全玻璃太阳能集热管工艺操作规程适用范畴本规程适用于中恒科技有限公司全玻璃太阳能集热管生产的全部过 程。技术要求符合GB/T17049-2005全玻璃太阳能集热管、全玻璃太阳能集 热管检验规程。3. 原材料标准 见全玻璃太阳能集热管原材料检验规程4. 工艺流程图全玻璃太阳能集热管生产过程的工艺流程如下：毛坯T拉封T清洗T烘干T镀膜T封口T退火T排气T烤消T包装 其中，镀膜工序为专门过程。5. 技术要求及操作步骤5.1 清洗5.1.1 预备 往第一、第二水槽内注满去离子水，戴好一次性手套或橡胶手套。5.1.2 内管清洗5.1.2.1 打开一次水阀门，对玻璃管进行充分浸润。 5.1.2.2执行以下操作步骤：a用绸子布蘸配比为1： 100 (V/V )的洗洁净溶液擦拭内管，要求所有 表面必须擦到，擦洗过程中内管的外表面必须见到洗洁净白沫。b. 把擦洗好的内管逐支放入第一水槽内，用绸子布在水中平均擦洗一 遍。c. 然后再逐支放入第二水槽内涮洗洁净，最后将洗净的管子管口向下 逐支插在内管烘干车内。5.1.2.3在清洗过程中，若发觉内管的内壁有泥土、油污或其它污渍存 在，则用专用工具逐支刷净，然后再重复 5.1.2.2 的操作。5.1.2.4打开去离子水阀门，对放置在烘干车内的内管进行反复冲洗， 让水流由上而下平均流过每支管子，要求每个地点都充分冲洗到。5.1.3 外管清洗 5.1.3.1打开一次水阀门，浸润玻璃管的内、外壁，然后利用专用工具 逐支将外管的内壁擦洗洁净。用绸子布将外管的外壁擦洗洁净，再将外管 逐支插在外管烘干车内。5.1.3.2对插放在烘干车内的外管，用去离子水冲洗外管的内、外壁， 要求外管的内、外壁都要充分冲洗到。5.1.4 换水 水槽内的去离子水每四小时更换一次。5.1.5 烘干 5.1.5.1技术要求烘箱烘干温度操纵为120C士 10 C。5.1.5.2 预备 检查设备、供电正常后将烘箱内清理洁净。5.1.5.3 操作步骤a将内、外管分别推进烘箱，每台烘箱内放置3辆小车。b. 关闭烘箱门，开启电源，外表盘上绿色指标灯亮。c. 打开加热开关，开始加热，当温度达设定温度时，烘箱进入保温状态。d. 内管保温40分钟后，外管保温20分钟后断开加热开关，自然降温至 80C以下后，取出烘干管。在烘干的过程中，应按要求填写烘干操作记 录。5.1.6产品经自检合格后转下工序。6.2 JT-700型镀膜机镀膜6.2.1 技术要求621.1铝靶的直径60mm;6.2.1.2压缩空气的压强应达到 0.40.6Mpa;621.3镀膜操作室的室温小于35C，相对湿度小于70%RH;6 . 2 . 1 .4镀室内洁净，无灰尘、异物。6.2.2 操作步骤6.2.2.1 预备a打开压缩空气阀门，检查空气压强是否达到0.40.6Mpa。b. 打开冷却循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头和 阀门有无泄漏。c. 检查氩气、氮气、两种气体的联接状况，看接头是否有泄漏。d. 分别打开氩气、氮气、两个气瓶的总阀，检查气瓶内压力。氩气、氮 气的高压表的显示值不得低于 0.5MPa。6.2.2.2开机A. 开启本机电源。B. 开机械泵同时压差电磁阀开、打开“前级阀”，等2分钟以后，开复 合压强制仪电源，当电离计显示数值低于 8Pa后开扩散泵，开“机械泵扩 散泵”记录扩散泵加热时刻。 1 小时后正常工作。C 分别缓慢调剂氩气、氮气、两个气瓶上的减压阀，使得氩气、氮气 的低压表读数操纵在0.10.2MPa之间。D 打开运算机电源，输入工艺卡片中规定的工艺参数。E. 扩散泵加热超过 60 分钟后，将阀档拨至“放气”位置，放气后由“放 气”档拨至“停”位置，打开镀室门。