泓域咨询 /纳米级薄膜沉积设备项目可行性研究申请报告目录一、 公司主要财务数据3公司合并资产负债表主要数据3公司合并利润表主要数据3二、 薄膜沉积技术概况6三、 项目名称及项目单位9四、 项目建设地点10五、 编制依据和技术原则10主要经济指标一览表11六、 主要结论及建议12七、 产品规划方案及生产纲领12产品规划方案一览表13八、 项目选址原则14九、 机会分析（O）14十、 保障措施15十一、 监事17十二、 员工技能培训18十三、 环境保护综述19十四、 项目进度安排20项目实施进度计划一览表20十五、 项目建设期原辅材料供应情况21十六、 质量管理21十七、 项目总投资22总投资及构成一览表22十八、 资金筹措与投资计划23项目投资计划与资金筹措一览表23十九、 经济评价财务测算24二十、 项目盈利能力分析26二十一、 偿债能力分析27二十二、 项目风险分析风险防范29二十三、 项目招标依据29二十四、 项目总结29二十五、 附表30建设投资估算表30建设期利息估算表31固定资产投资估算表32流动资金估算表32总投资及构成一览表33项目投资计划与资金筹措一览表34营业收入、税金及附加和增值税估算表35综合总成本费用估算表36固定资产折旧费估算表36无形资产和其他资产摊销估算表37利润及利润分配表38项目投资现金流量表39报告说明从晶圆厂的投资构成来看，刻蚀设备、光刻设备、薄膜沉积设备是集成电路前道生产工艺中最重要的三类设备。其中，薄膜沉积设备投资额占晶圆厂投资总额的16%，占晶圆制造设备投资总额的21%。根据谨慎财务估算，项目总投资16360.88万元，其中：建设投资11938.19万元，占项目总投资的72.97%；建设期利息337.03万元，占项目总投资的2.06%；流动资金4085.66万元，占项目总投资的24.97%。项目正常运营每年营业收入35700.00万元，综合总成本费用29339.91万元，净利润4653.97万元，财务内部收益率21.39%，财务净现值6869.19万元，全部投资回收期6.00年。本期项目具有较强的财务盈利能力，其财务净现值良好，投资回收期合理。一、 公司主要财务数据公司合并资产负债表主要数据项目2020年12月2019年12月2018年12月资产总额6557.105245.684917.83负债总额3675.382940.302756.53股东权益合计2881.722305.382161.29公司合并利润表主要数据项目2020年度2019年度2018年度营业收入17442.5113954.0113081.88营业利润2810.612248.492107.96利润总额2545.202036.161908.90净利润1908.901488.941374.41归属于母公司所有者的净利润1908.901488.941374.41二级标产业环境分析预计全省生产总值能够实现6%左右的预期目标，一般公共预算收入同口径增长5.2%，固定资产投资增长6%以上，社会消费品零售总额增长7.4%左右。今年经济社会发展的主要预期目标是：生产总值增长6%，在实际工作中力求取得更好结果；固定资产投资增长6%以上，社会消费品零售总额增长7%，一般公共预算收入同口径增长5%；十大生态产业增加值占生产总值比重达到28%；城乡居民人均可支配收入分别增长7%左右和8%左右；城镇新增就业34万人，城镇登记失业率控制在4.5%以内；居民消费价格指数涨幅控制在3.5%左右。当前时期，国内外环境仍然错综复杂，我国发展仍处于大有作为的战略机遇期，也面临诸多矛盾叠加、风险隐患增多的严峻挑战。抓好支持和改革开放新机遇，适应引领新常态，加快发展推进转型升级，是当前的重要任务。（一）发展机遇政策支持凸显新优势。国家支持进一步加快经济社会发展，设立自贸试验区，发展迎来了难得的发展机遇。“四化”同步激发新产业。新型工业化、信息化、城镇化和农业现代化孕育着巨大发展潜能，国家深入实施“中国制造2025”，不断推进创新驱动、质量为先、绿色发展、结构优化和人才为本的战略，有利于产业转型升级，加快转变经济发展方式，有利于培育新业态和新商业模式，构建现代产业发展新体系。全面深化改革释放新红利。推进改革创新，构建具有地方特色的系统完备、科学规范、运行有效的制度体系，有利于培育和释放市场主体活力，提高资源配置效率，为经济社会持续健康发展提供强大的动力支撑。（二）面临挑战世界经济在深度调整中曲折复苏，以新一代信息技术、新材料等技术创新应用为核心的科技革命和产业变革突飞猛进，发达国家纷纷再工业化，比我国劳动力成本更低的发展中国家加大力度承接产业转移；国际金融危机深层次影响还在持续，全球经济增长乏力，地缘政治经济博弈错综复杂。国内经济发展进入新常态，传统要素优势正在减弱，结构调整矛盾依然突出，经济运行潜在风险加大，资源环境和气候变化约束趋紧。进入新常态后，经济增长和财政收入增长放缓；与先进城市相比，经济规模偏小，科技创新能力不强，产业结构不优，城乡发展不够均衡；社会不稳定因素增多，“三个转型”的任务依然十分艰巨，未来五年是的产业结构转型关键期、城市发展转型加速期和社会治理转型深化期。产业规模偏小、龙头企业偏少，土地资源与环境约束进一步趋紧；劳动力成本上升，现有产业面临竞争力下降的压力；科技创新迅速发展，抢占新兴产业发展先机和制高点的竞争日益激烈，产业结构转型进入关键期。 社会利益格局和需求日益多元化；公共服务供给与需求之间的矛盾日益突出；传统社会治理体系和水平与市民群众的期望仍有较大差距，社会治理转型进入深化期。