机械制造及其自动化专业毕业论文机械制造及其自动化专业毕业论文 精品论文精品论文 引线键合系统设引线键合系统设计理论与关键技术计理论与关键技术关键词：电路封装关键词：电路封装 引线键合引线键合 精密平台精密平台 超声换能器超声换能器摘要：本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入 的研究了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声 换能器优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位 平台样机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型 弹性解耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立 了精密定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹 簧刚度及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精 密定位平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位 平台的动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超 声换能器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振 动频率方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优 化设计，得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特 性进行了测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑 器件（CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。 该电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的 振动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行 了相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm， 最大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到 2m，满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。正文内容正文内容本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的 研究了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换 能器优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平 台样机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹 性解耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了 精密定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧 刚度及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密 定位平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平 台的动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声 换能器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动 频率方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化 设计，得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性 进行了测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器 件（CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。 该电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的 振动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行 了相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm， 最大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到 2m，满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样 机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解 耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密 定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度 及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位 平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的 动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声换能 器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动频率 方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化设计， 得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性进行了 测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件 （CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。该 电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的振 动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了 相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm，最 大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到2m， 满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样 机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密 定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度 及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位 平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的 动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声换能 器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动频率 方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化设计， 得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性进行了 测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件 （CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。该 电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的振 动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了 相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm，最 大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到2m， 满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样 机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解 耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密 定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度 及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位 平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的 动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声换能 器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动频率 方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化设计， 得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性进行了 测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件 （CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。该 电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的振 动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了 相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm，最 大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到2m， 满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样 机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解 耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密 定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度 及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位 平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的 动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声换能 器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动频率方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化设计， 得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性进行了 测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件 （CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。该 电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的振 动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了 相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm，最 大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到2m， 满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线键合精密定位平台样 机。主要研究内容如下： 设计了一种基于音圈电机直接驱动、新型弹性解 耦的三自由度高速、高精度引线键合定位平台。利用虚拟样机技术建立了精密 定位平台的刚-弹耦合模型，并利用定位平台的动态响应确定了最佳的弹簧刚度 及预紧力，利用有限元方法对弹性铰链进行了优化设计。对引线键合精密定位 平台的静、动态特性进行了实验研究，实验结果表明引线键合精密定位平台的 动态性能良好，达到了封装平台的设计要求。 设计了 98kHz 高频超声换能 器。建立了系统的机电等效电路，根据一维弹性波理论推导出其纵向振动频率 方程，确定了 98kH 超声换能器的初始参数。依据系统的谐振特性进行优化设计， 得到了其最佳结构参数。对系统的阻抗特性、轴向、径向振动传递特性进行了 测试，实验结果表明具有良好的振动特性。 基于复杂可编程逻辑器件 （CPLD）技术，设计了具有频率自动跟踪功能的超声换能器系统驱动电源。该 电源具有放大、滤波、电路匹配及锁相频率跟踪等功能，通过超声换能器的振 动传递特性实验，验证了驱动电源的有效性。 对引线键合定位平台进行了 相关实验，对平台进行了性能测试。结果表明，平台定位最大位移为 50mm，最 大速度可达到 0.5m/s；最大加速度可达到 7.5g；重复定位精度可达到2m， 满足芯片封装等领域的极限高速、高精度需求。 本研究以开发面向引线键合的高速、高精密定位平台为目标，系统深入的研究 了三自由度高速、高精度定位平台的结构设计、动力学建模、高频超声换能器 优化设计以及相应的匹配电路等关键技术，并研制了引线