安徽嘉硕真空科技有限公司 JSD-300型真空镀膜机使用说明书安徽嘉硕真空科技有限公司目 录1、概述32、主要技术性能参数33、设备安装.54、操作规程.55、使用注意事项、维护与保养.76、设备主要配置.87、技术资料清单9一、概述JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。二、主要技术性能参数1. 真空室：300*H450mm；2. 基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）；3. 最大可镀工件直径：120mm；4. 极限真空度：1X10-4Pa;5. 抽气时间：大气压8*10-3Pa小于20min；6. 蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW；7. 开启方式：上翻盖结构；8. 真空系统：机械泵+分子泵；设备结构介绍：1. 真空室钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等；2. 真空系统采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；3. 电气系统电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。系统示意图如下所示：备用接口步进电机膜厚仪探头电机控制器地脚脚轮温控仪表加热温控电源封板分子泵电源观察窗挡板电流表调节旋纽前门板插板阀预抽阀门观察窗总开关电离单元真空室陶封电极电阻单元真空计膜厚仪蒸发开关电控面板图1 JSD-300真空镀膜机示意图三、设备安装3.1、机架平面尺寸：L1200W700mm。3.2 、配套设施准备 设备安装前，客户应提供如下条件：3.2.1 整机配电要求安装位置附近应有易得的电源插座；供电：交流220V，8KW。3.2.2 联接地线要求本设备必须进行良好接地。使用前，需将设备与安装场地内的地线进行有效连接。3.2.3 冷却水安装设备使用时，须对分子泵、电极等进行冷却。设备使用前，先接通冷却水。四、 操作规程4.1 开机准备工作4.1.1 总供电检测：用万用表测量用户端的电压是否正常，若为三相，检测三相是否正常，零线及地线是否有效；4.1.2 冷却水检测：将设备的冷却水接通后打开冷却水阀门，为设备供水，观察出水口是否有水流出，保证各水路畅通。4.1.3 电气检查：检查总供电电源配线是否完好，地线是否接好，所有仪表电源开关全部处于关闭状态。4.1.4 真空系统检测：检查分子泵、机械泵油是否达到使用要求。检查所有手动阀门是否处在关闭状态（注意，本设备中所使用的手动阀门，顺时针方向为关，逆时针为开）。确定真空室已经处在抽真空的准备状态。4.1.5 镀材安装：本设备的配置二组蒸发电极，蒸镀前在蒸发舟上安装需要镀制的材料。4.1.6 基片安装：先将样品（待镀基片）清洗干净后，将基片装到基片盘上。4.2 开机4.2.1 启动总电源：确认所有电源开关都在关闭状态后，转动总控制电源开关，相关仪器表盘灯亮，供电正常。如果相关仪器表盘灯不亮，应检查供电电源是否有问题。在确认电源正常之后方可进行下一步工作。4.2.2 启动机械泵: 按下控制面板上的机械泵开关，机械泵指示灯亮，此时机械泵工作。机械泵工作后，打开预抽阀，对真空室进行抽气，然后打开电磁阀对分子泵泵腔进行预抽。打开真空室复合真空计进行测量。（复合真空计及规管说明书见附件：微机型数显复合真空计使用说明书。）4.2.3 启动分子泵：确认分子泵的冷却水均处于接通状态，待真空度达到10Pa以下时，打开分子泵控制器（按下分子泵控制电源面板上的工作按纽），启动分子泵，约1-2分钟分子泵完全启动后，关闭预抽阀，打开插板阀对真空室进行抽气。4.3 镀膜用分子泵+机械泵对真空室连续抽真空，利用复合真空计监测真空室内的真空度。待真空室内本底真空度达到本次实验所预期要求后，即可准备镀膜工作。4.3.1先将调压开关调整至零位（逆时针转到最小）；4.3.2确定蒸镀电极，在控制面板上先确定本次实验所需要的一组或多组电极，再根据实验需要依次或同时打开一组或二组电极；4.3.3开启实验所需要的蒸发电压按钮，旋转调压器（00-100A左右），先将电阻蒸发丝预热，然后调整蒸发电流直至膜材完全蒸发。4.3.4设备配套一个四通道膜厚仪，在镀膜过程中可实时监测膜厚，具体操作方法见使用说明书4.3.5设备配置一套温控加热电源，可在加热过程中对基片加热，加热温度0-300度连续可调；4.4 关机4.4.1 停止镀膜镀膜完成后，将调压器旋至零位，关闭蒸发电源按钮，关闭插板阀后关闭分子泵，约2-3分钟后，分子泵完全停下后既可断开冷却水，再关闭前级真空泵，关闭相应的电源。4.4.2 关闭系统 完成镀膜后，开启放气阀，打开真空室取出样品，之后使用前级真空泵对真空室进行抽空后关闭电源。保持真空室处于真空状态。五、使用注意事项、维护与保养5.1 使用注意事项5.1.1 设备应在清洁的室内环境使用。 5.1.2分子泵、机械泵的使用和维护应严格按照相应说明书上的规定进行。5.1.3 真空室暴露大气应尽可能的短，同时暴大气时应关紧插板阀，以免分子泵、抽气管路等受到污染。5.1.4样品可随炉冷却，真空室内温度60以下时再暴露大气。5.1.6 对真空室内零件进行操作（包括蒸发舟、镀材等）时，要注意真空室的清洁。5.2 维护和保养5.2.1 设备运行一段时间后，若真空度有下降现象，应及时检查各法兰密封口是否有胶圈老化及螺钉松动现象，并及时更换胶圈，拧紧螺钉。5.2.2 遇有前级真空抽不上去时，除了要尽力排除前级管道及电磁阀的泄露之外，要检查机械泵是否油不够或油质变劣，要定期查看油标，及时加注或更换泵油。分子泵的油标也要定期检查（约半年时间查一次）。六、设备主要配置JSD-300真空镀膜机主要配置表项目单位数量规格产地备注JSD300真空镀膜机真空室（不锈钢）只1300H450安徽嘉硕真空室壁+上盖、底板+观察窗等设备机架台1安徽嘉硕包括电气面板插板阀只1DN100连接真空室和主泵机械泵（配KF25放气阀）台1上海前级+预抽分子泵台1180L北京主泵电磁阀台1KF25上海充气阀台1安徽嘉硕管路与接口批1安徽嘉硕真空计（1电离+1电阻）套1成都膜厚仪套1上海电极套3安徽嘉硕照明套1安徽嘉硕烘烤套1安徽嘉硕蒸发电源套2安徽嘉硕温控电源套1安徽嘉硕其他套1安徽嘉硕标准件、配件、附件套1安徽嘉硕 七、技术资料清单名称数量备注附件1JSD-300 真空镀膜机使用说明书1附件2分子泵使用说明书1附件3 双级旋片真空泵使用说明书1附件4微机型数显复合真空计使用说明书1含规管使用说明附件5FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书1上海泰尧 9