微细加工与纳米技术课程项目方案设计目录一、微机械陀螺仪研究背景3（一）概念简介3(二）MEMS陀螺仪研究历史及发展现状3 （三）研究目的4（四）研究方法5 (五）研究意义8二、微机械陀螺仪原理与结构10（一）MEMS陀螺仪基本原理10（二）MEMS陀螺仪分类及结构12三、微机械陀螺仪设计及制造13（一） MEMS陀螺仪设计流程13(二）MEMS陀螺仪工艺方法14（三）MEMS陀螺仪技术难点16四、微机械陀螺仪测试及应用16(一）MEMS陀螺仪测试内容及手段16（二）MEMS陀螺仪数据分析及方法17（三)MEMS陀螺仪应用案例171、一些微机械陀螺仪的典型应用202、微机械陀螺仪在新型鼠标或遥控器中的应用20五、关于微机械陀螺仪发展的思考21六、小结与体会21一、微机械陀螺仪研究背景（一)概念简介微陀螺仪是属于微机械的一种。微机械MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写，即微电子机械系统.微电子机械系统(MEMS）技术是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的 21世纪前沿技术，是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统.微机械陀螺仪属于一种振动式角速率传感器，用于测量旋转速度或旋转角，作为重要的惯性器件，具有质量轻、体积小、成本低、可靠性好、稳定性高、功耗低、精度高、性能优等诸多优点，在工业控制、航空航天、汽车和消费类电子产品等领域中得到广泛的应用。微机械陀螺仪的主要参数微机械陀螺仪的重要参数包括：分辨率(Resolution)、零角速度输出、灵敏度（Sensitivity）和测量范围,这些参数是评判微机械陀螺仪性能的重要标志，同时也决定了该陀螺仪的应用环境。分辨率是指陀螺仪能够检测的最小的角速度，该参数和零角速度输出其实是由陀螺仪的白噪声决定，白噪声一般用/s/Hz来表征，LY530AL的白噪声只有:0.1/s/Hz。这三个参数着重说明该陀螺的内部性能和其抗干扰能力,而对使用者而言，灵敏度更有实际的意义，其单位是mV/s，由此用户可选用适合的ADC来与之匹配。测量范围是指陀螺仪能够测量的最大的角速度，单位是/s，不同的应用对陀螺仪的测量范围有不同的要求。（二）MEMS陀螺仪研究历史及发展现状微机械陀螺的研究始于20世纪80年代，经过几十年的研究国外相关已经比较成熟，众多科研单位及公司如美国Draper实验室、ADI公司、Berkeley大学，德国Daimler Benz公司、Bosch公司,日本Toyota公司，以及土耳其、芬兰等国家4-9，已有商业化产品。我国的MEMS 技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究,国家已经投入巨资用于MEMS陀螺技术的研究.目前主要的科研单位有清华、北大、中科院上海微系统所、复旦大学、哈工大等多家单位1015 ，经过十多年的努力,在基础理论、加工技术和工程应用等方面的研究已取得了明显的进步。但不可否认，与国外差距仍然较大，高性能微机械陀螺少有商业化产品。（三)研究目的微机械MEMS这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术（包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术）相结合的制造工艺，制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。