硫化物纳米薄膜的制备、图案及性能研究 学校代号：10731 学 号：082081702006 密 级：公开 兰州理工大学硕士学位论文 硫化物纳米薄膜的制备、图案化及性能研究 墙差篁僮! 兰翅堡王太堂 迨窒握童旦翘! 窒Q!生笸旦!三日 诠塞筌趱旦翅! 垒Q!生笸旦!旦 筌辩委虽金圭度； 趟盔杰亟玺亟 lUlI I II IIIII II Il I l Ul Y1885662 Fabricationand ofsulfidethin the films，and properties patterned thin films by 匝NGXu BE JiangsuPolytechnic University 2008 Athesis in submitted satisfactionofthe partial for the of Requirementsdegree Masterof Management Chemical Techn01”y inthe GraduateSchool of Lanzhou of UniversityTechnology Supervisor Professor Yang Baoping May,2011 兰州理工大学学位论文原创性声明和使用授权说明 原创性声明 本人郑重声明：所呈交的论文是本人在导师的指导下独立进行研究所 取得的研究成果。除了文中特别加以标注引用的内容外，本论文不包含任 何其他个人或集体已经发表或撰写的成果作品。对本文的研究做出重要贡 献的个人和集体，均已在文中以明确方式标明。本人完全意识到本声明的 法律后果由本人承担。 作者签名：岛他 日期：加ff年 月f弓日 学位论文版权使用授权书 本学位论文作者完全了解学校有关保留、使用学位论文的规定，即： 学校有权保留并向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版，允许 论文被查阅和借阅。本人授权兰州理工大学可以将本学位论文的全部或部 分内容编入有关数据库进行检索，可以采用影印、缩印或扫描等复制手段 保存和汇编本学位论文。同时授权中国科学技术信息研究所将本学位论文 收录到中国学位论文全文数据库，并通过网络向社会公众提供信息服 务。 日期：为I年 月哆日 日期：1,e11年月D日 硕士学位论文 目录 摘 要I AbstractII 第一章 绪论1 11引言1 12硫化物的基本性质一l 13硫化物薄膜的制备方法2 131物理方法2 132化学方法一3 14图案化硫化物纳米薄膜的制备技术5 141图案化技术一6 142图案化硫化物纳米薄膜的制备6 15选题依据与研究内容一7 参考文献8 第二章CdS纳米薄膜的制备13 21引言13 22实验部分13 221试剂与材料一13 222基底的预处理14 223 CdS纳米薄膜的制备14 224表征14 23结果与讨论14 231CdS纳米薄膜沉积的影响因素14 232 CdS纳米薄膜的XRD分析17 233沉积机理探讨18 234 CdS纳米薄膜光学、光电性能表征18 24本章小结20 参考文献20 第三章 CdS纳米薄膜的图案化一22 31引言22 32实验部分一23 321试剂与材料23 322基底的预处理23 323OTS SAMs的组装及图案化23 324 CdS纳米图案化薄膜的制备23 能研究 24 24 24 25 333 CdS纳米图案化薄膜的光学性能一27 334 CdS纳米图案化薄膜的光电性能28 335 CdS纳米图案化薄膜的电学性能29 34本章小结30 参考文献30 第四章In2S3纳米薄膜的制备一34 41引言34 42实验部分