防静电基础知识培训教材1目目 录录 一.静电基本概念及产生原理二.静电对电子工业的危害三.静电的防护与控制四.静电标示及其意义五.生产现场静电防护实例23静电的基本概念之一静电（Electrostatic）就是物体表面过剩和不足的 静止电荷，静电是一种电能，它留存与物体表面 ；静电是正电荷和负电荷在局部范围内失去平衡 的结果；静电是通过电子和离子的转移而形成的 。 静电放电（ESD Electro tatic Discharge）： 带有不同静电电势的物体或表面之间的静电电荷 转移。有两种形式：接触放电，电场击穿放电。 静电敏感度(ESDS Electrostatic Discharge Sensitivity) 静电敏感器件(ESSD Electrostatic Sensitive Devices) EPA:ESD Protect Area(ESD防护区域) ECA:ESD Control Area(ESD控制区域) -+4静电的基本概念之二n静电问题依附于物体（气、液、固体）而存在。如果物体带有过 剩的电荷则成为带电体。物体间的电荷转移过程就是起电过程。n静电产生的方式很多，接触、摩擦、冲流、冷冻、电解、压电、 温差等都可以产生静电。但基本过程可归纳为：接触-电荷转 移 -偶电层的形成 -电荷分离。人体的充电过程剥离带电摩擦带电5静电的基本概念之三n在一般工业生产中，静电具有高电位、低电量、小电流（脉冲电 流，有争议）和作用时间短的特点，设备或人体的静电位最高可 达数万伏以至数十万伏；这要比市电220v、380v高得多。但所积 累的静电量却很低，通常为微库仑级；静电电流多为毫安级；作 用时间多为毫秒级。 n静电通世界上任何事物一样具有两重性：既能为人类造福，如静 电复印、静电涂敷、静电除尘等静电应用技术；亦会带来许多危 害，诸如石化、电子及电工领域。就电子元器件的生产及电子设 备的装联、调试作业而言，因接触摩擦起电、人体静电与接地问 题能造成很大经济损失。初步研究发现，摩擦起电、人体静电乃 是电子、微电子工业中之间两大危害源。6静电概念小结静电是电荷的产生与消失过程中产生的电电 现现 象象的的 总总 称称特特 点点 高电位 低电量 小电流 作用时间短 复现性差 瞬间现象多 受湿度影响较大71. 接触起电当两个不同的物体相互接触时就会使得其中一个物体失去 一些电荷带正电，而另一个物体得到一些剩余电子的物体 而带负电。若在分离的过程中电荷难以中和，电荷就会积 累使物体带上静电。例A.剥离塑料薄膜时就是一种典型的“接触分离”起电 B.脱衣服产生的静电也是“接触分离”起电。 C.摩擦起电是一种接触又分离的造成正负电荷不平 衡的过程。实质上是接触分离起电。8当带电物体接近不带电物体时会在不带电的导体的两端 分别感应出负电和正电2. 感应起电ABC3. 热电和压电起电、喷射起电等气体, 液体的流动与喷射9静电产生的物理过程静电 产生的方式 接 触 摩 擦 冲 流 冷 冻 电 解 压 电 温 差 .接 触电荷转移偶电层形成电荷分离静电产生1011静电的危害一ESD是英文Electrostatic Discharge的缩写，即“静电放电“的意思。当某些电介 质、导体带上静电荷后，尽管所带电荷量不多，但由于自身对大地分布电容 非常小，使得静电电位较高。当垂直于带电物体表面的静电电位达到2000伏 时，就会向空气放电。 在日常生活中，许多ESD现象，我们都亲身经历过。譬如，在冬季一间温暖的房 间里，走在覆盖地毯的地面时，当你伸手接触门的把手时，就会有电击的感 觉；脱下合成纤维衣服时产生噼啪声，夜间还可以看到火花（空气的击穿场 强为30kv/cm）；天气干燥时，用塑料梳子梳头时会产生放电声。对于人体而 言，这种静电的突然放电不会造成任何伤害；可是，对于ESDS（静电放电敏 感器件）器件，静电放电就可能损害电子器件。