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第十四章1、波谱仪和能谱仪各有什么优缺点 ?优点 :1 )能谱仪探测 X 射线的效率高。2)在同一时间对分析点内所有元素 X 射线光子的能量进行测定和计数,在几分钟内可得到定性分析结果, 而波谱仪只能逐个测量每种元素特征波长。3)结构简单,稳定性和重现性都很好4)不必聚焦,对样品表面无特殊要求,适于粗糙表面分析。缺点: 1)分辨率低。2)能谱仪只能分析原子序数大于 11 的元素;而波谱仪可测定原子序数从4 到 92 间的所有元素。3)能谱仪的 Si(Li) 探头必须保持在低温态,因此必须时时用液氮冷却。 分析钢中碳化物成分可用能谱仪;分析基体中碳含量可用波谱仪。2、举例说明电子探针的三种工作方式(点、线、面)在显微成分分析中的应用。答:(1) 、定点分析: 将电子束固定在要分析的微区上用波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器的位置, 即可得到分析点的 X 射线谱线;用能谱仪分析时,几分钟内即可直接从荧光屏(或计算机)上得到微区内全部 元素的谱线。(2)、线分析: 将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X 射线信号(波长或能量)的位置把电子束沿着指定的方向作直线轨迹扫描,便可得到这一元素沿直线的浓度分布情况。改变位置可得到另一元素的 浓度分布情况。(3)、面分析: 电子束在样品表面作光栅扫描,将谱仪(波、能)固定在所要测量的某一元素特征X 射线信号(波长或能量)的位置,此时,在荧光屏上得到该元素的面分布图像。改变位置可得到另一元素的浓度分 布情况。也是用 X 射线调制图像的方法。3、要在观察断口形貌的同时,分析断口上粒状夹杂物的化学成分,选用什么仪器?用怎样的操作方式进行 具体分析?答:( 1)若观察断口形貌,用扫描电子显微镜来观察:而要分析夹杂物的化学成分,得选用能谱仪来分 析其化学成分。(2)A 、用扫描电镜的断口分析观察其断口形貌:a沿晶断口分析:靠近二次电子检测器的断裂面亮度大,背面则暗,故短裤呈冰糖块状或呈石块状。沿晶 断口属于脆性断裂,断口上午塑性变形迹象。b韧窝断口分析:韧窝的边缘类似尖棱,故亮度较大,韧窝底部比较平坦,图像亮度较低。韧窝断口是一 种韧性断裂断口,无论是从试样的宏观变形行为上,还是从断口的微观区域上都能看出明显的塑性变形。韧窝 断口是穿晶韧性断口。c、解理断口分析:由于相邻晶粒的位相不一样,因此解理断裂纹从一个晶粒扩展到相邻晶粒内部时,在晶界处开始形成河流花样即解理台阶。解理断裂是脆性断裂,是沿着某特定的晶体学晶面产生的穿晶断裂。d、纤维增强复合材料断口分析:断口上有很多纤维拔岀。由于纤维断裂的位置不都是在基体主裂纹平面上,一些纤维与基体脱粘后断裂位置在基体中,所以断口山更大量露岀的拔岀纤维,同时还可看到纤维拔岀后留下的孔洞。B用能谱仪定性分析方法进行其化学成分的分析。定点分析:对样品选定区进行定性分析.线分析:测定某特定元素的直线分布.面分析:测定某特定元素的面分布a定点分析方法:电子束照射分析区,波谱仪分析时,改变分光晶体和探测器位置 .或用能谱仪,获取E I谱线,根据谱线中各峰对应的特征波长值或特征能量值,确定照射区的元素组成;b线分析方法:将谱仪固定在要测元素的特征X射线波长值或特征能量值,使电子束沿着图像指定直线轨迹扫描.常用于测晶界、相界元素分布.常将元素分布谱与该微区组织形貌结合起来分析;c、面分析方法:将谱仪固定在要测元素的特征X射线波长值或特征能量值,使电子束在在样品微区作光栅扫描,此时在荧光屏上便得到该元素的微区分布,含量高则亮。