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半导体无尘室安全工作规范08月08日 一、无尘室须知1. 进入无尘室前,必要知会管理人,并通过基本训练。2. 进入无尘室禁止吸烟,吃(饮)食,外来杂物(如报章,杂志,铅笔.等)不可携入,并禁止嘻闹奔跑及团聚谈天。3. 进入无尘室前,需在规定之处所脱鞋,将鞋置于鞋柜内,外衣置于衣柜内,私人物品置于私人柜内,柜内不可放置食物。4. 进入无尘室须先在更衣室,将口罩,无尘帽,无尘衣以及鞋套按规定依程序穿戴整洁,再经空气洗尘室洗尘,并踩踏除尘地毯(洗尘室地板上)方得进入。5. 戴口罩时,应将口罩戴在鼻子之上,以将口鼻孔盖住为原则,以免呼吸时污染芯片。6. 穿著无尘衣,无尘帽前应先整顿服装以及头发,以免着上无尘衣后,不得整顿又感不适。7. 整肃仪容后,先戴无尘帽,无尘帽穿戴原则系:(1)头发必要完全覆盖在帽内,不得外露。(2)无尘帽之下摆要平散于两肩之上,穿上工作衣后,方不致下挣脱出,裸露肩颈部。8. 无尘帽戴妥后,再着无尘衣,无尘衣应尺吋合宜,才不致有裤管或衣袖太短而裸露皮肤之虞,穿衣时应注意帽之下摆应保平整之状态,无尘衣不可反穿。9. 穿著无尘衣后,才着鞋套,拉上鞋套并将鞋套整平,的确盖在裤管之上。10. 戴手套时应避免以光手碰触手套之手掌及指尖处(防止钠离子污染),戴上手套后,应将手套之手腕置于衣袖内,以隔绝污染源。11. 无尘衣着妥后,经洗尘,并踩踏除尘毯,方得进入无尘室。12. 无论进入或离开无尘室,须按规定在更衣室脱无尘衣,不可在其他区域为之,尤不可在无尘室内边走边脱。13. 无尘衣,鞋套等,应定期清洗,有破损,脱线时,应即换新。14. 脱下无尘衣时,其顺序与穿著时相反。15. 脱下之无尘衣应吊好,并放于更衣室内上层柜子中;鞋套应放置于吊好无尘衣下方。16. 更衣室内小柜中,除了放置无尘衣等规定物品外,不得放置其他物品。17. 除规定纸张及物品外,其他物品一概不得携入无尘室。18. 无尘衣等不得携出无尘室,用毕放置于规定处所。19. 口罩与手套可视状况自行保管或重复使用。20. 任何东西进入无尘室,必要用洒精擦拭干净。21. 任何设备进入,请知会管理人,在无尘室外擦拭干净,方可进入。22. 未通过考核之仪器,禁止使用,若遇紧急状况,得依紧急解决环节作恰当解决,例如关闭水、电、气体等开关。23. 无尘室内绝对不可动火,以免发生意外。二、无尘室操作须知1. 解决芯片时,必要戴上无纤维手套,使用清洗过干净镊子挟持芯片,请勿以手指或其他任何东西接触芯片,遭碰触污染过芯片须经清洗,方得继续使用:(1) 任何一支镊子前端(即挟持芯片端)如被碰触过,或是镊子掉落地上,必要拿去清洗请勿用纸巾或布擦拭脏镊子。(2) 芯片清洗后进行下一程序前,若被手指碰触过,必要重新清洗。(3) 把芯片放置于石英舟上,准备进炉管时,若发现所用镊子有污损现象或芯片上有显眼由镊子所引起污染,必要将芯片重新清洗,并及时更换干净镊子使用。2. 芯片必要放置盒中,盖起来存储于规定位置,尽量不让它暴露。3. 避免在芯片上谈话,以防止唾液溅于芯片上,在芯片进扩散炉前,请特别注意,防止上述动作产生,若芯片上沾有纤维屑时,用氮气枪喷之。4. 从铁弗龙(Teflon)晶舟,石英舟(Quartz Boat)等载具(Carrier)上,取出芯片时,必要垂直向上挟起,避免刮伤芯片,显微镜镜头确已离芯片,方可从吸座上移走芯片。5. 芯片上,若已长上氧化层,在送黄光室前切勿用钻石刀在芯片上刻记。6. 操作时,无论与否戴上手套,手绝不能放进清洗水槽。7. 