ESD对电子器件的损害是人体 觉察不到的，具有隐蔽性，需通过仪器才能检测出 电子器件发生ESD事件，主要是各种静电源（人体、工作台等）对电子器件放电 所致。在集成电路（integrated circuit）工业中，静电放电可以使集成电 路芯片介质击穿，芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等等。 静电放电对电子器件损害具有潜在和缓慢失效性，这种情况危害更大。通常 ，ESDS（静电放电敏感器件）器件易发生静电放电，所以，受ESD的危害更大 。12静电的危害二 今天，大多数电子器件采用对静电极为敏感的MOS工艺制作，因此，无论从器件的 发展还是器件的应用出发，为了防止ESD对电子器件的危害，有必要对电子器件 受静电危害的机理以及相应的防护措施进行探讨。试图阐明电子器件ESD产生的 原因，并对IC的ESD保护提供指导。静电危害具有以下特性：n隐蔽性 ：除非发生静电放电，人体不能直接感知静电，但发生静电放电人体也 不一定能有电击的感觉，这是因为人体感知的静电放电电压为23kv，所以静电 具有隐蔽性。 n潜在性 ：有些会受到静电损伤后的性能没有明显的下降，但多次累加放电会给 IC器件造成内伤而形成隐患。因此静电对IC的损伤具有潜在性。n随机性 ：IC什么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说，从一个IC芯片产生以 后一直到它损坏以前，所有的过程都受到静电的威胁，而这些静电的产生也具 有随机性，其损坏也具有随机性n复杂性 ：静电放电损伤的失效分析工作，因微电子IC产品的精、细、微小的结 构特点而费时、费事、费财，要求较高的技术并往往需要使用高度精密仪器， 即使如此，有些静电损伤现象也难以与其它原因造成的损伤加以区别；使人误 把静电放电损伤的失效当作其它失效，这在对静电放电损害未充分认识之前， 常常归因于早期失效或情况不明的失效，从而不自觉地掩盖了失效的真正原因 。所以分析静电对IC的损伤具有复杂性。13静电的危害三ESD对电子器件侵害方式ESD对电子器件侵害方式主要有三种：静电源直接对电子器件放电；带电器件对其 他导体的静电放电；电场感应放电。、静电源直接对电子器件放电ESD事件常常发生在带电导体（包括人体）对ESDS的放电过程中。一般的静电危害是 人体或带电导体直接对ESDS放电造成。、带电器件对其他导体的静电放电当静电放电敏感器件在操作过程中，或者与包装材料、机器表面接触后，就会积累静 电荷。当器件在包装盒移动或震动时就会发生静电放电。这种放电情况，涉及的电容 和能量不同于人体对ESDS器件的放电情况。在某些情况下，CDM事件比HBN事件所造成 的危害更大。、电场感应放电感应场可以直接或间接对地造成危害。因为任何带电体周围都存在静电场。如果ESDS 器件进入静电场范围，就会因为感应而带电。如果器件在电场区域内接地，电荷转移 到地的过程称为CDM事件。14静电的危害四人体带电电压带电电压电电冲击击程度备备注1,000 V 几乎感觉不到.微小的放电声音发生看到发光 手指头放电发光.2,000 V 用手指头接触稍微感觉到.2,500 V 放电部分感觉被针扎到3,000 V 感觉稍微疼，感觉到被针扎的感觉4,000 V 感觉是手指头被针扎的比较深.5,000 V 手心和手腕也感觉到电冲击6,000 V 手指头及胳膊感觉到很强的电冲击。7,000 V 手指头，手心感觉到很强的疼痛及麻痹的感觉8,000 V 手心到手腕感到麻痹9,000 V 手腕和胳膊感觉到疼痛和感到麻痹.10,000 V 手全部疼痛和感觉到通电。11,000 V 手指头感到麻痹和手受到强的电冲击12,000 V 因受很强的冲击全身感到疼痛.15静电的危害五静电损伤的两种失效形式1. 硬损伤：又称“突发性完全失效”、“一次性损坏”，约占10%表现为器件电参数突然劣化，失去原有功能。