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一、玻璃导电的机理众所周知,不同种类的物质,其导电的机理是不同的。金属导体导电,是由 于在金属导体中有可以自由移动的自由电子的作用;半导体导电,是靠半导体中 空穴的移动作用而使电子传导得以实现;电解质水溶液导电,是由于在电解质水 溶液中有可以自由移动的离子的作用;离子化合物的晶体导电是在具有晶格缺欠 的情况下,虽然是固体,但由于离子的迁移而导电。那么,玻璃导电的机理是什 么呢?在室温条件下,玻璃是相当好的绝缘体。一般来说,玻璃的电阻率在 10100/m1015Q/m之间。但是,温度升高,玻璃就要被软化,处于熔融状态中 玻璃的电阻可降到几个欧姆,导电性能增强。即,玻璃从固体变成液体状态时可 以导电。玻璃导电的能力由玻璃结构中离子的移动程度决定。玻璃是离子化合物 晶体。玻璃的种类不同,其离子的种类以及比例含量都不同。以最常见的苏打石 灰玻璃为例,其主要成分为SiO2,通常由于结构中存在晶格缺欠,晶体中的Na+ 在温度升高时由一个空穴迁移到另一个空穴而导电。由此可见,玻璃导电是属于 离子导电二、透明导电膜玻璃(TCO Coating Glass)透明导电膜玻璃(TCO Coating Glass)是指在平板玻璃表面通过物理或化学 镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜(Transparent Conductive Oxide) 而形成的组件。对于薄膜太阳能电池来说,由于中间半导体层几乎没有横向导电 性能,因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流,同时TCO薄膜具有高透和 减反射的功能让大部分光进入吸收层。TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要 分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。超白浮法玻璃生产工艺难度较高,目前世 界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等,国内供应厂家有限, 目前仅金晶科技、南玻、信义能够供货。透明导电膜玻璃(TCO Coating Glass)的种类主要为氧化铟锡透明导电膜玻 璃(ITO Coating Glass)、掺Al氧化锌透明导电膜玻璃(AZO Coating Glass)和 掺F氧化锡(FTO Coating Glass)三种;ITO透明导电膜玻璃广泛的使用于大面 积平板显示领域,国内 ITO 导电膜玻璃生产厂家主要有深圳南玻显示事业部、 深圳莱宝光学、蚌埠华益导、芜湖长信,深圳天泽等众多厂家,技术也能与日本 与欧美厂家竞争;而FTO透明导电膜和AZO透明导电膜的主要生产商有日本旭 硝子(Asahi)、板硝子(NSG)与美国AFG,国内非晶硅薄膜电池厂因需求不大、 尺寸规格特殊,所以议价空间小,进货价格高,甚至有钱也不一定买的到货。由 于没有稳定的TCO导电膜货源,有些国内非晶硅薄膜电池厂则改用ITO来代替,氧化铟锡(Indium-Tin Oxide)透明导电膜玻璃,多通过ITO导电膜玻璃生 产线,在高度净化的厂房环境中,利用平面磁控技术,在超薄玻璃上溅射氧化 铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。产品广泛地用于液晶显示器(LCD)、太阳能电池、微电子ITO导电膜玻 璃、光电子和各种光学领域。ITO导电膜的主要参数有:表面电阻、表面电阻的均匀性、透光率、 热稳定性、加热收缩率、加热卷曲等。其中光透过率主要与ITO膜所用的基底材料和ITO膜的表面电阻有关。在基底材料相同的情况下,ITO膜的 表面电阻越小,ITO膜层的厚度越大,光透过率相应的会有一定程度的减小。ITO导电膜玻璃氧化物导电膜中,以掺 Sn的In2O3(ITO)膜的透过率最 高和导电性能最好,而且容易在酸液中蚀刻出细微的图形,其中透光率达90%以上。ITO中其透光率和阻值分别由In2O3与Sn2O3之比例来控制,通 常 Sn2O3:In2O3=1:9。以下是两种不同的ITO导电膜的参数:1.高阻抗ITO导电膜(PET-ITO)高阻抗ITO导电薄膜PET-ITO主要应用于移动通讯领域的触摸屏生产。产品参数:面电阻:300500 0/口面电阻均匀性: MD3%,TD6%ITO 薄膜厚度:0.188土 10% mm 线性度(MD) : 86%表面硬度(铅笔硬度):3H热稳定性:(R-R0)/R: 20%热收缩率:MD1.0%,TD0.8%加热卷曲:10mm2.低阻抗柔性ITO导电膜(PET-ITO )适用于柔性电致变色器件、柔性薄膜太阳能电池、柔性EL发光器件的制备和生产。薄膜厚度:0.175 10 mm雾度:2%宽度:406/360 2 mm粘附:100/100卷曲: 80%表面电阻:9015 0/口 ?