LCD 清洗技术简介汉高股份有限公司电子产品的发展方向 TFT-LCDLCD的结构透明电极玻璃基板导向膜液 晶光源集成电路反射片反射片Color FilterColor FilterBlack MatrixArray BoardITO玻璃制造流程和玻璃清洗剂CeO 研磨研磨后 清洗涂膜前 清洗母板ITO 涂膜切割后 清洗切割P3 siliron AP P3 siliron HS P3 siliron L P3 siliron EP3 siliron TK P3 siliron TKAP3 siliron S P3 siliron SA最新产品：P3 siliron AP 去除研磨剂P3 siliron SA 去除颗粒，纸屑，玻璃屑，油污彩色滤光片的制造过程玻璃基板黑色矩阵彩色层保护层ITO导电膜 光阻 涂布BM 基板清洗ITO 制程去除边缘 显影后段 烘烤前段 预烤紫外线 曝光重复三次(R,G,B)P3 poleve HP P3 disperse H印框胶贴偏振片检测 下一道工序去除残留液晶注射液晶清洗面板组合Array board基板玻璃清洗去除研磨和切割残留物清洗金属铬 BM制程 刻蚀Array board 光刻制程 Color Filter 曝光去除边缘曝光 检测检测Color Filter 基板玻璃去除边缘，显影 去除光阻显影光阻 BM制程去除光阻 TFT-LCD 制造流程LCD基板玻璃表面的污染物污染物分类污染物来源清洗方法有机污染物包装纸中的有机 物、指印、油脂 等玻璃清洗剂清洗 碱液清洗 UV光照射(O3)清 洗 无机污染物灰尘、玻璃屑或 研磨剂等微粒子 (particle)超音波清洗 喷淋加毛刷清洗 配合溢流与过滤基板预清洗一.目的：对PI 投入前之基板做清洗工作，确保基板之清洁状态。二.原理：利用洗剂、毛刷、超音波、IR、UV等装置，将基板上的微粒及油 污清除。LCD基板清洗P3 siliron HS(2 槽)1- 5%, 45 -60 , 5-10 min.浸渍超声波P3 siliron LS(2 槽)1- 3%, 45 -60 , 5-10 min.喷淋刷洗去离子水 (4-5 槽)RT - 60 , 5-10 min. 浸渍超声波去离子水 (4-5 槽)RT - 60 , 5-10 min.喷淋刷洗清 洗 漂 洗PI 前强碱清洗的特点强碱与玻璃有一定的亲合力，容易在玻璃表面形成碱性覆盖 膜，不易被漂洗除去。为解决碱液吸附残留表面问题，需采 取增加冲洗次数的方法改善，一般清洗设备会设计更多的清 洗和漂洗槽，但这也增加了设备费用成本。 P3 siliron系列玻璃清洗剂的特点1. 表面活性剂和助洗剂的协同作用，显示出卓越的清洗性能2. 采用了漂洗助剂，残留物极易漂洗干净。助洗剂浓度:2.0 % 表面活性剂浓度:0.1 % 清洗温度:60 C处理时间 (min)清洗能力 (%)水表面活性剂助洗剂助洗剂 + 表面活性剂100013020406080510Lit. from: Oberflche-Surface 1984, Rossmann: Reinigung starrer Oberflchen助洗剂 / 表面活性剂的协同作用水洗水123脱脂水洗举例:m = 10 ml/m2 表面 Co = 25 g/l Cx = 0.01 g/l 稀释比例=1:2500消耗量: 1 个水洗槽25.00 l/m2 表面 2 个水洗槽0.50 l/m2 表面 3 个水洗槽0.14 l/m2 表面水洗水计算方程式 (简化式)L = n Co CxL = 水洗水的消耗 (l/m2表面)m = 带出量 (l/m2表面)n = 水洗区的水洗槽数量 Co = 最后脱脂槽的浓度 (g/l) Cx = 最后水洗槽的浓度 (g/l)mLCD基板玻璃清洗条件控制项目清洗剂浓度测定: 每天进行一次电导率法 酸碱滴定 总碱定期添加约5g/m2LCD基板玻璃清洗条件测试方法水膜浸润度 扫描式电子显微镜(SEM) X光能量分散光谱仪(EDS)颗粒残留以X光能量分散光谱仪 (Energy Dispersive Spectrometer) 分析微粒子污染物，确认该微粒 子为玻璃屑泄漏液晶清洗一.目的：对封口、裂片、磨边后之液晶片作清洗工作，主要目的是去除狭 隘中的残留液晶。二.原理：利用液晶清洗剂、超音波等装置，配合溢流(overflow)与过滤 (filtration)将狭隘中的残留液晶以及表面的微粒清除干净。由于STN-LCD工艺是先将液晶盒裁切(裂片)之后才进行清洗，可 以预知液晶盒的玻璃面板边缘与表面，除了沾附液晶分子，亦将 附着许多玻璃屑(微粒子)，所以清洗槽的溢流与过滤功能就显得 非常重要。 LCD 清洗条件P3 kaltfin 20 (2 槽)45 - 60 , 5-10 min.超声波搅拌P3 kaltfin 20 + P3 Etarap ES (2 槽)45 - 60 , 5-10 min.超声波搅拌P3 allpass 7000/7750 (2 槽)45 - 60 , 5-10 min.超声波搅拌 IPA (3 槽)RT - 45 , 15-20 min. 超声波搅拌Pure Water (4 槽或以上)40 - 60 , 15-20 min. 超声波搅拌Pure Water (4 槽或以上)40 - 60 , 15-20 min. 超声波搅拌清 洗 漂 洗泄漏液晶清洗LCD 清洗工艺P3 kaltfin 20+ P3 Etarap ES清 洗贮油槽漂 洗漂 洗过滤器（纯水）1活性炭离子交换塔自来水废水处理系统 油水分离器烘箱烘 干85-100漂 洗 2 不损害玻璃。 对封口胶无害。 环氧树脂, 丙烯酸树脂 不损害金属。 铝, 银, 铜 不含离子。 表面张力低。 容易用异丙醇或水漂洗。LCD清洗剂的要求通过架片转动偏振片液晶片光源偏振片偏振片无花纹有花纹(偏振玻璃法)不通过LCD清洗效果判定搅拌开启滴入液晶可溶解通过搅拌停止清洗剂不通过不通过清洗效果的比较液晶清洗效果（已洗净）液晶清洗效果（未洗净）