6.2.2.3 装管a. 打开转架电源开关，将电压调至 80 10V之间，将合格内管插入转 架插杆。装管时，预先戴好洁净的一次性手套，外层再戴上洁净细纱手套， 戴好之后不许触摸其他物品，如门、车把、桌椅等。b. 玻璃管全部插满插杆后，观看每支管子的自转状态，确定玻璃管间无 碰撞后，把旋转电压调零，关闭镀室门。6.2.2.4 粗抽真空将阀档转换开关由“前级”至“停”拨至“粗抽”位置， 2 分 钟后开复合压强操纵仪电源，热偶计开始显示读数。6.2.2.5 精抽真空当热偶计显示值达到8Pa后，将阀档转换开关由“粗抽”经“停” 拨至“前级”至“高阀” ，每档转换间隔应停顿 10秒钟左右，使阀门充分 关闭。6.2.2.6 清靶a. 当电离计显示打到工艺要求后，将阀档转换开关有“停”拨至“光栏” 档，开氩气开关，把流量计打到“自动” “伐控”b. 将转架电压调至80 10V之间。c. 当电离计显示运行压强时，开启磁控靶电源，然后调剂电流旋钮至设定值，直至放电电压达 400V以上。6.2.2.7溅射镀膜a启动运算机，按下“运行”键。b.当镀膜机处于溅射工作状态时，操作员随时观看设备的运行状况，注 意各仪器外表显示的数值变化，严格按要求填写镀膜操作记录 。6.2.2.8装配支架a. 装填支架前，检查支架清洗是否洁净，焊接是否牢固。b. 装填支架必需使用专用工具并配戴一次性手套，装填时应幸免划伤外 管的内壁，支架装填到外管的圆头部，不得用手直截了当接触支架以免造 成污染。622.9终止溅射镀膜 当运算机显示层数为最末一层的 21 秒时，执行如下操作：a.关闭靶和激磁电源，当镀室内真空度达到9.0X 10-3Pa以上后，将阀 档转换开关由“高阀”档拨至“前级” ，关复合压强操纵仪电源，停顿 10 秒钟后将阀档转换开关由“停”拨至“放气” ，打开镀室门后，再将阀档转 换开关拨至“停”。6.2.2.10出管a. 取管：手握已镀膜管下部垂直往上提，使管口脱离转架轴，将镀膜管 移出镀室。b. 内外管装配：手握已镀膜内管，管口向上，管身竖直放入外管中；放 入时应注意幸免内管的圆头划伤外管内壁，使其轻缓下落，直至接触到 支架。内管装入外管后，按住内管端口往下轻压，使支架包住圆头。6.2.2.11连续工作时重复 6.2.2.36.2.2.10的操作步骤。6.2.2.12产品经自检合格后，由操作工在内管管口部位印上工号，转下 工序。624 关机6.2.4.1 在镀膜机停止工作前，先关镀室门，开“粗抽”阀，将镀室的 真空度抽到8Pa以下。6.2.4.2 关“粗抽”阀，关“扩散泵”（即“扩散泵” 开关拨至“机械泵”）6.2.4.3 关闭两气总阀（高压、低压） 。6.2.4.4 在扩散泵停止加热 60 分钟后，关机械泵（阀档转换开关拨至 “停”）。6.2.4.5 关循环水，关电源总开关。6.2.4.6设备关机后长期停放，则需放净水套及盘管内的循环水，并用 高压空气吹干。6.4 封口。6.4.1 技术要求封口时不应有黑烟燎到内管的表面或外管内壁。6.4.2 操作步骤6.4.2.1 开启电源开关，检查车床各部位的运转情形、支撑杆的同心度 和弹簧卡 片的固定情形等，保证车床处于完好状态。6.4.2.2检查上工序转来的管子支架装配是否端正，管子是否完好，确 定合格后，印上封口工号。内管端面比外管端面长出2.53.5mm。6.4.2.3 将管子装夹到车床上，接上活三通空气管后，点燃车床灯，点 燃时先开天然气后开氧气。6.4.2.4先用软火对准封接部位进行预热，同时用压缩空气吹除管内的 水汽，再把火焰调到合适的大小，烧熔内、外管的封接部位，然后用石墨 铲翻接。6.4.2.5 封接后再用火焰对准内、外管封接处烧熔，并逐步降低火焰温 度，同时一 边吹空气一边用石墨铲整形，使接口圆滑。