企业通过 ISO 9001 质量体系认证FJ-1200 涡轮分子泵机组使 用 说 明 书目录一、概述 , 1 二、机组主要配置 , 1 三、机组技术参数 , 1 四 、 系 统 结 构 ,2 五、安装 ,2 六、操作规程 ,3 七、常见故障及处理方法 ,5 八. 注意事项 , 5 九、保养、维护 ,5 FJ-XXX 涡轮分子泵机组使用说明书1 地址：北京市海淀区中关村北二条13 号邮编： 100190 一、概述FJ-1200C 非标涡轮分子泵机组是一台清洁的高真空获得设备。此设备是根据真空知识原理，利用机械泵、涡轮分子泵组合成的真空获得系统，具有启动时间快、真空度高、操作方便等特点。广泛应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件制造及真空的各个领域。设备的具体组成主要包括真空测量系统、真空室、阀门及真空管路、泵体加热控制、电器控制系统、水冷却保护控制等。二、机组设备主要配置名称数量FF200/1200C分子泵（刀口）2 RVP-12机械泵2 KF40电磁隔断放气阀2 三、技术参数极限真空度（泵口）：1107Pa 真空系统漏率： 510 9PaM3/S FJ-XXX 涡轮分子泵机组使用说明书2 地址：北京市海淀区中关村北二条13 号邮编： 100190 电源电压： 220V 10/50Hz 冷却方式：水冷（冷却水温度 25）设备总功率： 1.6Kw 设备环境使用温度： 5-40设备环境使用湿度： 80% 四、系统结构系统的工作原理图如下图所示，主要分为机械部分、气路系统和电器部分。系统工作原理图FJ-XXX 涡轮分子泵机组使用说明书3 地址：北京市海淀区中关村北二条13 号邮编： 100190 五、安装拆开包装箱，将设备从箱体中取出，检查设备有无损坏，将设备的电源线接好，将地线与设备机壳连接。如果是三相供电方式，第一次通电时需要观察机械泵的相序，打开总电源开关，观察分子泵机组电源的相序指示灯，如果相序指示灯亮表明机械泵相序正常；如果相序指示灯不亮表明机械泵相序不正常。关掉总电源，将三相电源线中的任意两相对调，以确保机械泵相序正确。安装时应注意以下几点：1、设备安装应平地上 ,竖直方向上与垂直方向夹角小于5 度。安装后要固定脚轮。2、真空系统各连接部位应密封可靠,保证无泄漏发生。3、水路系统接头处应无滴漏。4、最好把从机械泵排出的气体引出室外。六、操作规程检查水路各阀门是否能打开，水流是否通畅。做好开机前的准备工作后，就可以按下总电源控制面板上的“机械泵开”按钮启动机械泵，这时“机械泵开”按钮显示灯亮。开真空计，等待真空计低真空部分显示 10Pa时，打开手动旁抽阀，由旁抽管路对系统预危险 ！在接入供电电源时，务必要确认是 否和设备要求的电源电压相符。在调整相序时， 务必将总电源关掉， 以确保人身安全。FJ-XXX 涡轮分子泵机组使用说明书4 地址：北京市海淀区中关村北二条13 号邮编： 100190 抽真空。待低真空显示 10Pa时，关闭手动旁抽阀。 开手动前级阀。真空显示 10Pa时，打开分子泵电源，按下分子泵控制电源面板上的“启动”按钮，启动分子泵。 待分子泵达到正常转速后35 分钟，这时应该已经达到真空计电离规允许启动的真空度，按下真空计控制电源电离部分的“开电离”按钮，观察真空计高真空数值。通水、通电开机械泵、 开真空计电源 （不允许开电离部分）分子泵转速在正常稳定后 3 5 分钟开电离规开前级阀开旁抽阀启动分子泵关旁抽阀低 规 显 示10Pa 低 规 显 示10Pa FJ-XXX 涡轮分子泵机组使用说明书5 地址：北京市海淀区中关村北二条13 号邮编： 100190 实验结束后，先关闭真空计电离部分， 然后关主抽阀，停分子泵，待分子泵停稳后，关闭前级阀，然后停机械泵。切记要最后关闭真空计电源。关闭分子泵电源。关闭系统控制总电源。关水、关气。七、常见故障及处理方法缺水故障缺水时将鸣响蜂鸣器并将停掉涡轮分子泵的供电电源，涡轮分子泵会停止运转。真空度不足或无法开启电离规系统真空度不足或无法开启电离规时，首先观察是否因为停水造成涡轮分子泵没有运转，再应检查各手动阀是否处于正常状态，若都没有问题，检查分子泵以上的状况管路是否有漏气的状态。八. 注意事项1、应经常检查各导线及接地线是否短路，其绝缘层是否破损漏电。2、真空腔体内应保持清洁，经常清除杂物。3、装入炉底料盘中的工件应符合要求，不能过高过大，以免炉丝受热变形与工件接触造成短路现象。4、设备运行时要注意保养，定期对冷却水系统进行维护，以防止水垢的大量凝结，影响冷却效果。5、工作场地应保持卫生整洁，以免尘土污染真空室。九、保养、维护1、日常维护、保养：设备在日常使用时，注意观察真空泵油位及泵油颜色；如缺油及时补充，如果泵油颜色异常及时更换。2、运行时的维护、保养：设备在运行时，要注意保持被抽真空腔体清洁，避免杂物进入真空腔体内，造成设备损坏。