4、扫描电子显微镜是由电子光学系统,信号收集处理、图像显示和记录系统,真空系统三个基本部分组成。(1)、电子光学系统(镜筒)1 )电子枪:提供稳定的电子束,阴阳极加速电压2 )电磁透镜:第一、二透镜为强磁透镜,第三为弱磁透镜,聚集能力小,目的是增大镜筒空间3 )扫描线圈:使电子束在试样表面作规则扫描,同时控制电子束在样品上扫描与显像管上电子束扫描同步进行。扫描方式有光栅扫描(面扫)和角光栅(线)扫描4 )样品室及信号探测:放置样品,安装信号探测器;各种信号的收集和相应的探测器的位置有很大 关系。样品台本身是复杂而精密的组件,能进行平移、倾斜和转动等运动。(2)信号收集和图像显示系统电子束照射试样微区,产生信号量-荧光屏对应区光强度。因试样各点状态不同(形貌、成分差异),在荧光屏上反映图像亮度不同,从而形成光强度差(图像)。(3)真空系统防止样品污染,灯丝氧化;气体电离,使电子束散射。真空度1。33 X 10-2-1 。33 X 10-3。5、各种信号成像的分辨率信号二次电子背散射电子吸收电子特征X射线俄歇电子分辨率51050200?1001000?1001000510由表可看岀二次电子和俄歇电子的分辨率高,而特征X射线调制成显微图像的分辨率最低。6、二次电子成像原理及应用(1)成像原理为:二次电子产额对微区表面的几何形状十分敏感。随入射束与试样表面法线夹角增大,二次电子产额增大。因为电子束穿入样品激发二次电子的有效深度增加了,使表面5-10 nm作用体积内逸岀表面的二次电子数量增多。(2)应用:a、断口分析 1)沿晶断口; 2 )韧窝断口; 3 )解理断口;4)纤维增强复合材料断口。b样品表面形貌特征1 )烧结样品的自然表面分析2 )金相表面c、材料形变和断裂过程的动态分析1) 双相钢 2)复合材料7、背散射电子衬度原理及应用(1) Z ,ib .不同成分 b不同 电子强度差-衬度-图像。背散射电子像中不同的区域衬度差别,实际上反映了样品相应不同区域平均原子序数的差别,据此可以定性分析样品的化学成分分布。对于光滑 样品,原子序数衬度反映了表面组织形貌,同时也定性反映了样品成分分布;而对于形貌、成分差样品,则采用双检测器,消除形貌衬度、原子序数衬度的相互干扰。(2) 背散射电子用于:形貌分析一一来自样品表层几百nm范围;成分分析一一产额与原子序数有关;晶 体结构分析基于通道花样衬度。第十三章1、电子束入射固体样品表面会激发哪些信号?他们有哪些特点和用途?答:1)背散射电子:能量高;来自样品表面几百nm深度范围;其产额随原子序数增大而增多。用作形貌分析、成分分析以及结构分析。2)二次电子:能量较低;来自表层 5 10nm深度范围;对样品表面化状态十分敏感。不能进行成分分析,主 要用于分析样品表面形貌。3)吸收电子:其衬度恰好和 SE或BE信号调制图像衬度相反;与背散射电子的衬度互补。吸收电子能产生原 子序数衬度,即可用来进行定性的微区成分分析。4)透射电子:透射电子信号由微区的厚度、成分和晶体结构决定。可进行微区成分分析。5)特征X射线:用特征值进行成分分析,来自样品较深的区域6)俄歇电子:各元素的俄歇电子能量值很低;来自样品表面 1 2nm范围。它适合做表面分析。2、当电子束入射重元素和轻元素时,其作用体积有何不同?各自产生的信号的分辨率有何特点? 当电子束进入轻元素样品表面后悔造成滴状作用体积。入射电子束进入浅层表面时,尚未向横向扩展开来,因此二次电子和俄歇电子的分辨率就相当于束斑的直径。入射电子束进入样品较深部位时,向横向扩展的 范围变大,则背散射电子的分辨率较低,而特征 X 射线的分辨率最低。当电子束射入重元素样品中时,作用体积呈半球状。电子书进入表面后立即向横向扩展,因此在分析重 元素时,即使电子束的束斑很细小,也能达到较高的分辨率,此时二次电子的分辨率和背散射电子的分辨率之 间的差距明显变小。