超高分辨率FE 書式設定,超高分辨率场发射扫描电子显微镜 JSM-7800F介绍,2,JSM-7800F的特长,3,JSM-7800F的特长,4,电子枪和聚光镜一体化 能高效利用电子枪发出的电子,传统的电子枪,浸没式肖特基电子枪,浸没式肖特基场发射电子枪,电子枪,透镜磁场,聚光镜,电子束,电流量约10倍,5,浸没式肖特基场发射电子枪,能高效率地利用电子束 长寿命的发射体 保证3年,JEOL Only,探针电流是传统型的10倍以上 因此最适合于EDS分析等,JEOL Only,6,用浸没式肖特基场发射电子枪进行快速分析,. 可进行高通量的 EDS分析,. 可进行高空间分辨率的EDS分析,应用实例,7,应用实例1. 高通量的EDS分析,JEOL Only,用定性图谱的测试时间可进行元素面分布 用低加速电压可在短时间内进行高空间分辨率的元素面分布测试,8,应用实例2. 高空间分辨率的EDS分析,样品 ： IC 截面,定量面分布 (重量%),测试倍率：x22,000 加速电压：6 kV 探针电流：8 nA 能将N和Ti分离获取元素面分布图,9,应用实例2. 高空间分辨率的EDS分析,样品 ： IC 截面,定量面分布 (重量%),测试倍率：x22,000 加速电压：6 kV 探针电流：8 nA 能将N和Ti分离获取元素面分布图,10,JSM-7800F的特长,11,超级混合式物镜(SHL),Semi-in-lens物镜,Out-lens物镜,12,Semi-in-lens和Out-lens的不同和特长,透镜磁场,工作距离短 擅长高分辨率观察,工作距离长擅长观察磁性材料和 EBSD分析,工作距离短,透镜磁场,工作距离长,超级混合式物镜,超高分解率观察,最适合于磁性材料的观察和EBSD分析,13,semi-in-lens物镜和out-lens物镜的功能评估,14,超级混合式物镜(SHL)的功能评估,15,15,SHL 超高分辨率观察,1. 碳上的镀金颗粒,2. 石墨烯,3. 锂离子电池的隔膜,4. 蓝光光盘,应用实例,16,应用实例1. 碳上的镀金颗粒,8万倍,12万倍,JEOL Only,17,在高加速电压下呈“透明”状的样品也能观察其表面,应用实例2. 石墨烯,极低加速电压图像 80 V,18,应用实例3. 锂离子电池的隔膜,加速电压 100 V,19,应用实例4. 蓝色光盘 (记录层),背散射电子为主,加速电压 ：1.5kV 工作距离(WD)：2mm 过滤器电压：-1400V 探测器：UED,20,20,SHL 最适合于磁性材料和EBSD分析的电子光学设计,1. 磁性材料分析：Fe3O4 纳米颗粒集合体,2. EBSD晶体取向分析：钕铁硼,3. EBSD晶体取向分析：碳钢,应用实例,21,应用实例1. Fe3O4 纳米颗粒集合体,22,EBSD高精度晶体取向分析,应用实例2.钕铁硼,ND,TD,也适合于磁性材料的高精度晶体取向分析,分析点: 118585 尺寸: X Max: 80.00 m Y Max: 79.89 m 步长: 0.25 m 相: Nd2Fe14B,23,应用实例3. 碳钢 EBSD 图像,1000倍 ND方向图像,1000倍IQ（图像质量）图像,也适合于磁性材料的高精度晶体取向分析,加速电压：20 kV WD：20mm 探针电流：8 nA 100 nm 步长 样品：碳钢（S25C）直径：32 mm 高度：20 mm 样品制备：金刚石砂轮研磨、胶体二氧化硅抛光,24,利用LDF（Large Depth of Focus mode）模式可以大角度地倾斜观察，最适合于EBSD分析。,在倾斜的样品上 容易聚焦,JEOL Only,25,LDF模式的大面积EBSD分析,3cm,不用移动样品台 也能进行大面积的 EBSD分析,26,JSM-7800F的特长,27,新型探测器系统,光阑角度控制透镜,能量过滤器,超级混合式物镜,观察样品,28,通过新型探测器检测样品,样品：碳上的镀金颗粒 加速电压：3.0 kV WD：2.5mm,29,通过新型探测器检测信号,能量过滤器,30,USD 高位二次电子探测器,通过新型探测器检测信号,31,LED 低位探测器,信号,短WD:背散射电子为主,信息,表面 形貌,长WD:二次电子和极低,角度背散射电子混合,通过新型探测器检测信号,32,BED 可插拔式背散射电子探测器,通过新型探测器检测信号,33,可以同时观察获取四种画像,USD,BED,LED,同时进行观察的实例,34,用新型探测器选择信息,1. 催化剂：AuTiO2,2. 石墨烯,应用实例,35,UED,USD,1. 催化剂：AuTiO2,金颗粒,36,2. 石墨烯,过滤器电压: -0.3kV 加速电压: 0.5 kV,UED,USD,空 隙,最薄处,空 隙,37,JSM-7800F 规格,电子枪：浸没式肖特基场发射型,物镜：超级混合式透镜(SHL),加速电压：0.01 30.0 kV,0.01 0.49 kV只限于GB模式,探针电流: pA级 200 nA以上 (加速电压为15.0 kV时),二次电子像分辨率,高加速：0.8 nm15.0 kV (GB),低加速：1.2 nm1.0 kV (GB),极低加速：3.0 nm0.1 kV (GB),分析：3.0 nm15 kV, 5 nA, WD 10 mm,WD: 2.0 25.0 mm (LDF模式时可达41mm),倍率: x25 1,000,000,探测器: UED/LED/USD*/BED* (* 选配),JEOL介绍,日本电子株式会社,