市场上有100/口的卖面电阻均匀性:7%热收缩:MD1.3,TD1.0热稳定性:高温:80 C ,120hr 1.3低温:-40 C ,120hr 1.3热循环:-30 C 80 C 1.3热 / 湿度:60 C, 90% RH,120hr 1.3四、掺F氧化锡透明导电膜玻璃(FTO Coating Glass)导电玻璃为掺杂氟的SnO2导电玻璃(SnO2:F),简称为FTO。FTO玻璃 可以做为ITO导电玻璃的替换用品,广泛用于液晶显示屏,光催化,薄膜太 阳能电池基底等方面,市场需求极大.FTO玻璃因其特殊性,在染料敏化太 阳能电池,电致变色和光催化方面对其透光率和导电率都有很高的要求,其 综合性能常用直属FTC来评价:FTC = T10 / RS。T是薄膜的透光率;RS 是薄膜的方阻值;在光学应用方面,则要求其对可见光有好的透射性和对红 外有良好的反射性。对其基本要求是:表面方阻低,透光率高,面积 大、重量轻,易加工、耐冲击。作为高新技术,我国目前最高只能开发出可见光平均透光率达到80 %左右的透明导电膜,还没有超过 90。在高透光率低方阻透明导电膜的研 究领域里,将是机遇与挑战并存,需要我们做更深入的研究。目前我国需要 进一步从材料选择、工艺参数制定、多层膜光学设计等方面来提高透明导电 膜的综合性能, 使其可见光平均透光率达到 92%以上,从而满足高尖端技术 的需要。五、掺 Al 氧化锌透明导电膜玻璃( AZO Coating Glass)基本概念:通过真空磁控反应溅射工艺将ZAO(氧化锌铝)薄膜镀制于玻璃基 片上。产品应用:液晶显示器,薄膜太阳能电池,防雾产品等。应用:AZO 因其透明、导电的优异性能而应用广泛。目前主要的应用领域有:1. 平面液晶显示(LCD)、电致发光显示(ELD)、电致彩色显示(ECD);2. 太阳能电池透明电极;3. 用作热反射镜, 建筑物的玻璃幕墙,用于寒冷地区的建筑玻璃窗起热屏蔽作用, 节省 能源消耗。4. 利用它既透明又导电的特点可用作表面发热器, 在汽车、火车、飞机等交通工具的玻 璃窗上形成防雾除霜玻璃, 同理, 可用在防雾摄影机镜头、特殊用途眼镜、仪器视窗、冷冻 陈列柜、烹调用加热板上。5. 利用它对微波的衰减性,可以用在计算机房、雷达屏蔽保护区等需要屏蔽电磁波的地 方,以防止外界电磁波的侵入而造成电子设备的误差和保密信息的泄漏。柔性衬底AZO薄 膜的开发使它的潜在用途扩大到制造柔性发光器件、塑料液晶显示器、可折叠太阳能电池以 及作为保温材料用产品性能:优良的耐环境性能,经过耐酸、耐碱、耐溶剂、温度 循环、高温等环境测试,膜层无明显变化。产品性能及参数加工规格:最大 1250mmxl700mm,厚度 0.4mm-6mm。玻璃规格:1100x1400mm玻璃厚度:3.28mm,TCO膜的结构:玻璃/SiO2;平均膜厚度: 1000nm电性能及光性能薄膜电阻:S10Q/口 膜厚均匀性: 10% 电阻系数均匀性: 7% 方块电阻(欧姆/): 9.26 方块电阻均匀性: 10% 可见光透过率:80%(at550 nm)(超白浮法玻璃)六、AZO透明导电膜玻璃(AZO Coatiing Glass)的生产及优势目前在氧化铟锡透明导电膜玻璃(ITO Coating Glass)、掺Al氧化锌透明导 电膜玻璃(AZO Coating Glass)和掺F氧化锡透明导电膜玻璃(FTO Coating Glass) 三种透明导电膜中,掺F氧化锡透明导电膜玻璃(FTO Coating Glass)通常采用 在线生产的方式进行生产,所以其生产商大都为浮法玻璃生产商,其生产线的投 资巨大,并且具有很高的技术含量,不适合中小型企业和非玻璃生产企业进行投 资;氧化铟锡透明导电膜玻璃(ITO Coating Glass)和掺Al氧化锌透明导电膜玻 璃(AZO Coating Glass)都可以采用大面积磁控溅射的方式进行镀膜,并且由于 氧化铟锡透明导电膜玻璃(ITO Coating Glass)是传统的平板液晶显示(FPD) 行业生产设备,国内已经具有众多生产厂家,并且由于ITO导电膜不适合硅基 非晶硅薄膜电池生产工艺,限制了其在太阳能领域的应用;只有掺Al氧化锌透 明导电膜玻璃(AZO Coating Glass)具有既满足透明导电的技术要求,同时又具 有大面积批量生产的价值,故目前掺Al氧化锌透明导电膜玻璃(AZO Coating Glass)生产线的建设已经进入了快速扩张时期。由于铟为稀散元素,在自然界中贮存量少,价格较高,而且ITO应用于太 阳能电池中时在等离子体中不够稳定,其他种类的透明导电氧化物的研究也就成 为了一个研究热点。这方面氧化锌基薄膜的研究进展迅速,材料性能已可与 ITO 相比拟,结构为六方纤锌矿型。其中铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜研究较为广泛, 它的突出优势是原料易得,制造成本低廉,无毒,易于实现掺杂,且在等离子体 中稳定性好,因而有可能成为ITO的替代产品,尤其是在太阳能电池透明电极 领域。另外,多元复合氧化物如钙钛矿相的BaSnO3SrSnO3也是TCO薄膜的一 个研究方向。
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