第十一章1、薄膜样品的制备方法(工艺过程)1) 、从实物或大块试样上切割厚度为0。30。5mm厚的薄片。电火花县切割法是目前用得最广泛的方法, 它是用一根往返运动的金属丝做切割工具,只能用于导电样品。2)、样品薄片的预先减薄。预先减薄的方法有两种即机械法和化学法。机械减薄法是通过手工研磨来完成 的,把切割好的薄片一面用粘结剂粘在样品座表面,然后在水砂纸磨盘上进行研磨减薄;把切割好的金属薄片 放入配制好的化学试剂中,使它表面受腐蚀而继续减薄。3) 、最终减。双喷嘴电解抛光法:将预先减薄的样品剪成直径为3mm的圆片,装入样品夹持器中,进行减 薄时,针对样品两个表面的中心部位各有一个电解液喷嘴。2、什么是衍射衬度 ? 画图说明衍衬成像原理,并说明什么是明场像、暗场像和中心暗场像。答:( 1)衍射衬度 : 由样品各处衍射束强度的差异形成的衬度。( 2)衍射衬度成像原理如下图所示。设薄膜有A、B两晶粒。B内的某(hkl)晶面严格满足 Bragg条件,或B晶粒内满足“双光束条件”,则通过 (hkl)衍射使入射强度10分解为Ihki和10-1 hki两部分。A晶粒内所有晶面与 Bragg角相差较大,不能产生衍射。在物镜背焦面上的物镜光阑,将衍射束挡掉,只让透射束通过光阑孔进行成像(明场),此时,像平面上A和B晶粒的光强度或亮度不同,分别为I A I 0 I B I 0 - I hklB晶粒相对A晶粒的像衬度为(丄人 上 邑 业IIa Io明场成像:只让中心透射束穿过物镜光栏形成的衍衬像称为明场镜。暗场成像:只让某一衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为暗场像。中心暗场像:入射电子束相对衍射晶面倾斜角,此时衍射斑将移到透镜的中心位置,该衍射束通过物镜光栏形成的衍衬像称为中心暗场成像。3、什么是消光距离?影响晶体消光距离的主要物性参数和外界条件是什么答:(1 )消光距离:由于透射波和衍射波强烈的动力学相互作用结果,使Io和lg在晶体深度方向上发生周期性的振荡,此振荡的深度周期叫消光距离。(2)影响因素:晶胞体积,结构因子,Bragg角,电子波长。4、双光束近似:假定电子束透过薄晶体试样成像时,除了透射束外只存在一束较强的衍射束,而其他衍射 束却大大偏离布拉格条件,它们的强度均可视为零。柱体近似是把成像单元缩小到和一个晶胞相当的尺度。试样下表面某点所产生的衍射束强度近似为以该点 为中心的一个小柱体衍射束的强度,柱体与柱体间互不干扰。1 2打二sin等厚条纹:等厚条纹:当S三C时 申“)显然,当t = n/s(n为整数)时,lg = 0T =云当 t = (n + 1/2)/s时,二用lg随t周期性振荡这一运动学结果,定性解释以下两种衍衬现象。晶体样品契形边缘处出现的厚度消光条纹,也叫等厚消光条纹。_ (亢尸 sir等倾条纹:当t - c时,5、 什么是缺陷不可见判据?如何用不可见判据来确定位错的布氏矢量?答:缺陷不可见判据是指:g R 0。确定位错的布氏矢量可按如下步骤:找到两个操作发射g1和g2,其成像时位错均不可见,则必有g1 b = 0,g2 b = 0。这就是说,b应该在g1和g2所对应的晶面(mkl J he(h2k2l 2)内,即b应该平行于这两个晶面的交线,b= g1 x g2,再利用晶面定律可以求岀b的指数。至于b的大小,通常可取这个方向上的最小点阵矢量。6、 如果将 - 作为位错消光的有效判据,那么,在进行位错Burgers矢量测定时,只要找到产生该位错消光的两个操作反射g1和g2,即可确定请分析为什么?答:这是因为,如果能找到两个操作发射g1和g2,其成像时位错均不可见,则必有gi b = 0,
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