龙源期刊网 http:/www.qikan.com.cn气相色谱法测定硅烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量作者：王矿宾 许胜霞来源：E动时尚科学工程技术2019年第05期表1正交试验因素水平A/( niL - iniB1 检览It量Cf(raL min1 12D3P21040340SO4$060表2正交试验和极差分析结果K号fmt- k*CfflL T in.11iM/110w41.BBq丸U.lttHQAg摘 要：目前气相色谱法已被广泛应用于环境污染物、石油化工生产中的痕量物质、食品 中有害成分、药物有效成分、代谢物、刑事法医鉴定等领域的分析。本文就气相色谱法测定硅 烷法生产多晶硅的尾气中硅烷的含量展开探讨。关键词：气相色谱法;硅烷法;硅烷1 气相色谱法基本原理气相色谱法能分离具有相似性质的物质，如同位素、同分异构体、对映体及成分相当复杂 的混合物，如石油、受污染的水样等。它主要是利用于物质的沸点、极性及吸附性质的差异实 现混合物的分离。其过程如图1所示，待分析试样在汽化室内被汽化，然后被惰性气体（即流 动相）带入色谱柱，气相色谱中一般使用毛细管柱或填充柱，柱内含有固定相，由于样品内各