光电测试技术 Opto-electronic Measurement Technology,作者：陶 卫 上海交通大学仪器系 E-mail：taoweisjtu.edu.cn,2,第一章 光电测试技术概述,一、光电测试技术的意义,测量精度高、速度快、非接触、自动化程度高,光学技术纯光学方法,电子技术电子学方法,微电子技术（微小尺寸）,光频段的微电子技术,方便、快速,光材料技术、光器件技术、光学系统技术（光信息检测系统、光信息处理、光计算、光传输、光存储与显示技术等）,快速（运动速度最快）,3,二、光电测试系统实例,(1) 红外防盗报警系统,4,(2)光电计数器,5,(3) 锅炉水位光电控制,6,(4) 稳定光源发光照度的自动控制系统,7,(5) 激光外径扫描仪,8,（3）远距离、大量程（遥测、遥控）,（2）高速度（媒介 - 光）,（1）高精度（精度最高）,（4）非接触测量（不损伤被测物）,（5）寿命长 - 复现性好、永久使用,（6）智能化 - 强信息处理和运算能力、并行处理；,三、光电测试技术的特点,9,1辐射度量和光度量的检测,光强度计、光亮度计、辐射计、以及光测高温计和辐射测温仪,3光学材料、元件及系统特性的检测,4非光物理量的光电检测,四、光电测试技术的应用发展,2光电元器件特性的检测,光谱特性、光灵敏度、亮度增益,材料、元件的光谱特性；光学系统的调制传递函数； 大倍率的减光片,- 应用最广、发展最快、最为活跃的应用领域,10,5. 光电测试技术的发展,固体摄像器件（小巧、坚固、低功耗、失真小、工作电压低、 重量轻、抗震性好、动态范围大、光谱范围宽）- 视觉检测,红宝石/氦-氖激光器（单色性、方向性、相干性、稳定性好）,光导纤维（高精度、高速度、非接触、远程传输）,（1）新光源、新光电器件,11,标定（纳米、亚纳米级）- 激光外差干涉仪（0.1nm）、 X光干涉仪（0.01nm）,加工精度（0.1m或0.01m水平）- 纳米测量显微镜,环境要求（环境温度不稳定、振动、光源波动） - 闭环控制,（2）工程领域,计算机技术 - 微系统（集成化）- 微机电系统 - 微型测量装置 - 微型光、机、电测试系统（发展方向）,（3）微电子技术,12,（3）生物医学：内窥镜；,（2）航天：空间目标探测、导航；,（1）军事上：制导、光电伪装、光电对抗；,（4）环保：污水处理（光化学氧化）、测定大气氮氧化物,（5）工业：光电子封装,（6）其他：红外光电子学、光电自准直仪、太阳能电池、 太赫兹技术,五、光电测试技术的典型应用,