Hanson YangProject Engineer2003年7月25日静电理论之教育培训1静电原理及其控制静电的基本常识 主要是讲述一下静电方面的一些基本概念，让大家对静电有一个根本的理解静电消除器工作原理 静电消除器的原理，功能，以及它们的一些操作方法静电消除器的维护保养 进行保养工作的重要性和必要性以及保养的一些注意点2静电的基本常识何为静电 静电与有源电的区别，不会对人体造成伤害，在日常生活中就随处可见静电的产生所带来的问题 主要有ESA、ESD、EMI三种静电的控制方法 包括人员管理及采用电离系统等电离化标准 空气电离的规范和量测标准3何为静电产生 静电的产生主要是由摩擦生电和感应生电两种形式积累 物体表面的静电一时无法导走，时间久了就会越积越多放电 积累了一定量的静电的物体，给它一个导通的回路，就会产生静电放电现象4静电的产生 摩擦生电 任何两种物体之间进行摩擦，都会产生静电 带电的极性需要看是何种物体而定5感应生电 一不带电物体移近一磁场附近，上表面被磁场的正极吸引带有负电，下表面带有正电 此时，它与一接地物体接触，下表面的负电被导走，如果此物体再被移至其它地方，那么它就是带上了负电6静电积累 物体表面的静电一时无法导走，时间久了，就会达到一定的静电量7静电放电 带电体一旦让它形成通路就会造成静电放电现象，静电放电所产生的强大电流造成不可预测的破坏8静电的产生所带来的问题ESA（静电吸附） 由于静电使物体表面对微粒子产生吸附作用ESD（静电放电） 静电放电时产生强大电流造成的破坏EMI（电磁干扰） 所谓电磁干扰，就是由于处于电磁场附近，受到电磁场的对其它电子产品或仪器造成的干扰 它由于在静电放电的过程中，有短暂且强大的电流产生，故周围产生电磁场，对环境造成干扰9ESASurface Voltage = 0 V不带电的物体不容易吸附空气不带电的物体不容易吸附空气中的微粒子中的微粒子Surface Voltage = 4,000 V带电体表面对空气中的微粒子有带电体表面对空气中的微粒子有一定的吸附能力一定的吸附能力10ESD 静电放电时，由于是在一瞬间放电，根据库仑定律可知，放电时间越小，产生的电流就越大 而大电流对一些产品的破坏是非常严重的，那就是所谓的电流击穿11 在大电流通过后，还会对产品造成腐蚀，时间久了，产品的被腐蚀程度越来越大，最终变为次品。12EMI 放电时间为10的-9次方级，就是频率在10的9次方级，与电脑处理器的频率相当，会干扰电脑，产生一些错误的指令和程序，使其误操作，甚至产生死循环或者宕机13静电的控制方法人员管理增加湿度空气电离14人员管理衣物 需要经常做清洁的工作，保持对无尘室不受污染培训 对员工或其他采访人员进行必要的教育培训，因为人是无尘室中最大的污染源无尘室规范 对无尘室的管理需严格规范，保证其良好的无尘环境反馈 在任何人员遇到任何情况时，都必须及时反馈到公司相关单位，以及时采取相应措施15有关增加湿度湿度越高，导电性能越强；湿度越低，绝缘性能越强高湿度会引起氧化和焊接困难高湿度控制静电是消极、不可靠、耗费甚高的，不可取16空气电离关于空气电离 先解释一下空气电离的概念，对这个名词的理解电离化系统 分析一些常用的电离化系统，阐述一下它们各自的原理和特点17空气化电离理论 对针尖加上高压，使针尖附近的空气被电离，产生正、负离子，叫做空气电离18电离化系统类型 交流 在针尖加上一交流电，使它交替产生正负离子稳态直流 在针尖加上一恒定高压（正或负），使它产生离子（正或负）脉冲直流 在两针尖加上一脉冲型高压，使它交替产生正负离子核元素 使用粒子撞击空气分子，使之电离产生正负离子19电离化标准静电平板监视仪（CPM）ESD标准20CPM 210 用于检测静电情况，平板距静电感应器为标准的一英寸距离，它可以检测环境的静电情况，平衡电压和放电时间，来决定当时环境是否符合应有的要求。 使用该种仪器，可以用于量测和校正各种类型的静电消除器。21ESD标准具体数据可参考资料：ESD S20.20SEMI E7822相关的一些静电测量摘要23静电解决方案DIGITAL ROOM SYSTEMMINIENVIRONMENT SYSTEMBLOWER IONIZER24维护及保养清洗 通常每季度清洗一次量测 每月做量测校正 每次清洗量测后若超出规格做校正25QUESTIONS26