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T/HIS0012022ICS17.040.30C39T/HIS0012022红外热电堆传感器InfraredThermopileSensor2022-04-24发布2022-05-25实施T/HIS0012022前言本文件按照GB/T1.12020标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件的某些内容可能涉及专利,本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。本文件由河南省仪器仪表学会团体标准委员会提出并归口。本标准起草单位:汉威科技集团股份有限公司、郑州炜盛电子科技有限公司、河南汉威智慧安全科技有限公司、河南中敏传感器技术研究院有限公司、山东大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所、苏州能斯达电子科技有限公司、山西腾星传感技术有限公司、郑州畅威物联网科技有限公司、四川优可得医疗器械有限公司、上海钧正网络科技有限公司、深圳科比微半导体有限公司本标准主要起草人:任红军、金贵新、武传伟、古瑞琴、高胜国、强克迪、杨志博、郭海周、王瑞铭、汪静、王利利、郭琦、陈伟、渠娜娜、史珊珊、陶继方、李铁、王翊、周震、闵行政、陈彬、罗金龙、葛彦磊、谢伟峰IT/HIS0012022红外热电堆传感器1范围本文件给出了红外热电堆传感器(以下简称热电堆传感器)术语和定义、分类、基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于红外热电堆传感器。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T13584红外探测器参数测试方法GB/T13965仪表元器件术语GB/T191包装储运图示标志GB/T2423.1电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验A:低温GB/T2423.2电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验B:高温GB/T2423.3电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Cad:恒定湿热试验GB/T2423.7环境试验第2部分:试验方法试验Ec:粗率操作造成的冲击GB/T2423.10电工电子产品环境试验第2部分:试验方法试验Fc:正弦GB/T25457工业自动化仪表术语温度仪表GB/T2829周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)GB/T4475敏感元器件术语GB/T6148精密电阻合金电阻温度系数测试方法GB/T7665传感器通用术语JBT13358光学薄膜带通干涉滤光片JBT9476热敏电阻器通用技术条件JJF1107测量人体温度的红外温度计校准规范JJF1188无线电计量名词术语及定义2T/HIS0012022T/CMIF116-2020热电堆红外传感器芯片3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1红外热电堆传感器Infraredthermopilesensor能够吸收红外辐射,并以热电堆方式将所吸收的辐射转换成为可用输出信号的传感器。3.2MEMS热电堆MEMSthermopile利用微机电(Micro-electro-mechanicalSystems)工艺,将两个以上的热电偶串联组成,各热电偶输出电势互相叠加。(参考T/CMIF11620203.2)3.3热电堆芯片Thermopilechip从采用MEMS工艺制备的含有热电堆测量电路阵列和相关微型结构的晶片上分割的至少能够包含有一个热电堆测量电路和一个相关微型结构的部分。(参考T/CMIF11620203.4)3.4热电堆传感器内阻Thermopilesensorresistance传感器中与热电堆芯片两个信号输出端相连接的两个引脚之间的电阻。3.5传感器响应率Responsivity传感器的输出电压信号与输入的红外辐射能量的比值。3.6传感器噪声Sensornoise测试目标物体和测试环境温度完全一致,即热电堆芯片冷热端无温差时,传感器连接芯片信号输出端两引脚输出的信号值。3.7噪声等效功率Noiseequivalentirrationpower热电堆传感器产生与本身噪声输出大小相等的信号所需要的入射光辐射功率;3.8探测率Detectivity单位辐射功率作用在传感器单位面积上,在放大电路单位带宽条件下所获得的信噪比。探测率又称归一化探测率。3.9时间常数Timeconstant传感器信号上升到最大值的63.2%时所对应的时间。(参考GB/T13584-20113.9)3.10负温度系数(NTC)热敏电阻Negativetemperaturecoefficientthermistor3T/HIS0012022在工作温度范围内,零功率电阻值随温度增加而减小的热敏电阻。(参考GB/T44752.2.1.4)3.11热敏电阻阻值Thermistorresistance传感器内部NTC电阻在25条件下的零功率阻值。3.12热敏电阻B值ThermistorBvalueB值是负温度系数热敏电阻的热敏指数,为两个温度下零功率电阻值的自然对数之差与两个温度倒数之差的比值。注:除非特别指出,B值是由25(298.15K)和50(323.15K)的零功率电阻值计算而得到的。(参考JBT9476-20155.7)3.13电阻温度系数Tempuraturecoefficientofresistance当传感器工作温度改变1时,热电堆传感器NTC电阻值(Rtm)的变化率,单位为%/。3.14视场角Fieldofview旋转传感器测试目标物体,其信号电压大于50%的旋转视角范围。3.15红外滤光片Infraredfilter仅透过所需波段红外光的光学材料。注:红外滤光片有带通滤光片,短波通滤光片和长波通滤光片。3.16峰值透过率Peaktransmittance带通滤光片光谱通带区域内光谱透射率的最大值。(参考JBT13358-20183.2)3.17半峰宽Fullwidthathalfmaxium带通滤光片Tmax的一半处的光谱宽度。2设光谱投射率为0.5Tmax处对应的两个波长分别为1和(12),则半峰宽0.5=2-1。(参考JBT13358-20183.4)3.18中心波长Centerwavelength带通滤光片光谱通带中心的波长值。表征带通滤光片的通带光谱位置。数值上等于光谱透过率为0.5Tmax时对应的两个波长值1和2的平均值,计算公式为0=(1+2)/2。(参考JBT13358-20183.5)3.19通道Channel4符号名称单位B热敏电阻B值KCWL中心波长nm1/2D*探测率cmHz/WFOV传感器视场角FWHM滤光片半峰宽nm1/2NEP噪声等效功率nW/HzRbb传感器传感器电压响应率V/WRtp热电堆传感器内阻Rtm热敏电阻阻值TP滤光片峰值透过率%Vn传感器噪声nV/Hz1/2时间常数msT/HIS0012022热电堆传感器包含的测试和参比敏感源的数量。4符号和单位红外热电堆传感器的参数符号、名称和单位见表1。表1
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