目录中文摘要.1英文摘要.21 绪论.3 1.1螺杆真空泵介绍.3 1.2国内外发展状况.32 螺杆泵的设计与计算.5 2.1转子型线选择.5 2.2电机及联轴器的选择.10 2.3螺杆几何参数的计算.12 2.4传动齿轮设计.13 2.5阳转子阶梯轴设计.15 2.6轴承选择.162.7机械密封结构设计.192.8进气口及排气口设计.20 2.9泵腔结构设计.202.10吸气端盖结构设计.21 2.11排气端盖结构设计.223 Pro/E三维建模及干涉分析.23 3.1螺杆转子建模.23 3.2螺杆泵三维装配.243.3螺杆转子运动仿真及干涉分析.254 ADAMS转子动平衡分析及优化.26结论.29致谢.30参考文献.31LG-70干式螺杆真空泵设计摘 要：本文设计了一种单头等螺距凹齿面干式螺杆真空泵。根据螺杆啮合原理，采用内凹齿面型线的转子，有效地解决了螺杆泵运行过程中转子之间发生齿面干涉的问题，同时也实现了完全密封，最大限度地降低了吸气腔前后级之间的泄漏。使用弹性套柱销联轴器，在缓冲减震的同时提高电机轴与螺杆的对中性。在排气端盖和泵腔之间采用机械密封，防止了排气端盖中的润滑油进入到泵腔中而污染真空环境。为了降低泵排气口温度，在泵腔上改善冷却水通道的同时也在其临近排气端的一侧开设冷却气体通道，从而达到双重冷却效果。最后利用三维软件对本次设计结构进行整体建模并检查干涉，在分析软件中对单个转子进行动平衡分析，经过反复修改模型，在泵的降噪减震方面取得优化，缩短了实际中产品的生产周期。关键字：干式螺杆真空泵；凹齿面型线；机械密封；双重冷却；动平衡分析Abstract: This article designed a kind of single thread and fixed pitch screw vacuum pump. Based on principle of screw meshing, concave tooth surface profile of the rotor is used. It can effectively remove the interference between the tooth surface of the two rotors when they are working. Also it can actualize to airproof completely so that the leakage between two stages of the pump is reduced farthest. Due to pin coupling with elastic sleeves is used, the shock absorption and the centering between the rotor and the motor shaft are both improved. At the same time, mechanical seal is used for preventing the oil which is in the exhaust end cap to enter into the vacuum environment. In order to reduce the temperature of the gas in the exhaust port, cooling gas passage near the discharge end side of the pump chamber is opened while improving cooling water passage on the pump chamber, so as to achieve a double cooling effect. Finally, through using the three-dimensional software, the overall model for this design of the structure is got, and it is checked for the interference. By using the analysis software, the dynamic balance analysis on the single rotor is done，after repeatedly modify the model, the noise damping achieved optimization, and reducing the production cycle in actual products.Keywords: dry screw vacuum pump; concave tooth profile; mechanical seal; double cooling; dynamic balance analysis1 绪论1.1 螺杆真空泵简介螺杆真空泵能够进行抽排气的原理是其通过一对螺杆转子在泵腔中进行同步反向高速旋转，将气体从进气口输送到排气口。因此在螺杆真空泵中，转子的作用就显得尤为重要。通常螺杆泵在进行装配时都要经过转子的动平衡校正后再装进泵腔中，且其两端由轴承来支撑。转配时转子与转子之间要预留一定的间隙，使在泵运转过程中既不会发生干涉也不会有过大的泄漏,也正如此所以螺杆泵在运转平稳，保证真空环境清洁方面相较于油封式真空泵有很大的优势。泵的整体性能、运行的平稳及制造成本是直接由螺杆转子型线决定的。其中单头等螺距梯形内凹型线为最常用的型线之一，其拥有优秀地综合性能，良好的密封性能以及较大的容积利用系数，并且有效地解决了转子的齿面干涉问题1。美国、德国、日本、中国台湾都是较早对螺杆真空泵进行研制工作的国家和地区，其研究的最初是为了将螺杆真空泵应用于液晶显示器制造业和半导体工业。而现在，干式螺杆真空泵已经广泛应用于核能、电子、医药、化工、食品工业等领域。在核工业中用于核工业及核反应堆的真空获得；在半导体工业中可用于制造液晶显示器、生产芯片、蚀刻、生产PLASMA的CVD制程；在医药工业中用于回收药液及药物中间体，为人造器官生产提供清洁无菌条件，回收气体消毒剂；在化工上用于溶剂萃取及真空蒸馏以高效回收溶剂，在肪酸生产中用于消除水污染，清除喷射器中的阻塞物；在食品工业中用于香精、香料浓缩、食品包装等2。1.2 国内外发展状况在国外有很多关于螺杆真空泵的研究，例如日本T.Ohbayashi 等人通过对螺杆泵的抽速、漏率及流量的分析找出对应的平衡点，以此确立一种预先评估螺杆真空泵性能的方法3。日本DIAVAC公司开拓了增压螺杆真空泵的应用前景。英国Rietschle 有限公司根据螺杆压缩机原理设计出了一种双螺杆干式真空泵，采用了许多新技术，并已用于批量生产。2002年美国Tuthill 真空设备有限公司推出一款用于气体处理的新型干式螺杆真空泵，该型号螺杆泵采用了可变啮合设计，相比与其他种类的真空泵降低约为30%耗能。2003年普旭的无油螺杆真空泵系列通过了应用材料公司在美国实验室的测试。之后于2004普旭年推出了表面经过特别强化的螺杆真空泵4。在国外，对螺杆干式真空泵的生产有很多家厂商，如德国的莱宝和普旭公司、Sterling公司、英国Rietschle Thomas 公司、爱德华公司等，其所生产的螺杆泵已大量投放市场，并广泛用于电子半导体，中央空调，医药，石油化工等各种行业。国内从事干式螺杆真空泵研究的有南通威特真空设备有限公司，东北大学，长沙鼓风机厂等单位，这些单位都对干式螺杆真空泵进行过研究,但均未投入规模生产中。由于各国都对自己的螺杆泵技术保密，我国在螺杆泵的设计方面依然有很多技术难题没有解决。在实际的螺杆泵加工制造上，依然局限于我国的生产设备落后及加工条件不满足要求，生产的螺杆泵精度不高 。本文的目的为对螺杆真空泵的整体进行设计，实现螺杆泵各个零件的优化选择，改进目前市场上国产螺杆泵存在的一些不足，例如噪声大、振动大等。提高泵性能的同时节约成本，扩大国产螺杆真空泵在国内市场所占份额。2 螺杆泵的设计与计算2.1 转子型线选择 2.1.1 转子型线要素(1)型线方程转子型线方程为一定的坐标系中，转子各点坐标的数学表达式。对于多齿型线，其又分为螺旋齿面和端面型线，转子轴线垂直面与转子齿面的截交线称为转子端面型线，且端面型线作螺旋运动就会形成螺旋齿面。而单齿型线一般情况下直接给出齿面方程。(2)面积利用系数转子型线的面积