ESD各项测试验证作业指导书(SOP) 1.目的建立公司内部各项静电防护项目的测试规范，统一防静电测试方法与判定标准。 2.范围适用于本公司静电防护项目的检测，如接地系统、防静电地板（地垫）、防静电工作台（桌垫）、周转箱、包装袋、防静电手环、人体静电防护用品、离子风机、烙铁等辅助工具。 3.内容3.1静电手环3.1.1测试仪器静电手环测试仪3.1.2测试方法图1-1静电手环测试示意图3.1.2.1来料检验时进行抽样测试，并记录于静电手环测试记录表。 3.1.2.2静电手环由IQC进行抽样测试。 3.1.2.3必须将腕带扣反面金属接触到手腕时，才能进行测试。 3.1.2.4测试时，腕带扣住一只手，另一端香蕉头插入测试器上的测试端子。 3.1.2.5测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示，如图1-1?绿灯GOOD亮OK，且BUZZER长鸣。 ?黄灯LOW、红灯HIGH亮失败，BUZZER无声（需更换腕带或腕带线再测试）。 3.1.2.6且于测试中增加摆动手腕的动作，以确认是否有接触不良。 3.1.2.7测试中若发生有两个灯号同时亮时（绿、黄灯亮或绿、红灯亮），应更换新品或其他良品腕带（腕带或腕带线）再测。 （a）若灯号显示正常，则确认腕带部份不良应更换。 （b）若灯号依然显示两个灯亮，或者时好时坏，判定可能测试器为不良品，应立即通知组长处理，将该测试器重新校验或送修。 3.1.3测量频率来料检验（抽样）3.1.4记录表单静电手环测试记录表QC-BD-074静电手环测试仪黄灯、红灯亮亮NG亮绿灯亮OK3.2人体综合电阻测量3.2.1测试仪器人体综合电阻测试仪3.2.2操作方法3.2.2.1作业员需标准着装（静电帽、静电衣、静电鞋、静电手环等）（如图1-2）后，站立于人体综合测试仪上。 说明头发压入防静电帽中；静电衣袖子不允许挽起；穿静电鞋时，光脚或穿纯棉袜，保证导通性。 如果工作岗位要戴防静电手套或者手指套的，也需穿戴完整。 图1-2着装与测试示意图3.2.2.2选择需要测试的项目（WRIST、FOOT、WRIST&FOOT）（如图1-3）,将开关打到对应的位置，然后再按下测试仪上按钮，仪器上三个显示灯为绿色“PASS”后,将结果记录在人体综合电阻记录表后，方可进入EPA区开始作业。 图1-3测试项目按键示意图3.2.3说明3.2.3.1每日上午、下午、加班前进行测试，测试结果记录在人体综合电阻测试记录表中。 3.2.3.3必须由使用者本人测试并记录，不得交由他人代测或代填。 3.2.3.4测试者用手指按下导通器上金属键，看导通器上灯号显示（如果有戴防静电手套或手指套，需使用戴手套或手指套的手按下金属键）?绿灯“PASS”灯亮OK。 ?黄灯“LOW”、红灯“HIGH”灯亮NG。 测试结果NG，应立即通知组长处理。 3.2.4测量频率每日2-3次（上午、下午、加班）WRIST:静电手环FOOT:静电鞋WRIST&FOOT静电鞋&手环3.2.5记录表单人体综合电阻测试记录表PD-BD-0433.2.6合格标准750K1.0*1083.3防静电衣3.3.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）图1-4重锤式电极、数显兆欧表组件3.3.2防静电衣袖对袖、点对点电阻测试步骤3.3.2.1将两重锤式电极通过配备的连接线连接到数显兆欧表上，如图1-5；3.3.2.2将被测的防静电衣平铺在一块面积足够大的绝缘台面上，确保无重叠部分；3.3.2.3袖对袖测试将两个电极分别放在衣服的两个袖子上，如图1-6；点对点测试将一个电极放在袖子上，另一个电极放置在衣服的任意一个点上，如图1-73.3.2.4选取数显兆欧表的100V量程进行测试，如图1-8；3.3.2.5按下数显兆欧表测试按钮，等待数显兆欧表读数显示。 并记录在防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表中。 图1-5数显兆欧表与重锤式电极连接示意图兆欧表图1-6袖对袖电阻测试示意图图1-7点对点电阻测试示意图图1-8数显兆欧表量程选择3.3.3注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭； (2)当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的3.5毫米插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态； (3)使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。 3.3.4测量频率来料检验（抽样）、发放使用前及每半年一次（全检）3.3.5记录表单防静电衣/静电帽/静电鞋电阻测试记录表EN-BD-0933.3.6合格标准1*10113.4防静电工作表面（台）和固定货架3.4.1防静电桌垫表面电阻测试3.4.1.1测试仪器EFM-022静电场测试仪，如图1-9数显兆欧表，如图1-10测量防静电衣袖对袖电阻时，需将档位调至100V处图1-9数显兆欧表图1-10EFM-022静电场测试仪3.4.1.2测试步骤:将测试器开启后放置防静电桌垫上(上层绿色部分)，测量点选择磨损最严重以及经常被使用的较易受磨损的地方进行测试，并观察防静电桌垫静电耗散部分材质的表面电阻是否符合规定值1*1093.4.1.3说明 (1)量测原则当静电桌垫在工作使用中有静电安全顾虑时须依规定测试。 (2)其他防静电材料的表面电阻测量方法与防静电桌垫相同，判定指标如规范中表五。 3.4.1.4量测频率来料检验、每季度一次3.4.1.5记录表单电阻测试记录表EN-BD-084。 3.4.1.6合格标准1*1093.4.2防静电工作桌、货架对地电阻测试3.4.2.