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word静电标准G3007-971X围11主题内容本标准规定了供操作静电放电敏感电子产品用的防静电工作区应具备的各项技术要求12适用X围本标准适用于防静电工作区。13应用指南由于电子产品的静电放电敏感度不同和防静电工作区具体用途以与结构形式的差异,本标准规定的内容和要求允许剪裁。14分级按照防静电工作区内的指定空间所允许的对地静电电位值,将防静电工作区分为二级。A级允许的对地静电电位不超过100V;B级允许的对地静电电位不超过1000V;2引用文件GB4381995 防静电鞋、导电鞋技术要求GB1201489 防静电工作服G/Z 2591 电子设备和设施的接地、搭接和屏蔽设计指南G164993 电子产品防静电放电控制大纲SJ/T106941996电子产品制造防静电系统测试方法3定义31术语311防静电工作区 electrostatic discharge protected area配备各种防静电设备和器材、能限制静电电位、具有确定边界和专门标记的适于从事静电防护操作的场所。312操作 handling在静电放电敏感电子产品的制造、老化、筛选、检测、装联、包装、贮存、修理和失效分析等过程中,直接或间接地作用于产品的有效活动。313 接地 grounding电子连接到能供应或承受大量电荷的物体如大地、舰船或运载工具外壳等见G1649第3.1.2条。314 硬接地 hard ground直接与大地电极作导电性连接的一种接地方式。315软接地 soft ground通过一足以限制流过人体的电流达到安全值的电阻连接到大地电极的一种接地方式。316大地电极 earth electrode埋于地下与大地保持良好的电气连接的金属体或金属体组。它可以是杆状的、板状的或网状的,为接地系统提供接大地的基准点。317 静电耗散材料 dissipative materials其外表电阻率等于或大于1x105/ ,但小于1x1012/ ;或何种电阻率等于或大于1x104 cm,但小于1x1011/cm的材料。318导静电材料 electrostaticconductive materials其外表电阻率小于1x105/ 或体积电阻率小于1x104 cm的材料。32 缩写词321 ESD electrostatic discharge sensitive 静电放电。322 ESDS electrostatic discharge sensitive 静电放电敏感的。323 EPA electrostatic discharge protected area 防静电工作区。324 EBP earth bonding point 接地连接点。4一般要求41 静电放电敏感符号静电放电敏感符号的式样、颜色和尺寸以与其简化符号式样,应符合G 1469附录C补充件的规定。42EPA 标记符号EPA 标记符号式样如图1所示,其最小尺寸为300mm 150mm。标记颜色一般采用黄底黑色,应防止使用红色。在图中*处应标出级别代码A或B。43接地连接点符EPA 内的接地连接点符号式样如图2所示,其尺寸的大小应能够在普通照明条件下用肉眼清楚识别。标记颜色一般采用黄底黑色,应防止使用红色5详细要求51静电电位如无另外规定,EPA内的静电电位应满足如下要求,即在任何情况下,在EPA内贮存,使用或承受加工的未带ESD外防护的ESDS产品周围300mm空间之内任一物体的静电电位不得超过该级EPA允许的对地静电电位值。使用准确度优于10%的非接触式静电伏特计进展测量。52构造形式EPA的构造形式因其具体用途而定。可以是下述场所之一或其组合:a.一个操作工作台;b.一个库房;c.一个加工操作间;d.一个工作机房;e.一个活动的或固定的工作站;f.一个维修工作现场。无论属于哪一种构造形式,它都必须是一个具有明确划定边界例如,在一宽大的厂房内可使用宽度为50mm的黄色警示标志线,将防静电工作区划定的场所,并具有为完成其功能所必需的仪器、设备和器材。53标记531EPA 专用标记应在EPA入口处附近的明显位置例如门的上方或门对面的壁上贴有符合4.2条规定的标记,标记的尺寸大小与EPA的规模相称。532 接地标记在EPA内设置的供接地用的连接点,并没有做处第4.3条规定的标记。533 ESDS产品标记在EPA内承受加工、装联或在EPA内进展包装、贮存的ESDS产品,在产品和内包装上应标志符合第4.1条或相应的产品规X规定的静电放电敏感符号标记。5.4 气候与环境条件5.4.1 温度EPA 内应装设有温度调节装置,以维持其室温在1535的温度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录一次。542 湿度EPA 内应装设有湿度度调节装置,以维持其室内相对湿度在45%75%X围内。采用准确度优于2%的湿度计测量EPA内的湿度,并在每日的同一时间测量和记录一次。543 气压EPA内大气压力应在86106kpaX围内。不能满足上述要求时,应采取调压措施。