微电子机械系统(MEMS）是近年来发展起来的一种新型多学科交叉的技术，该技术将对未来人类生活产生革命性的影响。它涉及机械、电子、化学、物理、光学、生物、材料等多学科。微机械的尺寸一般都是在厘米级别的，有的甚至已经到了毫米级别。由此可见，微机械的加工以及制造时十分困难的。如今，完全封装过后的微陀螺仪的最小尺寸已经到了1.5mm左右，甚至更小。那么,要加工如此细微的零件，对于机械装备、机械技术以及加工人员的考验是非常大的。而且，不像是传统普通零件加工,可以出现一点点的误差.对于如此之小的微型机械，一旦加工之中出现了一些错误，即使是偏离一微米，对于微陀螺仪来说,都是极大的错误。在这样微细加工过程之中，由于涉及到的尺寸实在是太小了。所以，微机械的加工过程之中，生产人员的技术基本上可以忽略不计.但是，在另一方面,为机械的加工对于生产车间的科技程度、清洁度等等要求就十分之高。微机械的加工最主要的还是要依靠电脑控制的高科技机械来完成，人的作用不过是维护机械，或者是检查进度，发现问题。所以,微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排，在整个生产过程之中都是重中之重.一旦，微陀螺仪的设计与制造过程以及加工工艺的编排出现问题,不管是哪个环节出现了问题,也不管是这个环节多么细微，整个生产情况都会出现严重的问题.如果是设计环节出现了问题，那么整个生产都要被打断,然后重新设计微陀螺仪,重新布置加工过程，重新编排加工工艺。如果是制造过程出现了问题，那么多半是机械质量不达标,或者是机械所处的环境标准不够。同样的，只有购置新的加工机械,或者重新处理加工车间的问题.如果是加工工艺出现了问题,那么就需要重新编排加工工艺。不管是哪一种出现了问题，对于整个生产过程都是一种严重的损失,将会消耗大量的精力去排查检验，中间还会造成大量的财产损失。所以，对于微陀螺仪的研究目的，就是减少生产损失，增加生产成功率，减少生产废品率,保证投资得到良好的回报.(四)研究办法由于微陀螺仪的加工,远远不同于传统机械加工,所以，微陀螺仪的生产设计与制造过程以及加工工艺的编排都与其余的机械生产大大不同。重中之重就是微陀螺仪的设计。传统的陀螺仪主要是利用角动量守恒原理，因此它主要是一个不停转动的物体,它的转轴指向不随承载它的支架的旋转而变化。但是微机械陀螺仪的工作原理不是这样的，因为要用微机械技术在硅片衬底上加工出一个可转动的结构可不是一件容易的事。微机械陀螺仪利用科里奥利力（也叫哥氏力）旋转物体在有径向运动时所受到的切向力。微陀螺仪的原理：微机械陀螺仪利用了哥氏力现象，其原理如图1所示。当图中的物体沿X轴做周期性振动或其他运动时,并且XY坐标系沿Z轴做角速度为z旋转运动，就会在该物体上产生一个沿Y轴方向的哥氏力，其矢量可按下式计算。式中：F(t）是哥氏力,m是该物体的质量，Z是坐标系旋转的角速度,是该物体的矢量速度。微陀螺仪基本上就是利用这个原理制造成的,不同的微陀螺仪，进行感应测算的零件材料和方法是不同的。进行了微陀螺仪设计之后，就需要对微陀螺仪进行验算或者测试，保证微陀螺仪在各种各样需要的环境之下都能可靠运行，同时还能保证足够的感应精度.最主要的是，微陀螺仪要有足够的耐用度，没有足够的耐用度,微陀螺仪就是一个鸡肋。毕竟微陀螺仪实在是太小了，更换的时候肯定十分困难，所以，必须要有足够的耐用度。所以，微陀螺仪的研究方法,基本上可以概括为做实验。利用各种不同的材料和感应方法，首先做出各种不同种类的微陀螺仪,然后在各个不同的环境下进行试验,对他们进行横向比较，一点点的改进，更换材料,保证微陀螺仪的质量不断上升。完成了设计之后，微陀螺仪就进入了加工工艺编排过程。