6.4.2.6封口后取下活三通空气管，取下封好的全玻璃太阳能集热管， 放在周转小车内， 层与层之间加垫橡胶垫 ,加垫橡胶垫时应注意加垫的位置， 防止管口温度过高，以免烫坏橡胶垫。如发觉封口后管内水汽大，必须用 机械泵抽掉水汽。6.4.3 关机 玻璃车床在长时刻不用时，应先将灯头的火焰关掉，等支撑杆完全冷 却后方可将车床电源关掉，关机时先关氧气后关天然气。6.4.4产品经自检合格后转下工序。6.5电退火6.5.1操作步骤6.5.1.1按照全玻璃太阳能集热管的规格调剂好转架的高度。在退火过程中，转速v 25分钟/转。6.5.1.2 开启电源开关，检查退火炉运转情形，无专门情形后，打开温 度开关升温至设定温度值。6.5.1.3 待温度升至设定温度后，将上工序转来的全玻璃太阳能集热管 逐支放置在退火炉上。6.5.1.4 全玻璃太阳能集热管在转架上旋转一周后，再逐支取下放在周 转小车内，层与层之间要在管口部位垫好橡胶垫。加垫橡胶垫时应注意加 垫位置，以免烫坏胶垫。6.5.2 关机 全玻璃太阳能集热管全部离开第一温区后，关闭“温控一”电源，全玻璃太阳能集热管全部离开转架后，关闭“温控二”电源，然后关旋转电 源，最后关闭总电源。6.5.3 产品经自检合格后转下工序。6.6 火退火6.6.1 操作步骤6.6.2按下电源开关，开启电磁调速电机操纵装置的电源开关，电机启 动，转速v 400r/min转。6.6.3 开启天然气旋钮，点火应在气源的逆风。缓慢开启空气阀门，对 火焰进行初步调剂。对火焰进行调剂时，最前和最后前两个工位温度稍低 一些，缓冲温度的急升急降，减少管子的炸口。6.6.4 待温度升至设定温度后，逐支将封口的管子置于退火炉的传送架 上。6.6.5 待全玻璃太阳能集热管离开退火区后，再逐支取下放在周转小车 内，层与层之间要在管口部位垫好橡胶垫。加垫橡胶垫时应注意加垫位置， 以免烫坏胶垫。6.6.6 关机关电源，关天然气旋钮，关空气开关。6.6.7 产品经自检合格后转下工序。6.7 排气6.7.1 技术要求6.7.1.1复合真空计的显示值：p 3.0X 10-3P&6.7.1.2工艺参数执行工艺卡片中的规定。6.7.2 操作步骤6.7.2.1 打开循环水阀门，同时检查通水状况是否良好，各水管的接头 和阀门有无泄漏。6.5.2.2 开启本机电源总开关， 起动机械泵， 检查机械泵运转是否正常， 然后开启复合真空计电源。6.7.2.3 开扩散泵，预热时刻超过 30分钟后，方可进行排气操作。6.7.2.4 把烘箱升到排气台最高位置，并合上保险架，将上工序转来的管排放在台 面上。6.7.2.5 关闭三通阀和高阀，打开放气阀，对真空管道系统放气，并接 上吹气胶管。然后点燃手灯，把全玻璃太阳能集热管的排气管按次序接到 排气台真空管道的玻璃管上。6.7.2.6 所有排气管接好后，关闭放气阀，打开三通阀，开始对全玻璃 太阳能集热管抽真空。6.7.2.7 预抽 1 分钟以后，用高频火花检漏仪对排气管接口及对接部位 检漏。如果有漏管，关闭三通阀，对系统放气后再进行补漏。6.728检查23次后确认没有漏点，且全玻璃太阳能集热管的夹层内 电火花呈浅色荧光，真空达到7Pa5Pa后关闭三通阀，开高阀抽真空，同 时打开电离计。6 . 7 . 2 . 9打开保险架放下烘箱，打开“温控电源” 、“加热电源”及“真 空报警”开关，开始升温。6.7.2.10真空度高于8X 10-2Pa情形下，将温度升到415士 10C，当保 温达到规定的时刻后，若复合真空计的显示值仍为 3.0X 10-3Pa,可按实际情形适当 延长保温时刻。保温过程中若显现炸管，赶忙关闭高阀，提升烘箱降温w100 C后重新按