电液伺服阀研究现状及发展丁 凡浙江大学流体传动及控制国家重点实验室电液伺服阀及系统的发展历史l水利机械l活塞式泵和活塞式马达（1900年前）l液压传动首先用于海军战舰炮塔的俯仰（ 1906年前）l滑阀特性和液压伺服控制理论研究（1940年始 ）l飞机上出现电液伺服系统，滑阀由伺服电机拖 动（1945年后）电液伺服阀及系统的发展历史l永磁式力矩马达出现，形成了电液伺服 阀的雏形（1950年始）l喷嘴挡板阀作为先导级的电液伺服阀 出现（1950年底）l各种形式的电液伺服阀开始出现（1960 年始）电液伺服阀今后发展方向l大流量、高频响电液伺服阀的研制l特种电液伺服阀（如深海）l机电液一体化（如飞机上）l低成本、抗污染、工作可靠的电液伺服阀l电液比例伺服阀机电液一体化（MOOG）电液伺服阀创新方向l新的结构（电机械转换器的结构、阀 的结构）l新材料的利用（压电陶瓷、GMM、记忆 合金、纳米材料？）电液伺服阀的组成l电机械转换器l液压先导级控制阀l液压功率级控制阀l反馈部件l附件（过滤器等）电液伺服阀的结构分类l从电机械转换器分类动铁式 直线式动圈式动铁式回转式动圈式电液伺服阀的结构分类l利用新型功能材料研制电机械转换器l利用压电陶瓷元件 （ PZT材料）l利用超磁致伸缩材料 （GMM材料）l利用电流变体 （ER流体 ）l利用磁流变流体 （ MR流体 ）l利用记忆合金电液伺服阀的结构分类l液压先导级控制阀l 喷嘴挡板阀 射流管阀 圆柱滑阀l液压功率级控制阀l 圆柱滑阀l反馈部件l 位移反馈 力反馈 电反馈二种常见的电液伺服阀1. 力反馈二级电液伺服阀（MOOG阀）力矩马达先导级喷嘴-挡板阀功率级圆柱滑阀力反馈 2.二级动圈式电液伺服阀动圈式力马达先导级圆柱滑阀功率级圆柱滑阀直接位移反馈二级力反馈电液伺服阀外型 二级力反馈电液伺服阀结构二级力反馈电液伺服阀原理MOOG三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀外型力士乐三级电液伺服阀结构力士乐三级电液伺服阀频响