使用化学站或烤箱解决芯片时,务必将芯片置放于铁弗龙晶舟内,不可使用塑料盒。8. 摆置芯片于石英舟时,若芯片掉落地上或手中则必要重新清洗芯片,然后再进氧化炉。9. 请勿触摸芯片盒内部,如被碰触或有碎芯片污染,必要重作清洗。10. 手套,废纸及其他杂碎东西,请勿留置于操作台,手套若烧焦、磨破或纤维质变多必要换新。11. 非经批示,绝不可启动不熟悉仪器及各种开关阀控制钮或把手。12. 奇怪味道或反映异常溶液,颜色,声响等请即告知有关人员。13. 仪器因操作错误而有任何损坏时,务必立即告知负责人员或教师。14. 芯片盒进出无尘室须保持干净,并以保鲜膜封装,违者不得进入。15. 无尘室内一律使用原子笔及无尘笔记本做记录,普通纸张与铅笔不得携入。三、黄光区操作须知1. 湿度及温度会影响对准工作,在黄光区应注意温度及湿度,并应减少对准机附近人,以减少湿、温度变化。2. 上妥光阻尚未曝光完毕之芯片,不得携出黄光区以免感光。3. 己上妥光阻,而在等待对准曝光之芯片,应放置于不透明之蓝黑色晶盒之内, 盒盖必要盖妥。4. 光罩使用时应持取边沿,不得触及光罩面,任何状况之下,光罩铬膜不得与她物接触,以防刮伤,光罩之落尘可以氮气枪吹之。5. 曝光时,应避免用眼睛直视曝光机汞灯。四、镊子使用须知1. 进入实验室后,应先戴上手套后,再取镊子,以免沾污。2. 唯有使用干净镊子,才可持取芯片,镊子一旦掉在地上或被手触碰,或因其他因素而遭污染,必要拿去清洗,方可再使用。3. 镊子使用后,应放于各站规定处,不可任意放置,如有特殊制程用镊子,使用后应自行保管,不可和实验室内各站之镊子混合使用。4. 持镊子应采握笔式姿势挟取芯片。5. 挟取芯片时,顺序应由后向前挟取,放回芯片时,则由前向后放回,以免刮伤芯片表面。6. 挟取芯片时,短边 (锯状头)置于芯片正面,长边 (平头)置于芯片背面,挟芯片空白某些,不可伤及芯片。7. 禁止将镊子接触酸槽或D.I Water水槽中。8. 镊子仅可做为挟取芯片用,不准做其他用途。五、化学药物使用须知1. 化学药物进出须登记,并知会管理人,并附上物质安全资料表(MSDS)于实验室门口。2. 使用化学药物前,请详读物质安全资料表(MSDS),并告知管理人。3. 换酸前必先穿著防酸塑料裙,戴上防酸长袖手套,头戴护镜,脚着塑料防酸鞋,始可进行换酸工作。4. 不得任意打开酸瓶盖子,使用后及时锁紧盖子。5. 稀释酸液时,千万记得加酸于水,绝不可加水于酸。6. 勿尝任何化学药物或以嗅觉来拟定容器内之药物。7. 不明容器内为什么种药物时,切勿摇动或倒置该容器。8. 所有化学药物之作业均须在通风良好或排气之处为之。9. 操作各项酸液时须详读各操作规范。10. 酸类可与碱类共同存于有抽风设备储柜,但绝不可与有机溶剂存储在一起。11. 废酸请放入废酸桶,不可任意倾倒,更不可与有机溶液混合。12. 废弃有机溶液置放入有机废液桶内,不可任意倾倒或倒入废酸桶内。13. 勿任意更换容器内溶液。14. 欲自行携入之溶液请事先告知经允许后方可携入,如果欲自行携入之溶液具备危险性时,必要经评估后方可携入,并请于容器上清晰标明容器内容物及保存期限。15. 废液解决:废液分酸、碱、氢氟酸、有机、等,分开解决并登记,回收桶标示清晰,废液桶内含氢氟酸等酸碱,绝对不可用手触碰。16. 漏水或漏酸解决:漏水或漏酸时,为保证安全,绝对不可用手触碰,先将电源总开关与有关阀门关闭,再以无尘布或酸碱吸附器解决之,并报备管理人。六、化学工作站操作1. 操作时须依规定,戴上橡皮手套及口罩。2. 不可将塑料盒放入酸槽或清洗槽中。3. 添加任何溶液前,务必事先确认容器内溶剂方可添加。4. 