544静电消除器在工作台面上方的适当部位或其他必要部位,应装设静电消除器,以消除未打开的包装件上的静电荷和在操作过程中因人体、工具与其他物品相互摩擦在工作上所产生的静电荷,静电消除器应能消除任何一种极性的电荷,并在其有效防护区域内使静电位保持在规定值以内,中和能力应优于250V/s。545 洁净度必要时需使用洁净环境的EPA加工场所,厂房空气洁净级别按有关工艺设计文件规定。55接地EPA 应具备满足其使用功能要求的防静电接地分系统,并通过大地电极分系统接到大地。此外,EPA通常还需设置假如干其他接地分系统,例如雷电保护、故障保护、信号、参考等分系统。这些接地分系统的作用、配置、安装方法接地电阻要求与测量方法等,参见G/Z25第59章。551防静电接地分系统EPA的防静电接地分系统包括人体防静电接地、地坪防静电接地和操作装置、仪器的防静电接地等。除个别指明需采用硬接地者外,一般采用软接地方式,其接地电阻可由外接电阻、材料内固有电阻或它们的组合构成。各种防静电接地的接地电阻要求见5.6条。552 接地安装须知事项5521防静电接地分系统可利用故障保护地线或信号参考地线直流工作地线作为接地母线。5522不允许交流线路的走线与直线地线紧贴或平行铺设,以防以直流信号造成干扰。5523各接地分系统的连线之间应当相互隔离,为此应使用带绝缘外皮的导线。5524各接地干线之间的连接应采用钎焊、熔焊或压力连接件、卡箍等进展搭接连接。5525防静电工具、装置等接地端子允许使用易于装拆的各种夹式连接器,例如鳄鱼夹、插头座等,但应确保电气连接可靠。55262的多股敷塑导线,外皮颜色为黄绿色。.6各种器材、用具的静电性能5.6.1ESD防护工作台面除非制造工艺要求需要使用导静电工作台面,EPA内的ESD防扩工作台面应使用静电耗散材料制成并接地良好。推荐工作台面尺寸为1200mm600mm。ESD防护工作台面的对地电阻和外表点对点电阻要求见表1。对地电阻测量原理按SJ/T10694的图7,测量电表的一端接到腕带接地插孔上,另一个电极距此0.9m,测量5个点测量电极以0.9m为半径的绕接地插孔旋转移动,取其平均值。外表点对点电阻测量原理按SJ/T106409的图6a,二测试电极相距0.9m,共测量5组数据取平均值。测量时一个电极以0.9m的半径绕固定的电极旋转移动。表1 EPA 内各种器材的静电性能要求物品章条号外表点对点电阻或端以端电阻对地电阻穿戴状态下对地电阻说明工作台面51059地板、地垫1x105101x1059腕带5从内外表对地测量5756腕带连线端对端测量鞋束5x1048存放架,运输小车51059周转容器510工作椅1059工作服1x10510510防静电鞋、袜5x10410双脚测量手套、指套510单只测量5.6.2 ESD防护地板、地垫除非制造工艺要求需要使用导静电地板,EPA应采用静电耗散地板或地垫并接地良好,其对地电阻和外表点对点电阻的要求见表1。对地电阻的测量原理按SJ/T10694的图5。外表点对点电阻的测量原理按SJ/T10694的图4,每4m2随机抽取5点并取中心对四角4次测量结果的平均值,测量点遗著 板的边缘不得小于10mm。5.6.3ESD防护腕带、鞋束足跟带在ESD防护工作台面的二个角落上应配置供腕带接地用的插孔即EBP二个,一个供操作人员使用,另一个供其他相关人员使用。腕带内外表与手腕的接触面对地电阻应符合表1的规定,其测量原理与方法按SJ/T10694第6.9.1条。在腕带被除数佩戴情况下,对地电阻应符合表1的规定,其测量原理与方法按SJ/T10694第6.9.3条。供连接腕带用的腕带连线,其端对端之间的电阻应符合表1规定,其测量原理与方法按SJ/T10694第6.9.2条。在使用腕带不方便的情况下,在使用鞋束足跟带进展人体防护接地。鞋束足跟带应由静电耗散材料制作,其系统电阻值应符合表1,测量原理与方法按SJ/T10694第6.10条。 5.6.4 物品存放架、内部运输小车物流车应能通过支脚或轮子接地,它与工件接触的外表应由静电耗散材料制作。对地电阻和外表点对点电阻值应符合不1。对地电阻的测量原理与方法按SJ/T10694第6.8条。外表临着点对点电阻的测量原理与方法近SJ/T10694第6.4.1条。5.6.5 转容器箱、盘、盒其内、外外表点对点电阻应符合表1规定。电阻的测量原理与方法按SJ/T10694第6.7条。5.6.6 工作椅工作椅应能通过支脚或轮接地,在正常操作情况下与人体接触的外表应由耗散材料制作。工作椅的对地电阻和外表点对点电阻值应符合表1规定。对地电阻的测量原理与方法按SJ/T10694第6.5.1条。外表点对点电阻的测量原理与方法按SJ/T10694第6.5.2条。5.6.7 电烙铁焊头部位应进展硬接地,从焊头到接地系统的电阻应不大于2。5.6.8 工作服工作服应符合GB12014的规定,其各局部之间应存在着电气连续性。工作服的设计应能保持其在穿着状态下与人体皮肤直接或间接地接触。必要时,其上应设
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