光学工程专业优秀论文光学工程专业优秀论文 聚合物波导电光器件的设计聚合物波导电光器件的设计关键词：聚合物光波导器件关键词：聚合物光波导器件 波导电光器件波导电光器件 层叠结构层叠结构 光开关矩阵光开关矩阵 光集成器件光集成器件摘要：光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰 性强以及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件 的材料很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比， 有机聚合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无 须高温加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基 于聚合物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚 合物波导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。 介绍了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计 的基础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开 关矩阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并 分析了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各 种参数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小 等进行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作 情况；接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺 上实现的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能， 工作电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明 了，层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。正文内容正文内容光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性 强以及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的 材料很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有 机聚合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须 高温加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于 聚合物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合 物波导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。 介绍了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计 的基础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开 关矩阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并 分析了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各 种参数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小 等进行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作 情况；接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺 上实现的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能， 工作电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明 了，层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以 及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基 础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以 及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以 及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基 础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以 及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基 础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基 础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性强以 及适合批量生产等优点已发展成为光器件的主流趋势。制作光集成器件的材料 很多，有 SOl、二氧化硅、铌酸锂和有机聚合物等。与无机材料相比，有机聚 合物光波导材料具有易于组合集成、取材广泛、加工工艺简单经济、无须高温 加热、低温可淀积在任何半导体衬底上、器件轻巧等优点，因此研究基于聚合 物的波导器件是十分有意义的。 本文依托国家自然基金 60277020(聚合物波 导电光调制器的研制)，研究了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用。介绍 了层叠结构的聚合物光波导器件的发展及其制作工艺水平，以及器件设计的基 础理论与模拟方法；然后在此基础上，以层叠结构的 2x3 聚合物波导光开关矩 阵的设计为例，展示了层叠结构在聚合物波导电光器件中的应用前景，并分析 了相关问题。采用光束传播法(BPM)对 23 聚合物波导光电开关矩阵的各种参 数包括耦合器的长度、同一层中波导的相互距离以及拐角波导的拐角大小等进 行了优化设计；利用光束传播法模拟了这个光开关矩阵的三种不同的工作情况； 接着分析了这种开关矩阵需要的工作电压；最后探讨了这一器件在工艺上实现 的可行性。研究结果表明，这一器件能较好的实现矩阵光开关这一功能，工作 电压约为 25 V，现有的工艺水平完全能满足这一器件的制作需要。这说明了， 层叠结构适用于聚合物波导电光器件中的优越性。 光集成器件具有体积小、重量轻、功耗低、机械稳定性好、抗电磁干扰性