微陀螺仪的加工工艺编排是十分重要的，没有良好的加工工艺,对于微陀螺仪这样的精密仪器，是生产不出来的.微陀螺仪由于是微机械，所以加工使用的机械都是高科技产品,设备昂贵。编排加工工艺的时候，必须要保证完美无缺，否则不但会损失材料,还有可能造成加工机械的破坏损失,这就是大祸事了。微机械加工的时候，对于车间的温度、气压、空气的清洁度、加工人员的防护度都有极高的要求，务必做到严格执行相关标准。否则生产过程之中就会造成极大的损失，以后处理起来也会十分困难.微机械陀螺仪根据驱动与检测方式分为四种：静电驱动，电容检测；电磁驱动，电容检测；电磁驱动，压阻检测；压电驱动，电容检测.其中静电驱动、电容检测的陀螺仪设计最为常见,并已有部分产品已研制成功。就目前已研制成功的微机械陀螺仪来说,其结构有以下两种：音叉式结构，它利刚线振动来产生陀螺效应：双框架结构，它利用角振动来产生陀螺效应。双框架角振动微机械陀螺仪研制较早，虽制作工艺简单，但音义式线振动微机械陀螺仪的灵敏度优于双框架角振动微机械陀螺仪.一个优秀的微陀螺仪,不一定是最实用的微陀螺仪.微陀螺仪的生产，不仅仅是关系到了微陀螺仪的紧密程度，还包括实用程度。未脱落的实用程度包括很多方面：一，成本.成本是机械加工生产过程之中最关键的因素，基本上九成以上的加工手段都是在减少生产成本.不断地降低生产成本是机械加工行业的永恒话题.同样,生产微陀螺仪也必须考虑到生产成本，否则生产出来的微陀螺仪卖不出去，那到时候就亏大了二,生产工艺的复杂程度。生产工艺的复杂程度也关系到了生产成本.不过，我在这里还是要提出来说一下。不同的微陀螺仪,生产的工艺差别也很大，制作的难易程度也就不同。生产工艺简单的微陀螺仪，在生产的时候成功率就会高很多,对于材料的浪费很少,产生的利润也就很高,单位利润对于机械的磨损什么的也就很少。生产工艺复杂的微陀螺仪，成功率也就会相应的减少,产生的利润也就减少，得不偿失。三、微陀螺仪的灵敏度。微陀螺仪的灵敏度是微陀螺仪的最重要的标志之一，也是微陀螺仪的应用范围广阔与否的标志。灵敏度高的微陀螺仪，应用的范围也就越加广泛，在各种高科技产品之中都可以找到一席之地.但是，灵敏度低的微陀螺仪,在有的范围就不能够被应用.微陀螺仪的生产，要考虑到成本，加工的难易程度，灵敏程度.如果是运用在不需要很高的灵敏度的地方，比如说是手机、平板电脑什么的，那么微陀螺仪的制造就不需要很高的成本,灵敏度足够使用就行了。但是在运用到卫星、机器人等等尖端科技上面的时候，就需要足够的灵敏度，这个时候就不要考虑成本了。一句话，按需研究，按需生产。（五）研究意义现如今，微机械已经发展到了一个极高的地位.在各种高科技应用领域之中，微陀螺仪都能够找到自己的位置。所以微陀螺仪的设计研究已经到了一个极度渴求的地步了！微陀螺仪的研究也是历史潮流的推动、社会物质的需求所造成的。首先，陀螺仪的发展历史如下：陀螺的原意为高速旋转的刚体,而现在一般将能够测量相对惯性空间的角速度和角位移的装置称为陀螺.陀螺是一种即使无外界参考信号也能探测出运载体本身姿态和状态变化的内部传感器，其功能是敏感运动体的角度、角速度和角加速度。陀螺仪有两大特性,即定轴性和进动性.利用这两个特性就可在导弹等运载器的飞行过程中建立不变的基准,从而测量出运动体的姿态角和角速度。同时由加速度计测出其线加速度，经过必要的积分运算和坐标变换,确定弹(箭）相对于基准坐标系的瞬时速度和位置。也就是说,可以利用陀螺的特性建立一个相对惯性空间的人工参考坐标系，通过陀螺仪和加速度计测出运载器(包括火箭、导弹、潜艇、远程飞机、宇航飞行器等)的旋转运动和直线运动信号，经计算机综合计算,并指令姿态控制系统和推进系统