化学品供应系统工程1系统简述本系统由一套HF供应系统和一套HF回收系统组成。两套系统均采用全自动供应方式进行，采用可编程控制器与人机触控屏幕的控制模式，非常人性化设计操控简易。HF供应系统采用双Drum和双桶槽模式，先用气动隔膜泵将Drum中的药液输送到存贮桶槽中，再利用气动隔膜泵将存贮桶槽中的药液供应给机台使用。其中双Drum和双桶槽均采用自动切换功能，系统也将和使用机台进行通讯，进行联动控制。HF回收系统采用双桶槽模式，废液回收时，两桶槽能够自动切换，可利用气动隔膜泵将桶槽中的药液外运到槽车中。2设计参数 Chemical to be usedDispense Flowrate of Main PipingDispense Pressure of CCSS Output portHF供应 (HIS-CCSS-121N)30lpm20.5kg(with 2pcs 6000L Storage Tank)HF 回收 (HIS-WCS-11)150lpm(with 2pcs 6000L Waste Tank)3. 系统原理图A. HF供应系统（HIS-CCS-121N）B HF回收系统 (HIS-CCSS-11)