂质污 染等)和基片材料的性能一样重要，是影响薄膜性能的主要方面。因此对单晶 MgO 光滑表面加工技术进行研究具有重要意义。 机械研磨工艺是传统的晶体 加工工艺，也是单晶 MgO 基片最常用的加工方法。但目前对单晶 MgO 研磨加工 工艺的研究很少，存在很多如加工质量、加工效率等问题，限制了单晶 MgO 的应用。因此，深入研究单晶 MgO 基片高效低损伤研磨工艺以获得高质量加工表 面，对于扩大其应用领域并降低生产成本有重要意义。 任何加工方法均会引 入表面/亚表面损伤，损伤的存在严重影响基片的表面完整性，最大损伤深度决 定了后道加工工序的去除量。目前还没有人对单晶 MgO 基片表面/亚表面损伤的 检测方法及损伤规律进行研究。 针对以上问题，本文首先进行了单晶 MgO 基 片研磨工艺实验，研究了磨料粒度、研磨压力、研磨速度等工艺参数对单晶 MgO 基片研磨效果的影响，分析了基片表面粗糙度、材料去除率及表面损伤与 加工参数的关系，得出了影响研磨质量及效率的主要因素并据此建立了能够稳 定进行小批量单晶 MgO 基片生产的研磨工艺规程。另外对不同方法或条件加工 单晶 MgO 基片的表面/亚表面损伤进行了研究。用扫描电子显微镜(SEM)、光学 显微镜及三维表面轮廓仪检测基片的表面形貌，应用截面显微法及逐层腐蚀法 分析单晶 MgO 基片的亚表面损伤，得到了不同工艺和条件加工的单晶 MgO 基片 亚表面损伤的构成特点及损伤深度，研究了表面损伤的形成规律，为研磨加工 工艺参数的合理选择及后道抛光加工的进行提供了参考依据。 单晶 MgO 具有超高的耐温性，其透光率、热导率、电绝缘性、化学稳定性和机 械强度等方面性能优异。因其介电常数低(=9.6)，高频时介电损耗率低，与 YCBO 超导薄膜热膨胀率相近且晶格匹配较好，被广泛用作高温超导薄膜的基片 材料。同时也是一种重要的光学材料。无论是作为薄膜制备的基片，还是用作 窗口材料、光学镜片等，都要求单晶 MgO 基片的纯度达到 99.9以上，且具有 超光滑无损伤的表面。以 HTS 薄膜的外