主要原因是静电放电造成过压 使得介质被击穿，或过流使得内部电路金属导线熔断、硅片局部融化等。硬损伤可通过常规的性能测试手段及时发现，相对软失效而言危害要小得多 。2. 软损伤：又称“潜在性缓慢失效”、“多次损伤累积后失效”，约占90%受到软损伤的器件，虽然当时各类电参数仍合格，然而其使用寿命却大大缩 短了。含有这些器件的产品或系统，可靠性变差，可能会在后续过程中（直 至最终用户）继续遭受ESD软损伤或其它过应力损伤积累而过早地失效。由于软损伤是潜在的，运用目前的技术还很难证明或检测出来，特别是器件 被装入整机产品之后，因此具有更大的危害性。这些产品流入市场后的维护 成本和造成的其它损失，将比在生产中发生的直接损失要放大几十甚至上百 倍！ 16静电的危害六n蓄积在导体上的电荷，会在一次放电中将能量完全释放，是常 见静电危害产生的原因。n静电放电可概分为火花放电、电晕放电、刷状放电、射状放电 等形式。n不同放电形式的发生，与放电的电极形状、材质距离、阻抗、 数量有密切的关系，同时亦会产生不同的危害。17静电的危害七n电子行业如微电子、光电子的制造和使用厂商因为静电造成的 损失和危害是相当严重的。据美国1988年的报道，它们的电子 行业中，由于ESD的影响，每年的损失达亿美元之多；据日本 统计，它们不合格的电子器件中有45是由于静电而引起的； 我国每年因静电危害造成的损失也至少有几千万。下左图是美 国Ti公司对某一年对客户失效器件原因进行分析统计的结果， 从中可以看到由EOS/ESD引起的失效占总数的47%下；下图是美 国半导体可靠性新闻对1993年从制造商、测试方和使用现场得 到的3400例失效案例进行的统计，从中可以看到,EOS/ESD造成 的失效也达到20%。 18电子产品生产中的典型静电源地板 工作面 主要设备 清洁室原材料生产辅助物包装材料身体衣服墙壁 天花板 光源固定器 通风架1920静电的防护与控制ESD控制的基本原则 .做好ESD防护设计：器件选型、合理布线、设计保护电路等 .消除和减少静电的产生：减少或消除静电产生的过程、维持过程和材料 处于等电势等 .使静电荷泻放与中和：使用静电导体、接地、电离器来泻放与中和静电 .保护产品免遭ESD伤害：使用防静电材料包装和储运 .防静电区设计原则 .抑制静电荷的积累和静电压的产生。如设备、仪器、工装不使用塑料、 有机玻璃、普通塑料袋。 .安全、迅速、有效地消除已产生的静电荷，使用有绳防静电腕带、防静 电椅、防静电周转车、防静电周转箱。 .保证静电压小于100V。21静电的防护与控制n防静电系统要素n1.地面n防静电地面（防静电水磨石，防静电地板）体电阻105109，敷设地线网。n2. 工位（见附图）n3、接地na、防静电工作区必须有安全可靠的防静电接地装置，地电阻小于4。防静电地线 不得与电源零线相接，不得与防雷地线共用，使用三相五线制供电时，其地线可以 作防静电地线。nb、工作台面、地垫、坐椅和其它导静电的ESD保护设施均应通过限流电阻接入地线 ，腕带等应通过工作台顶面接地点与地线连接，工作台不可相互串联接地。nc、防静电工作区接地系统，包括限流电阻和连接端子应连接可靠并具有一定载流 能力，限流电阻阻值选择应保证漏泄电流不超过5mA，下限值取为1M 。n4、温湿度n2030，相对湿度3070%。n5、增湿n增湿器使空气潮湿，防止静电荷积累，此法不适于增湿后会产生有害影响的场地。22静电的防护与控制n、人体n穿防静电工作服、工作鞋，戴有绳防静电腕带、手套、指套等。n、包装n静电敏感器件应采取防静电保护性包装，如防静电袋、防静电盒等。n、贮存、运输n静电敏感器件必须存放在防静电容器（箱、袋）内，并用防静电运输工具（箱、 车）周转。贮运中要远离静电场、电磁场或放射场，如电脑显示器顶部。23静电的防护与控制n人员防静电接地技术要求n1)