3.43 电容式压力传感器的结构和工作原理是怎么样的？差压式电容传感器的核心部分是一个差动变极距式电容传感器。它以热胀冷缩系数很 小的两个凹形玻璃（或绝缘陶瓷）圆片上的镀金薄膜作为定极板，两个凹形镀金薄膜与夹紧 在它们中间的弹性平膜片组成C和c2。当被测压力P、p2由两侧的内螺纹压力接头 进入各自的空腔，该压力通过不锈钢波纹隔离膜 以及热稳定性很好的灌充液（导压硅油），传导 到“6腔”。弹性平膜片由于受到来自两侧的压力 之差，而凸向压力小的一侧。在5腔中，弹性膜 片与两侧的镀金定极之间的距离很小（约 0.5mm 左右），所以微小的位移（不大于0.1mm）就可 以使电容量变化100pF以上。测量转换电路（相 敏检波器）将此电容量的变化转换成420mA的 标准电流信号，通过信号电缆线输出到二次仪 表。从图b中还可以看到，该压力变送器自带液 晶数码显示器。可以在现场读取测量值，总共只需要电源提供 420mA电流。电容式差压传感器5室剖面图电容引线真空基准室隔离膜片焊接密封处镀膜绝缘体电容固定极板硅油灌充液中心膜片（可动扱板）差动电容的输入激励源通常做在信号处理壳体中，其频率通常选取100kHz左右，幅值约为10 V 左右。经变送器内部的CPUPP线性化后，差压变送器的输出精度一般可达1%左右。带隔离膜片的差动电容压力传感器对额定量程较小的差动电容式差压变送器来说，当某一侧突然失压时，巨大的差压有可能将很薄的平膜片压破，所以设置了安全悬浮膜片和限位波纹盘，起过压保护作用。