HD-1B型低温等离子体结构示意图聚乙烯薄膜等离子体处理采用HD-1B型低温等离子体处理仪，中科常泰等 离子体科技有限公司生产。系统装置示意图见图2-1，装置由真空系统（真空泵 1 和真空泵 2），真空测量计，内平行电极电容耦合圆筒状反应室， SY 型 500W 射频功率源，SG-III型功率计，SP-II型射频匹配器，射频频率为13.56MHz, DK800-4型玻璃转子气体流量控制阀，ZD0-2型热偶真空测量计等组成。1,2 真空泵；3 热偶真空测量计；4 反应室；5 射频匹配器；6 射频功率源； 7,11 气体流量控制阀；8 氧气减压阀；9 氧气高压钢瓶；10 单体瓶图 2-1 低温等离子体系统装置示意图Fig. 2-1 Schematic of the low temperature plasma equipment等离子体实验的操作步骤：（1）等离子体处理实验开始前，将等离子体反应 室内的电极及器壁等用无水乙醇清洗干净，使电极和反应室保持干净，无其它杂 物和灰尘；（2）将预先准备好的聚乙烯薄膜样品用棉线拴在玻璃棒上并置于等离 子体改性设备的中央，关闭反应室及各路针阀，启动真空泵1和真空泵2,抽本 底真空至0.1Pa以下；（3）关闭真空泵2,同时打开气体流量控制阀，使氧气通 入反应室，等待1min，先清洗反应室和管路中的残余气体，再调节气体流量使 反应室工作压力达到20Pa； （4）待反应室中的工作压力稳定后，启动射频电源 进行辉光放电（预热510min）。在处理功率为30W的条件下（通过调节匹配 电容使反射功率接近零，等离子体的有效功率最大），对样品分别处理10s、20s、 40s、60s、80s、120s、160s、200s和300s。（5）处理完毕后，先关闭射频电源， 然后再依次关闭气体流量控制阀、真空泵，反应室通空气，打开反应室上盖，取 出样品进行分析。