二、 薄膜沉积技术概况1、基本情况薄膜沉积设备通常用于在基底上沉积导体、绝缘体或者半导体等材料膜层，使之具备一定的特殊性能，广泛应用于光伏、半导体等领域的生产制造环节。2、薄膜沉积设备技术基本情况及对比薄膜沉积设备按照工艺原理的不同可分为物理气相沉积（PVD）设备、化学气相沉积（CVD）设备和原子层沉积（ALD）设备。（1）PVD物理气相沉积（PVD）技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源（固体或液体）表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体（或等离子体）过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。PVD镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。（2）CVD化学气相沉积（CVD）是通过化学反应的方式，利用加热、等离子或光辐射等各种能源，在反应器内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术，是一种通过气体混合的化学反应在基体表面沉积薄膜的工艺，可应用于绝缘薄膜、硬掩模层以及金属膜层的沉积。（3）薄膜沉积设备技术之间对比PVD为物理过程，CVD为化学过程，两种具有显著的区别。ALD也是采用化学反应方式进行沉积，但反应原理和工艺方式与CVD存在显著区别，在CVD工艺过程中，化学蒸气不断地通入真空室内，而在ALD工艺过程中，不同的反应物（前驱体）是以气体脉冲的形式交替送入反应室中的，使得在基底表面以单个原子层为单位一层一层地实现镀膜。相比于ALD技术，PVD技术生长机理简单，沉积速率高，但一般只适用于平面的膜层制备；CVD技术的重复性和台阶覆盖性比PVD略好，但是工艺过程中影响因素较多，成膜的均匀性较差，并且难以精确控制薄膜厚度。3、ALD、PVD、CVD技术应用差异PVD、CVD、ALD技术各有自己的技术特点和技术难点，经过多年的发展，亦分别发展出诸多应用领域。原子层沉积可以将物质以单原子层形式一层一层地镀在基底表面的方法。从原理上说，ALD是通过化学反应得到生成物，但在沉积反应原理、沉积反应条件的要求和沉积层的质量上都与传统的CVD不同，在传统CVD工艺过程中，化学气体不断通入真空室内，因此该沉积过程是连续的，沉积薄膜的厚度与温度、压力、气体流量以及流动的均匀性、时间等多种因素有关；在ALD工艺过程中，则是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中，因此并非一个连续的工艺过程。ALD与CVD技术之间既存在明显的区分度，又在部分常规应用场景中存在可替代性。具体情况如下：在PERC电池背钝化Al2O3的沉积工艺中，ALD技术与PECVD技术存在互相替代的关系在2016年之前，PECVD在PERC电池背面钝化的应用被迅速推广，原因是在常规单晶电池制造工艺流程中，仅电池正面需要用PECVD镀SiNX，因此电池厂商选择PERC电池背面沉积Al2O3的方法时，PECVD技术被优先用于Al2O3的沉积。而当时的ALD技术在国外主要应用于半导体领域，大多属于单片式反应器类型，这种反应器虽然镀膜精度高，但产能较低。近年来，晶圆制造的复杂度和工序量大大提升，以逻辑芯片为例，随着90nm以下制程的产线数量增多，尤其是28nm及以下工艺的产线对镀膜厚度和精度控制的要求更高，特别是引入多重曝光技术后，工序数和设备数均大幅提高；在存储芯片领域，主流制造工艺已由2DNAND发展为3DNAND结构，内部层数不断增高；元器件逐步呈现高密度、高深宽比结构。由于ALD独特的技术优势，在每个周期中生长的薄膜厚度是一定的，拥有精确的膜厚控制和优越的台阶覆盖率，因此能够较好的满足器件尺寸不断缩小和结构3D立体化对于薄膜沉积工序中薄膜的厚度、三维共形性等方面的更高要求。ALD技术愈发体现出举足轻重、不可替代的作用。三、 项目名称及项目单位项目名称：纳米级薄膜沉积设备项目项目单位：xx（集团）有限公司四、 项目建设地点本期项目选址位于xx（以选址意见书为准），占地面积约33.00亩。项目拟定建设区域地理位置优越，交通便利，规划电力、给排水、通讯等公用设施条件完备，非常适宜本期项目建设。五、 编制依据和技术原则（一）编制依据1、中华人民共和国国民经济和社会发展第十三个五年规划纲要；2、中国制造2025；3、建设项目经济评价方法与参数及使用手册（第三版）；4、项目公司提供的发展规划、有关资料及相关数据等。（二）技术原则为实现产业高质量发展的目标，报告确定按如下原则编制：1、认真贯彻国家和地方产业发展的总体思路：资源综合利用、节约能源、提高社会效益和经济效益。2、严格执行国家、地方及主管部门制定的环保、职业安全卫生、消防和节能设计规定、规范及标准。3、积极采用新工艺、新技术，在保证产品质量的同时，力求节能降耗。4、坚持可持续发展原则。主要经济指标一览表序号项目单位指标备注1占地面积22000.00约33.00亩1.1总建筑面积36567.921.2基底面积12980.001.3投资强度万元/亩351.622总投资万元16360.882.1建设投资万元11938.192.1.1工程费用万元10389.122.1.2其他费用万元1228.172.1.3预备费万元320.902.2建设期利息万元337.032.3流动资金万元4085.663资金筹措万元16360.883.1自筹资金万元9