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表3.4.2.2测试步骤(a)如果工作表面（台）上有导电材料和交流电源的设备，而这些设备有与工作表面（台）相互独立的接地途径，那么在测试时，保持导电材料和交流电源设备的接地状态不变；(b)将一条联机的一端插入数显兆欧表右上角的插孔中，另一端与一个重锤式电极相联，并将电极放在防静电工作表面（台）的中间位置，如图1-11。 另外一条联机的一端插入数显兆欧表右上角插孔中，另一端接上鳄鱼夹，夹到防静电工作表面（台）的接地点上；图1-11防静电桌垫对地电阻测试示意图(c)将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；图1-12数显兆欧表档位示意图(d)按下测量按钮直至电阻（单位为）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-13；图1-13读值示意图测量时，首先将兆欧表拨到10V檔位另一条联机连接兆欧表和ESD接地线一条联机连接兆欧表和重锤式电极重锤式电极放置在被测工作台面中央按下测试按钮约5-10秒钟。 温度显示湿度显示表面电阻显示如果显示值1106ohms，将兆欧表调节至100V档位，重新测量(e)如果显示的电阻等于或大于1*106，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1-13；3.4.2.3注意事项1为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭；2当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态；3使用外置重锤式电极测量时，尽管仪器屏幕显示单位为ohms/m2，但实际单位应为“ohms”。 4如果货架为金属材质，且本身有牢固接地，那么其上铺的防静电桌垫绿色层如能与货架金属表面接触良好，形成二级接地以释放静电荷，则防静电桌垫不需另外接上接地扣，也不需测量表面地阻和对地电阻等两个项目，但需要确认货架的接地导通，测试方法和记录见本文章节3.7。 3.4.2.4测量频率来料检验、每季度一次3.4.2.5记录表单电阻测试记录表EN-BD-0843.4.2.6合格标准1*1093.5周转车（推车、rack架等移动设备）3.5.1表面电阻测试3.5.1.1与防静电工作台表面的电阻测试方法、标准相同，请参考本文3.4章节进行测试并将结果记录在电阻测试记录表中。 3.5.2对地电阻测试3.5.2.1目的验证周转车接地系统（通过导电车轮或接地链和防静电地板接触泄放静电的周转车）的对地电阻是否在规定范围内，是否符合ESD防护要求。 注通过接地扣和接地线（非使用接地链通过防静电地板接地的周转车）的周转车对地电阻测试与货架、工作台的要求相同，具体测试参照本文“章节3.4防静电工作表面（台）和固定货架”。 3.5.2.2测试仪器重锤式电极、数显兆欧表、金属板3.5.2.3测试步骤(a)将周转车放置在防静电地板上；(b)移除周转车上所有ESD敏感元器件；(c)将数显兆欧表分别与两个重锤式电极相联，如果是多层手推车或RACK架，将其中一个电极放在最上层中间位置；另一个电极放在金属板上（金属板压在推车其中一个轮子下面）如图1-14；(d)层与层电阻使用表面电阻测试仪测试，测试方法为将两个电极分别放置在推车或货架上的第一层和第二层，连接电极与测试仪主机上的导线，开机读数，读数在小于1x106即为合格。 第一层到第三层之层间电阻依照同样的方法测试?注意所有使用接地链通过防静电地板接地的周转车，均需使用焊接或铆接方式保证接地链牢固，并保持台车接地链清洁，以确保接地导通效果良好。 图1-14多层手推车、RACK架测试示意图(e)将数显兆欧表拨到10V档位，如图1-12；(f)按下测量按钮直至电阻（单位为）、相对湿度、温度值显示在显示屏上，如图1-14；(g)如果显示的电阻等于或大于1*106，将数显兆欧表调节至100V档位，重新测量，如图1-13。 3.5.2.4注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注意测试过程中不要触碰探头、引线和被测物体，不要使两条引线交迭。 (2)当联机一端的香蕉头插入数显兆欧表右上角的插孔中时，数显兆欧表背面的平行电极处于失效状态； (3)当发现台车接地线遗失或断裂时，应停止使用该台车。 待修复完成后才可使用。 (4)有防静电地板处如果台车为金属，均需在台车底层加金属链拖地，与大地接地导通。 如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣并接金属链拖地，与大地接地导通。 接地链与地面接触部分长度需58cm，需打磨接线处后，采取焊接或铆接方式，确保导通性。 无防静电地板处如果台车为金属，增加接地线与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。 如果台车为木质或其他非导体材质，则需将台车上静电皮连上接地扣与防静电接地系统支线相连接，确保接地良好。 (5)无论台车为金属还是木质材质，如在台车上操作和存放静电敏感对象时，该台车需铺设防静电桌垫，并接地（与加金属链不同）。 3.5.2.5测量频率来料检验、每季度一次3.5.2.6记录表单电阻测试记录表EN-BD-0843.5.2.7合格标准1*1093.6防静电地板3.6.1表面电阻测试3.6.1.1测试仪器重锤式电极、数显兆欧表（如图1-4）3.6.1.2操作说明a.将重锤式数显兆欧表的两个电极放置于静电地板上（如图1-15），按下测试按钮，读取数显兆欧表上读值。 b.每500平方米至少取5个测试点，且需涵盖磨损严重、经常使用处，观察测试值是否符合规定值1*109。 若测试值等于或大于1*109代表超出规格外，请立即通知领班或ESD协调人员处理。 图1-15防静电地板表面电阻测试示意图3.6.1.3注意事项 (1)为保证测量结果的精确度，注