廠務系統概述,莊士正,整廠系統,1.廠務系統功能,1.1 水系統在製程中的功能,1.2 氣體系統在製程中的功能,1.3 化學系統在製程中的功能,1.4 真空系統在製程中的功能,1.5 排氣/排水系統在製程中的功能,2.廠務系統使用材質,2.1 水系統使用材質,2.2 氣體系統使用材質-(除特氣外機台端都可能用Teflon軟管),2.3 化學系統使用材質,2.4 真空系統使用材質,Pump Line 製程高真空,SUS 316 BA/EP,GEX 一般排氣,鍍鋅螺旋風管,2.5 排氣系統使用材質,Solvent 有機排氣,SUS 304全焊式不銹鋼風管,Acid/Ak 酸鹼排氣,不銹鋼Teflon Coating風管(Tefpass),2.6 排水系統使用材質,Drain 一般排水,PVC/PVC SCH80,Solvent 有機排氣水,SUS 304不銹鋼管,Acid/Ak 酸鹼排氣水,PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA,3.廠務系統流程,3.1 製程冷卻水系統簡略流程,3.2 冰水系統簡略流程,3.3 純水系統簡略流程,3.4 自來水/回收水系統簡略流程,3.5 CDA/GN2/PN2系統簡略流程,3.6 其他大宗氣體/特氣系統簡略流程,3.7 高真空/排氣系統簡略流程,3.8 真空系統簡略流程,3.9 化學系統簡略流程,3.10 廢水收集系統簡略流程,3.11 廢水處理系統簡略流程,討論時間,