多晶硅还原炉内的八大反应钟罩式多晶硅还原炉内各反应主要有以下8种：SiHC13+H2=Si+3HClf(1050-1100C)2SiHCl3=Si+2HClf+SiCl4(热分解)SiHC13=SiH2Cl2+HClf(900-1000C)Si+2HCl=SiH2C12(1200C或低温腐蚀)(5) SiHC13=SiH2C12+SiC14(Si+SiC14=SiC12)(6) SiC14+2H2=Si+4HClf(高温下)4SiHC13=Si+2H2f+3SiC14(热分解)Si+4HCl=2H2f+SiC14(腐蚀)(1)(2)为主要的，其余的为次要的。但温度超过规定值或者低于规定值，其他的几个反应就要多起来了，影响沉积速率，甚至产品质量。所以，多晶硅生产中，对还原炉内的温度控制相当严格的，是专门有一套系统来控制的。