SFJ-261使用说明书 使用说明书 SFJ-261 型氦质谱检漏仪 n 皖 仪 科 技 目 录 n 1-1概述4二 仪器介绍5n 2-1 仪器性能参数52-1-1 SFJ-261 性能参数5n 2-2仪器使用环境62-2-1 SFJ-261使用环境6n 2-3 仪器结构72-3-1 仪器外观72-3-2 内部结构及部件82-3-3操作面板9n2-3-3-1 261面板9n2-3-3-2 261外部接口92-3-4 电子系统示意图11n 2-4工作流程122-4-1系统示意图122-4-2系统工作流程14三 使用方法16n 3-1 开始使用（以喷吹法为例）161启动162 参数设定193检漏（喷吹法）274标漏校准285调零（校零）286 停止297 运行状态298 停机断电30n 3-2 其他检漏方法的操作303-2-1吸入法检漏303-2-2背压法检漏30四 维护31n 4-1 基本维护项目314-1-1漏率校准314-1-2 机械泵保养314-1-3 分子泵维护314-1-4 质谱管及离子源清洗31五 常见故障和处理32n 5-1 常见故障和处理32n 5-2 错误代码及其排除33六 附录34n 6-1 氦质谱检漏仪的工作原理34n 6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式35n 6-3常用单位的换算366-3-1 压强单位的换算366-3-2 漏率单位的换算36n 6-4常用检漏方法376-4-1 喷吹法确定漏孔位置376-4-2 吸入法确定漏孔位置386-4-3 钟罩法测总漏率396-4-4 背压法测总漏率406-4-5 辅助真空系统41七 售后服务42n 7-1 售后服务42一概述1-1概述SFJ261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：n 科学研究n 航空航天n 汽车制冷n 军事工业n 分析仪器n 发电厂n 核工业n 压力容器n 精密机械加工n 医疗仪器/仪表n 真空炉、镀膜设备等装置或系统n 高真空和超高真空的工程n 半导体等行业SFJ261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。二仪器介绍2-1仪器性能参数性 能 参 数机 型参 数 值最小可检漏率（Pa.m3/ s）SFJ-261510-12响应时间（s）SFJ-2611启动时间（min）SFJ-2613min漏率指示范围（Pa.m3/s）SFJ-261110-3110-12检漏口允许最大压力（Pa）SFJ-2611000Pa线控器SFJ-261选配双灯丝自动切换SFJ-261有允许质谱管最大压力（Pa）SFJ-261310-3检大漏功能SFJ-261基本型号不具备仪器物理尺寸（W）（D）（H）SFJ-261450480350重量（KG）SFJ-26145KG 2-1-1 SFJ-261 性能参数2-2仪器使用环境2-2-1 SFJ-261使用环境机 型环 境 参 数极 限 条 件SFJ-261环境温度（）050相对湿度600秒?出错(等待重重新上电)分子泵启动分子泵/高真空ok?计时600秒?出错(等待重重新上电)离子源加电成功?重试重试次数10?出错(等待重重新上电)启动完成,可以检漏了YNNYYYYYYNNN2-4-2系统工作流程启动流程图：备注:启动过程中只有V1是打开的其余阀都应该是关闭的，如果有阀没有关闭，请检查，或联系生产商；如果系统出错,且多次重新启动后均无法启动,请联系生产厂商仪器READY接好工件，按下检漏键关闭V1，打开V2预抽真空，检漏口真空到1000pa？计时到3600秒？出错，真空抽不下，可能要接辅助机械泵，或者有大漏每280秒开V1，关V2一次并维持2秒，然后再次关闭V1打开V2，防止因分子泵排气口压力过高，使分子泵停机检漏口真空到100pa？打开V1，如检测大漏可以喷氦检漏了关闭V2，打开V3，V1，如检测中漏漏可以喷氦检漏了检漏口真空到10pa？关闭V3，打开V4，V1，如检测微漏可以喷