在化学工作站工作时应养成良好工作姿势,上身应避免前倾至化学槽及清洗槽之上方,一方面可防止危险发生,另一方面亦减少污染机会。5. 化学站不操作时,有盖者应随时将盖盖妥,清洗水槽之水开关关上。6. 化学药物溅到衣服、皮肤、脸部、眼睛时,应即用水冲洗溅伤部位15分钟以 上,且必要皮肤颜色恢复正常为止,并立即安排急救解决。7. 化学品外泄时应迅速反映,并做恰当解决,若有需要撤离时应依批示撤离。8. 各化学工作站上使用之橡皮手套,避免触碰各机台及工作台,及其他器具等物,普通操作请戴无尘手套。七、RCA Method1. DI Water 5min2. H2SO4:H2O2=3:1 煮1020min 7585,去金属、有机、油3. DI Water 5min4. HF:H2O 1030sec,去自然氧化层(Native Oxide)5. DI Water 5min6. NH4OH:H2O2;H2O=1:1:5 煮1020min 7585,去金属有机7. DI Water 5min8. HCl:H2O2:H2O=1:1:6 煮1020min 7585 去离子9. DI Water 5min10. Spin Dry八、清洗注意事项1. 有水则先倒水H2O2最后倒数字比为体积比。2. 有机与酸碱绝对不可混合操作平台也务必分开使用。3. 酸碱溶液等冷却后倒入回收槽并以DI Water冲玻璃杯5 min。4. 酸碱空瓶以水清洗后并依塑料瓶玻璃瓶分开置于室外回收筒。5. 氢氟酸会腐蚀骨头若遇到及时用葡萄酸钙加水涂抹,再用清水冲洗干净,并就医。遇到其他酸碱则及时以DI Water大量冲洗。6. 清洗后之Wafer尽量放在DI Water中避免污染。7. 简易清洗环节为1-2-9-10;清洗SiO2环节为1-2-10;清洗Al以HCl:H2O=1:1。8. 去除正光阻环节为1-2-10,或浸入ACE中以超音波振荡。9. 每个玻璃杯或槽均有特定要装溶液蚀刻、清洗、电镀、有机绝不能混合。10. 废液回收分酸、碱、氢氟酸、电镀、有机五种,分开回收并记录,倾倒前先检查废弃物兼容性表,拟定无误再倾倒。 无尘室系统使用操作办法1. 一方面打开控制器面板上【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关。注意: 温度控制器及湿度控制器可由黄色钮调节,普通温度控制为20 DB ,湿度控制为50% RH。 左侧控制器面板上电压切换开关为【RU】,电流切换开关为【T】。右侧控制器面板上电压切换开关为【RS】,电流切换开关为【OFF】。2. 将箱型空气调节机送风关关打开,等送风稳定后再将冷气暖气开关打开,此时红色灯会亮起,表达正常运作。注意: 冷气起动顺序为压缩机【NO.2】。 温度调节为指针指向红色暖气【5】。 分流开关AIR VALVE 为【ON】。3. 无尘室使用完毕后,要先将箱型空气调节机关闭,按【停止】键即可。4. 再将控制器面板上【电热运转】、【加压风车运转】、【浴尘室运转】、【排气风车运转】等开关依序关闭。气体钢瓶使用操作办法1. 用把手逆时针打开气体钢瓶究竟,将【OUTLET】打开PURGE关闭。2. 由黑色转钮调节气体钢瓶压力(psi),顺时针方向为增长,逆时针方向为减少。3. 将N2钢瓶调节为40psi(黄光室内为20psi),AIR钢瓶调节为80psi(黄光室内为60psi)。4. 气体钢瓶使用完毕后,用把手顺时针关闭气体钢瓶究竟,将【OUTLET】关闭【PURGE】打开将管路内气体排出后将【PURGE】关闭。 纯水系统使用操作办法
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